材料分析方法0～绪论

1、 历史上，人们把材料作为人类进步的里程碑，如历史上，人们把材料作为人类进步的里程碑，如“石器时代石器时代”、“铜器时代铜器时代”和和“铁器时代铁器时代”等等（如（如图）图）。到了。到了20世纪世纪60年代，人们把材料、信息与能源誉年代，人们把材料、信息与能源誉为当代文明的三大支柱；为当代文明的三大支柱；70年代又把新型材料、信息技年代又把新型材料、信息技术和生物技术认为是新技术革命的主要标志。这都说明术和生物技术认为是新技术革命的主要标志。这都说明材料的发展与社会文明的进步有着十分密切的关系。材料的发展与社会文明的进步有着十分密切的关系。七个时代造就材料辉煌七个时代造就材料辉煌 材料虽然这样重

2、要，发展也很快，但就研究材料整体来说，认为它材料虽然这样重要，发展也很快，但就研究材料整体来说，认为它已构成为一门学科，还是近已构成为一门学科，还是近30多年的事，那就是多年的事，那就是20世纪世纪50年代末，年代末，60年年代初，美国学者首先提出材料科学这个名词。代初，美国学者首先提出材料科学这个名词。 由于材料的获得由于材料的获得、质量的改进使材料成为人们可用的器件或构件都质量的改进使材料成为人们可用的器件或构件都离不开生产工艺和制造技术等工程知识，所以人们往往把离不开生产工艺和制造技术等工程知识，所以人们往往把“材料科学材料科学”与与“工程工程”相提并论，而称为相提并论，而称为“材料科学

3、与工程材料科学与工程”。这里的材料包括金。这里的材料包括金属材料、陶瓷材料（无机非金属材料）、有机高分子材料以及由几种材属材料、陶瓷材料（无机非金属材料）、有机高分子材料以及由几种材料组合在一起的复合材料。料组合在一起的复合材料。 材料科学与工程是研究材料组成、结构、性能、合成或生产流程和材料科学与工程是研究材料组成、结构、性能、合成或生产流程和材料使用效能及它们之间关系的科学与技术。材料使用效能及它们之间关系的科学与技术。 广义的说，材料科学与工程（广义的说，材料科学与工程（MSE）是研究材料是研究材料结构结构/性质性质/工艺工艺/性性能（能（structure/properties/pro

4、cessing/performance）间关系的学科，具体间关系的学科，具体主要是解释或控制以下四个方面的问题（材料科学与工程的四要素的关主要是解释或控制以下四个方面的问题（材料科学与工程的四要素的关系图）：系图）： 材料的四要素材料的四要素 原子原子排列方式排列方式 结合键结合键 原子结构原子结构 显微组织显微组织性性 质质结构结构/ /成分成分合成合成/ /制备制备效效 能能 从材料的内部结构，可分为四个层次从材料的内部结构，可分为四个层次：组成与结构：组成与结构：从宏观、微观及介观尺度上从宏观、微观及介观尺度上（annoy-、memo-、micro-、macro-scale）考虑原考虑原

5、子及其排列。（金属学）子及其排列。（金属学）合成与制备：合成与制备：即原子的特定排列。即原子的特定排列。性质：性质：由原子及其排列决定的材料特性或有用性。由原子及其排列决定的材料特性或有用性。使用性能：使用性能：在生产实际中的有用性，包括经济、在生产实际中的有用性，包括经济、环境及社会的因素。环境及社会的因素。 考虑在四要素中的组成考虑在四要素中的组成/结构并非同义词，即相同成分结构并非同义词，即相同成分或组成通过不同的合成或加工方法，可以得出不同的结构，或组成通过不同的合成或加工方法，可以得出不同的结构，从而材料的性质或使用效能都不会相同。从而材料的性质或使用效能都不会相同。 因此，我国有人

