ESD静电设备产品检测规范标准

1、*1. 目的：1.1编拟本静电防护外围环境设施检测办法是要以一有系统之管制方式，以求达到本厂静电防护设备之完善管理检测系统.1.2避免经过长时间使用，防护设备或材料由于自然或人为之破坏以致丧失其ESD乍用.2. 范围：适用于XX电子有限公司，保护ESD敏感性电子组件及产品所使用的所有相关材 料.3. 权责：3.1工程部：负责制订静电防护外围设施材料检测规范.3.2各相关部门：依循静电防护外围设施材料检测办法实施，及相关资料归档.4. 参考文件：4.1 ANSI/EIA-6254.2 ANSI/ESD S20.20-19995. 定义及相关朮语：5.1 ESD(EIeCtroStatiC Dis

2、charge)：静电放电5.2 EOS(EIeCtriCaI OVer Stress):电压过应力5.3 CGP(Common Ground Point共同接地点5.4 EPA(ESD PrOteCted Area) 静电防护区6流程图：6.1 无.7内容7.1.导电地板测试Floor MateriaIS test spec:ReSiStance to GroUnd point : 10 4 106 ReSiStance top to top :10 4 106 测试仪器:数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压:10V）7.1.1.1将表面阻抗测试仪拨至10伏檔位.7.1.1.2用潮湿的抹布将地面

3、和双锤擦拭干淨.7.1.1.3连接表面阻抗测试仪，分别将双锤放在地板上或一端放在地板上 另一端接接地测试点.（注意两测试点的距离不可超过90cm）7.1.1.4按住测试键（约3 秒）后,读取仪器上所显示的数值.7.1.2作业规范7.121平均每1000平方英尺必须有壹个测试点.7.122地板检测及清洗周期为每30天1次.7.1.2.3地板清洗时需先用洗地机将地板澈底洗干净，再进行打腊将地板表面恢复原貌及光亮的最佳方式，打腊后的地板须经ESD佥测合格方可.7.2 ESD接地系统量测ESD Com mon Ground test spec:ESD GroUnd ReSiStance:R >1

4、0 测试仪器：MK-8406 数显 Ground SyStem Monitor7.2.1测试方法7.2.1.1插上电源，按下极性选择开关，此时极性灯亮方可测试，否则表示 接线极性错误.7.2.1.2开启主机电源，此时屏幕显示OPEN FAlL字样,且有警报声伴随.7.2.1.3插入测试线，并将测试末端之鳄鱼夹夹在欲测的接地在线.7.2.1.4警报声随即停止，此时屏幕显示出测试值及 OK字样.7.2.2作业规范7.2.2.1生产线ESDr作站变更时，变更产线之部门应及时通知部门 ESD负 责人对其重新检测；否则后果由变更部门负责.7.2.2.2 ESD接地系统检测周期为每30天1次.7.3设备接

5、地系统量测DeViCe Ground test spec:DeViCe Ground ReSiStance:R > 10 测试仪器：MK-8406 数显 Ground SyStem Monitor731测试方法7.3.1.1 插上电源，按下极性选择开关，此时极性灯亮方可测试，否则表示接线极性错误.7.3.1.2开启主机电源，此时屏幕显视OPEN FAIL字样,且有警报声伴随.7.3.1.3插入测试线，并将测试末端之鳄鱼夹夹在欲测试的机器外壳上7.3.1.4警报声随即停止，此时屏幕显示出测试值及 OK字样.732作业规范7.3.2.1 生产线的设备变更时，变更产线之部门应及时通知部门ESD

6、负责人对其重新检测；否则后果由变更部门负责.7.322设备接地检测周期为每30天1次.7.4静电衣帽测试An tistatic Smock test spec:69ReSiStance Antistatic Smock top :10 10 测试仪器：数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压：100V）741测试方式741.1将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.741.2用潮湿的抹布将铅锤擦拭干淨.7.4.1.3连接表面阻抗测试仪，将衣服展开平放于普通绝缘桌面上.7.4.1.4 分别将双锤放在衣服的两个袖口除处（注意两锤间的距离保持在90c m 内）.7.4.1.5按住测试键（约3秒）后,读取仪器上所

7、显示的数值.7.4.2验收规范697.4.2.1静电衣帽验收标准值为10 10 .742.2静电衣帽验收量为5%（含 100件内）;验收时出现0.5%不良时应及时给予判退货.742.3在线作业员静电衣检测周期为每30天1次.7.5导电车测试Con ductive RaCkS MatS test spec:ReSiSta nce Con ductive RaCkS MatS top :1049 10 测试仪器：数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压：100V）7.5.1测试方式7.5.1.1将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.7.5.1.2用潮湿的抹布将车子表面和铅锤擦拭干淨.7.5.1.3连接表面阻

8、抗 测试仪，分别将双锤一端放在车子上另一端放在导电地板上.（注意两测试点的距离不可超过30cm）7.5.1.4按住测试键（约5 秒）后,读取仪器上所显示的数值.7.5.2作业规范7.5.2.1 导电车必须在规定的日期内按控管标签准时检测检测，否则后果由使用部门负责.7.5.2.2导电车的导电轮必须每30天清洗1次.7.523导电车检测周期为每30天1次.7.6导电桌垫测试Con ductive Table test spec:69ReSiSta nce Table top :10 10 测试仪器：数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压:100V）761测试方法761.1将表面阻抗测试仪拨之100伏