6、提出一个五个基本要素的模型，即因此，我国有人提出一个五个基本要素的模型，即成分成分（composition）、合成合成/加工（加工（synthesis/processing）、结结构（构（structure）、性质（性质（properties）和和使用效能使用效能（performance）。 如果把它们连接起来，则形成一个六面体如果把它们连接起来，则形成一个六面体（hexahedron），），如下图如下图性质性质受环境影响受环境影响（气氛温度受力状态）（气氛温度受力状态）组织组织结构结构效能效能（使用性能）（使用性能）合成合成/ /制备制备成分成分理论及理论及材料与工艺设计材料与工艺设计 在实

7、际应用中，材料更被分为很多不同的种类，如金在实际应用中，材料更被分为很多不同的种类，如金属材料、无机非金属材料、有机高分子材料、复合材料、属材料、无机非金属材料、有机高分子材料、复合材料、生物材料等等不一而足。生物材料等等不一而足。 各行业对材料的要求不尽相同，其对材料性能的关注各行业对材料的要求不尽相同，其对材料性能的关注也不相同，提出问题的角度和解决问题的思路更是不相同。也不相同，提出问题的角度和解决问题的思路更是不相同。 由于不同国家地区技术发展水平不同，其对材料的使由于不同国家地区技术发展水平不同，其对材料的使用要求也很不相同。用要求也很不相同。 正因为材料科学覆盖面广泛，又处于各传统

8、学科交叉正因为材料科学覆盖面广泛，又处于各传统学科交叉边缘，所以有关材料科学技术信息的分布也是很杂乱的，边缘，所以有关材料科学技术信息的分布也是很杂乱的，这就给有关材料科学技术的信息收集、整理与分析带来更这就给有关材料科学技术的信息收集、整理与分析带来更大的难度。大的难度。 20世纪以来，学科运动中的分化与综合速度比世纪以来，学科运动中的分化与综合速度比以往任何时候都迅速，新学科层出不穷。特别是随以往任何时候都迅速，新学科层出不穷。特别是随着科学技术的发展，交叉学科作为一个新的学科增着科学技术的发展，交叉学科作为一个新的学科增长点已成为学科增长的主流。长点已成为学科增长的主流。 一门新学科的建

9、立，必须有本学科特有的定义一门新学科的建立，必须有本学科特有的定义和研究对象；必须有经过精心研究而建立起来的理和研究对象；必须有经过精心研究而建立起来的理论体系；必须有能回答新问题、新情况、新挑战的论体系；必须有能回答新问题、新情况、新挑战的逻辑起点和学科方法，以及展现新的发展领域和科逻辑起点和学科方法，以及展现新的发展领域和科学层次的能力。学层次的能力。 以金属材料为例，在英、美等国，研究它的科以金属材料为例，在英、美等国，研究它的科学叫学叫“Metallurgy”，包括两个定义包括两个定义:vMetallurgy是一门学科，从事于从矿石中提取是一门学科，从事于从矿石中提取金属，精炼及提纯金

10、属，从金属制备有用物品，译金属，精炼及提纯金属，从金属制备有用物品，译为为“冶金学冶金学”；vMetallurgy是一门科学，它从宏观到原子的层是一门科学，它从宏观到原子的层次研究金属结构与性能间的关系，宜译为次研究金属结构与性能间的关系，宜译为“金属金属学学”。 大学专业的设置，反映了学科的发展和变迁。大学专业的设置，反映了学科的发展和变迁。 40年代初：年代初：矿冶专业矿冶专业 （分）采矿和冶金两个专业；（分）采矿和冶金两个专业； 以后：以后：冶金冶金 （分）物理冶金（金属锭到制品）和化学冶（分）物理冶金（金属锭到制品）和化学冶金（矿石到金属锭）；金（矿石到金属锭）； 再以后：再以后：物理

11、冶金物理冶金 （分）力学冶金（金属力学性能），（分）力学冶金（金属力学性能），正如力学从物理中分出一样。正如力学从物理中分出一样。 学科独立而出，它又趋向于与它密切相关的基础科学的结合，发学科独立而出，它又趋向于与它密切相关的基础科学的结合，发展成为基础科学的应用部分。展成为基础科学的应用部分。 中文中文“冶金冶金”与英文与英文“Metallurgy”相对应，若狭义的相对应，若狭义的“冶金冶金”理解为理解为“冶炼金属冶炼金属”，那么冶金学的三个分支也可命名为：，那么冶金学的三个分支也可命名为： 化学冶金化学冶金 金属化学金属化学 物理冶金物理冶金 金属物理金属物理 力学冶金力学冶金 金属力学金

12、属力学 关于材料科学与工程（关于材料科学与工程（MSE），），从已知从已知“材料材料”定义，答复什么是定义，答复什么是“科学科学”，什么是，什么是“工程工程”？ 科学科学对于现象的观察、描述、确认、实验研究及理论解释，叫对于现象的观察、描述、确认、实验研究及理论解释，叫科学科学。 工程工程将科学原理应用到实际目标，如设计、组装、运转经济而将科学原理应用到实际目标，如设计、组装、运转经济而有效的结构、设备或系统，叫有效的结构、设备或系统，叫工程工程。 将材料作为研究对象的材料科学和材料工程。便有如下相应的定义：将材料作为研究对象的材料科学和材料工程。便有如下相应的定义： 材料科学材料科学是一门科

13、学，它从事材料本质的发现、分析和了解的是一门科学，它从事材料本质的发现、分析和了解的研究。它的目的在于提供材料结构的统一描绘或模型以及解释这种结构研究。它的目的在于提供材料结构的统一描绘或模型以及解释这种结构与材料性能之间的关系。与材料性能之间的关系。 材料工程材料工程是工程的一个领域，其目的在于经济地，而又为社会是工程的一个领域，其目的在于经济地，而又为社会所能接受地控制材料的结构、性能和形状。所能接受地控制材料的结构、性能和形状。 比较上述两个定义可知：材料科学的核心问题是结构，有什么样的比较上述两个定义可知：材料科学的核心问题是结构，有什么样的结构，就有什么样的性能，结构，就有什么样的性

14、能， “不计成本不计成本” ；而材料工程则要全面考虑；而材料工程则要全面考虑前述的材料的前述的材料的五个判据（资源、能源、环境、经济、性能）五个判据（资源、能源、环境、经济、性能）。 作为作为MSE整体，美国整体，美国MSE调查委员会（调查委员会（COMAT）给出如下定义：给出如下定义： MSE是关于材料成分、结构、工艺和它们的性能与用途之间有关的是关于材料成分、结构、工艺和它们的性能与用途之间有关的知识和应用的科学。知识和应用的科学。 对于对于Metallurgy（材料学），顾名思义，可定义如下：材料学），顾名思义，可定义如下： 研究材料的学科叫材料学。研究材料的学科叫材料学。 显然，这一定

15、义的内涵比显然，这一定义的内涵比“材料科学、材料工程与材料科学、材料工程与MSE”三者均少。三者均少。 自然现象有自然现象有“宏观宏观”与与“微观微观”之分，这两个概念移用于经济学，之分，这两个概念移用于经济学，在在20世纪世纪6070年代，美国经济学界风靡一时地将经济学分为年代，美国经济学界风靡一时地将经济学分为“宏观经宏观经济学济学(Macro-economics)”与与“微观经济学（微观经济学（Micro-economics）”。前者前者着眼于分析整个国民经济活动；后者则侧重于分析单个经济单位。着眼于分析整个国民经济活动；后者则侧重于分析单个经济单位。 “材料学的体系材料学的体系”及及“

16、材料的应用与发展材料的应用与发展” 1引论引论10展望展望9系统系统8科研科研6经济经济7选用选用宏观材料学宏观材料学材料学材料学2失效失效3性能性能4结构结构5工艺工艺微观材料学微观材料学材料按空间尺度从大到小有：宇观材料按空间尺度从大到小有：宇观宏观宏观细观细观微观微观介观介观 q材料科学与工程材料科学与工程 宏观材料学宏观材料学（Macro-Materialogy）着眼于从整体着眼于从整体上分析材料问题。即以材料的整体作为研究对象上分析材料问题。即以材料的整体作为研究对象系统系统,考虑它与环境（自然的及社会的）之间的交互作用；分析在考虑它与环境（自然的及社会的）之间的交互作用；分析在环境