9、檔位.761.2用潮湿的抹布将桌垫表面和铅锤擦拭干淨.7.6.1.3 接表面阻抗测试仪，分别将双锤放在桌垫上或一端放在桌垫上另一端接ESC接地点.（注意两测试点的距离不可超过90cm）7.6.1.4按住测试键（约5秒）后，读取仪器上所显示的数值.7.6.2作业规范7.6.2.1桌垫检测周期为每个月1次.7.6.2.2导电桌垫必须经1M的电阻接地，且每日上班前要对其进行清洁7.623工作台或流水线之桌垫在2米内必须有一接地线接地.7.7导电容器（料盒，导电箱）的测试An tistatic Container test spec:46ReSiSta nce Con tai ner top :10

10、10 测试仪器：简易型表面阻抗测试仪7.7.1测试方法7711用潮湿的抹布将待测物体擦拭干淨.7712将表面阻抗测试仪放置与待测物体上（注意：测试仪背面导电轨要与被测物体充分接触）.7.7.1.3按下面板上的TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.7.7.2作业规范7.721所有物料在ESD防护区内必须做好静电防护动作.（如:包装或储 存时使用静电屏蔽袋，翠盘,真空包装袋，静电泡棉；运输时使用 静电箱，导电料盒，导电车；维修及作业时使用导电毛刷，防静电 溶剂瓶,导电镊子,防静电套板）.7.7.2.2 所有容易产生静电的物料或绝缘材质必须使用离子风扇.7.8其它静电产品的测试911泡棉：10 1

11、0 46毛刷：10 10 911溶剂瓶：10 10 46瓦楞纸：10 10 911屏蔽袋：10 10 911输送带：10 10 46镊子：10 10 69手套：10 10 测试仪器：简易型表面阻抗测试仪7.8.1测试方法781.1用潮湿的抹布将待测物体擦拭干淨781.2 将表面阻抗测试仪放置待测物体上（注意：测试仪背面的导电轨 要与被测物体充分接触）.7.8.1.3按下面板上的TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.7.8.2作业规范7.8.2.1 ESD防护区外严禁使用不防静电和静电放电物质来贮存（普通塑料袋,塑料盒,普通泡棉）所有容易产生静电或静电放电的物品（如: 塑料袋,梳子）未经ESD

12、人员确认严禁带入ESD防护区内.7.8.2.2 ESD 防护区外物料包装或储存时使用静电屏蔽袋，真空包装袋；运输时使用静电箱，导电料盒，导电车.7.9各设备的EoS测试（烙铁头、输送带、屏幕接头、电动起子）7.9.1测试方法791.1取三用电表将指针播到 AC250以上檔位.7.9.1.2将红棒接到待测设备外壳.7.9.1.3黑棒分别接触电源接座的基准线孔、大地孔及ESD接地线.7.9.1.4得到三个数值，记录于EOS佥查记录表.基准线大地孔ESD接地线正常数值应小5.5V（如果 大于标准值既为漏电，原因 是大地孔未接地）正常数值应小于0.3V正常数值应小于0.3V7.9.2作业规范7.9.2

13、.1每日上班前各线全能员必须对其在线治、工具及进行EOS佥测,并认真填写记录.7.9.2.2 领班在线检测过程如有发现漏电时应及时反应给部门负责人7.10静电手环（脚环）检验.7.10.1 测试方法7.10.1.1 将有线静电环内部金属片紧贴检验者手腕上 ,7.10.1.2 静电环鳄鱼夹子与静电仪夹子相交 (手不要触碰夹子相结处 , 以 免测试不准确 )7.10.1.3 另一只手按下“ PRESS HER”E 检测结果如下 :中间绿灯亮(GooD且有响声：静电环回路检测正常左边红灯亮 (HIGH)：静电环阻抗偏高右边红灯亮 (LoW)：静电环阻抗偏低7.10.2 作业规范7.10.2.1 静电

14、手环的佩戴和检测时内部金属片必须紧贴皮肤 .7.10.2.2 静电环在作业当中严禁擅自借给他人使用 .7.1023 每次检测前，请先用800Kohm和10Mohn标准电阻件对其静电环测试仪进行验证 .7.11 导电鞋检验 .7.11.1 测试方法7.11.1.1 先将两脚站于踏板上 , 按下测试按钮 .7.11.1.2亮绿灯(PASS)时,表示导电鞋良好.7.11.1.3 亮红灯(HI-FAIL)或红灯(LOW-FAIL)时，表示导电鞋不良应立即更换.HI FAIL: R > 35MPASS: 750K R 35MLo FAIL:RV 750K7.11.2作业规范7.11.2.1导电鞋检测时，请勿将鞋子湿水，以免测试不准确.7.11.2.2 所有人员（包括来宾）进入EPA生产车间时必须做导电鞋检测否则严禁入内.7.11.2.3导电鞋检测