17、的作用下环境的作用下,材料内部宏观组元（各类材料、各种材料）材料内部宏观组元（各类材料、各种材料）的自组织问题。的自组织问题。 微观材料学微观材料学（Micro-Materialogy）着眼于材料在着眼于材料在自然环境（力、热、电、磁、光、化学等）作用下所表现出自然环境（力、热、电、磁、光、化学等）作用下所表现出来的各种来的各种行为行为（即性能）（即性能）,以及这些行为与材料内部结构之以及这些行为与材料内部结构之间的关系。间的关系。 “行为行为”材料的性能材料的性能,用于表征材料在给定外界条件用于表征材料在给定外界条件下的行为。下的行为。 环境环境e(Enviroment)、结构结构S(Str

18、ucture)、性能性能P(Property)，从哲学角度考虑，从哲学角度考虑，e及及S分别是事物变分别是事物变化的外因及内因，化的外因及内因，P是变化的结果。从这三个基础概是变化的结果。从这三个基础概念，可总结出两个基本方程：念，可总结出两个基本方程： P = f(e，S) S = E，RE事物（或系统）内组元（事物（或系统）内组元（Element）的集合。的集合。R组元间关系（组元间关系（Relationship）的集合。的集合。矿矿矿冶矿冶地质地质化工化工高分子高分子陶瓷陶瓷采矿采矿冶金冶金物冶物冶化冶化冶化学化学力冶力冶物冶物冶社会科学社会科学力学力学物理物理MSE材材料料学学1879

19、18881937188819751986198919371966时间时间(年年) 学科名称学科名称 18651879 地质与采矿工程地质与采矿工程 18791884 采矿工程采矿工程 18841888 采矿工程采矿工程(地质、采矿、冶金地质、采矿、冶金) 18881890 采矿与冶金采矿与冶金 18901927 采矿工程与冶金采矿工程与冶金 19271937 采矿与冶金采矿与冶金 19371966 冶金冶金 19661975 冶金与材料科学冶金与材料科学 1975至今至今 材料科学与工程材料科学与工程(MSE) 物理金属学向金属材料物理金属学向金属材料系统科学转变阶段系统科学转变阶段 物理金属

20、学成熟物理金属学成熟阶段阶段 物理金属学生长阶物理金属学生长阶段段 物理金属学孕育阶物理金属学孕育阶段段 分解论向系统论转变期分解论向系统论转变期 分解论盛期分解论盛期 分解论初期分解论初期 朴素整体论时期朴素整体论时期 1980 19001980 19世纪世纪 19世纪以前世纪以前 化学冶金学化学冶金学 金相学金相学 金相电子显微镜金相电子显微镜 冶金学冶金学 宏观热力宏观热力 材料表面与界面科学材料表面与界面科学 物理冶金学物理冶金学 学及相图学及相图 合金统计热力学及相图计算合金统计热力学及相图计算 粒子光学粒子光学 晶体学晶体学 晶体晶体X射线衍射学射线衍射学 多功能电子显微镜多功能电

21、子显微镜 材料力学材料力学 弹性、塑性及断裂力学弹性、塑性及断裂力学 电子微区探针分析器电子微区探针分析器 金属与合金电子理论金属与合金电子理论 场离子发射显微镜场离子发射显微镜 晶体的缺陷及位错理论晶体的缺陷及位错理论 场电子发射显微镜场电子发射显微镜 固体中原子扩散及相变理论固体中原子扩散及相变理论 材料的物理性质理论材料的物理性质理论 （电、磁、热、光等）（电、磁、热、光等） 结构材料结构材料 ：多用金属材料：多用金属材料功能材料：多用陶瓷材料、高分子材料功能材料：多用陶瓷材料、高分子材料金属材料（黑色金属、有色金属）金属材料（黑色金属、有色金属）陶瓷材料陶瓷材料 （工程陶瓷、结构陶瓷）

22、（工程陶瓷、结构陶瓷） 复合材料复合材料 高分子材料（塑料、合成纤维、橡胶、涂料等）高分子材料（塑料、合成纤维、橡胶、涂料等） 金属材料金属材料：良好的力学性能和理化性能，较好的加工：良好的力学性能和理化性能，较好的加工工艺性能，价格便宜或适中，性能覆盖面大、广泛。但资工艺性能，价格便宜或适中，性能覆盖面大、广泛。但资源有限，特殊环境下，金属不能胜任。源有限，特殊环境下，金属不能胜任。 陶瓷材料陶瓷材料：优良的理化性能，极好的耐高温性能，但：优良的理化性能，极好的耐高温性能，但脆，加工性能差，高级陶瓷材料昂贵，可靠性差。脆，加工性能差，高级陶瓷材料昂贵，可靠性差。 高分子材料高分子材料：高弹性

23、，耐磨性好，原料丰富。但导电：高弹性，耐磨性好，原料丰富。但导电导热性差，强度低，不耐高温，易老化、易燃烧。导热性差，强度低，不耐高温，易老化、易燃烧。 复合材料复合材料：具有单一材料的复合性能，可按需要进行：具有单一材料的复合性能，可按需要进行人为的设计制造。但低档、高档多，缺少中挡。人为的设计制造。但低档、高档多，缺少中挡。趋势趋势：三足鼎立；由于科技的发展，金属材料的地位，与三足鼎立；由于科技的发展，金属材料的地位，与2020世纪相比有所下降；传统材料的地位难以被取代。世纪相比有所下降；传统材料的地位难以被取代。q各种材料的特征各种材料的特征 何为何为“材料材料”？材料是一类？材料是一类

24、有用有用的的物质物质。 (肖纪美语肖纪美语) 这里这里“有用有用”即指材料的某一种可为人类所利用的即指材料的某一种可为人类所利用的“性能性能”，而性，而性能必然与物质的能必然与物质的“结构结构”密切相关。那么，材料不言而喻就是探讨密切相关。那么，材料不言而喻就是探讨“某种材料的结构与性能之间的关系某种材料的结构与性能之间的关系”。当然，研究之目的并非仅是。当然，研究之目的并非仅是揭示其关系或机制，更重要的在于控制揭示其关系或机制，更重要的在于控制“结构结构”得到人们所期望的得到人们所期望的“性能性能”。(1)显微化学成分显微化学成分(不同相的成分，基体与析出相的成分，偏析等不同相的成分，基体与

25、析出相的成分，偏析等)(2)晶体结构与晶体缺陷晶体结构与晶体缺陷(面心立方、体心立方、位错、层错等面心立方、体心立方、位错、层错等)(3)晶粒大小与形态晶粒大小与形态(等轴晶、柱状晶、枝晶等等轴晶、柱状晶、枝晶等)(4)相的成分、结构、形态、含量及分布相的成分、结构、形态、含量及分布(球、片、棒、沿晶界聚集或球、片、棒、沿晶界聚集或均匀分布等均匀分布等)(5)界面界面(表面、相界与晶界表面、相界与晶界)(6)位向关系位向关系(惯习面、孪生面、新相与母相惯习面、孪生面、新相与母相)(7)夹杂物夹杂物(8)内应力内应力(畸变内应力或组织应力、喷丸表面、焊缝热影响区等畸变内应力或组织应力、喷丸表面、

26、焊缝热影响区等)电磁波电磁波粒子束粒子束 由于遵从布拉格衍射定律，两者由于遵从布拉格衍射定律，两者一样的，即波一样的，即波- -粒二象性粒二象性 如用如用X射线衍射分析射线衍射分析(XRD)进行晶体结构分进行晶体结构分析析,只能对毫米级、不能对微米及纳米级微区进行只能对毫米级、不能对微米及纳米级微区进行分析分析,无法把形貌观察与晶体结构分析微观同位地无法把形貌观察与晶体结构分析微观同位地结合起来。结合起来。 （2 2）电子衍射：）电子衍射：对薄膜对薄膜.薄晶的结构分析要用电子薄晶的结构分析要用电子衍射衍射.而不能用而不能用XRD测定。测定。 （1 1）(3)(3)中子衍射：中子衍射： 采用中子

27、源用于氢元素采用中子源用于氢元素(H、Li)等的探测等的探测,但但造价高。造价高。(4)(4)高分辨率电子显微镜：高分辨率电子显微镜： 常用于测定晶格的微观分析方法。常用于测定晶格的微观分析方法。(5)(5)场离子电子显微镜：场离子电子显微镜： 能清晰地显示样品表层的原子排列和缺陷能清晰地显示样品表层的原子排列和缺陷, ,在研究原子的位置、大小方面很有优势。在研究原子的位置、大小方面很有优势。v 最常用的也是最简单的观察材料显微组织的工具，最常用的也是最简单的观察材料显微组织的工具，v 能直观地反映材料样品的组织形态能直观地反映材料样品的组织形态(如晶粒大小、珠光体还是马氏体、如晶粒大小、珠光

28、体还是马氏体、焊接热影响区的组织形态、铸造组织的晶粒形态等焊接热影响区的组织形态、铸造组织的晶粒形态等) v 分辨率低（约分辨率低（约200nm），），放大倍率低（约放大倍率低（约1000倍即倍即103倍）为可见倍）为可见光源，玻璃透镜。因此只能观察到光源，玻璃透镜。因此只能观察到102 nm尺寸级别的组织结构，而对于尺寸级别的组织结构，而对于更小的组织形态与单元更小的组织形态与单元(如位错、原子排列如位错、原子排列)则无能为力。则无能为力。v 光学显微镜只能观察表面形态而不能观察材料内部的组织结构，更光学显微镜只能观察表面形态而不能观察材料内部的组织结构，更不能对所观察的显微组织进行同位微区

29、成分分析。不能对所观察的显微组织进行同位微区成分分析。 进行几千个原子的晶粒大小、表面形态、相的形成等分析进行几千个原子的晶粒大小、表面形态、相的形成等分析。 XRD,是利用是利用X-Ray在晶体中的衍射现象来分析材料的晶体结构、在晶体中的衍射现象来分析材料的晶体结构、晶格参数、晶体缺陷晶格参数、晶体缺陷(位错等位错等)、不同结构相的含量以及内应力的方法。、不同结构相的含量以及内应力的方法。 这种方法是建立在一定的晶体结构模型基础上的间接方法。即根据这种方法是建立在一定的晶体结构模型基础上的间接方法。即根据与晶体样品产生衍射与晶体样品产生衍射X-Ray信号的特征去分析计算出样品的晶体结构与信号

30、的特征去分析计算出样品的晶体结构与晶格参数，并可以达到很高的精度。晶格参数，并可以达到很高的精度。 然而然而,由于它不是像显微镜那样直接可见的观察，因此也无法把形貌由于它不是像显微镜那样直接可见的观察，因此也无法把形貌观察与晶体结构分析微观同位地结合起来。观察与晶体结构分析微观同位地结合起来。 由于由于X-Ray聚焦的困难，所能分析样品的最小区域聚焦的困难，所能分析样品的最小区域(光斑光斑)在在“毫米毫米”数量级，因此对微米、纳米级微观区域的选择性分析也是无能为力的。数量级，因此对微米、纳米级微观区域的选择性分析也是无能为力的。 EM是用高能电子束作光源，用磁场做透镜制造的具有是用高能电子束作

31、光源，用磁场做透镜制造的具有高分辨率和高放大倍数的电子光学显微镜。高分辨率和高放大倍数的电子光学显微镜。(1).透射电子显微镜透射电子显微镜(TEM，Transmission Electron Microscope)v TEM是采用透过薄膜样品的电子束成像来显示样品内是采用透过薄膜样品的电子束成像来显示样品内部组织形态与结构的。部组织形态与结构的。v 可以在观察样品微观组织形态的同时，对所观察的区可以在观察样品微观组织形态的同时，对所观察的区域进行晶体结构鉴定域进行晶体结构鉴定同位分析。同位分析。v TEM最早由德国发明。其分辨率为最早由德国发明。其分辨率为10-1nm，放大率放大率 106倍

32、倍(100万万)，但制样困难。，但制样困难。(2).扫描电子显微镜扫描电子显微镜(SEM，Scanning Electron Microscope) SEM是利用电子束在样品表面扫描激发出来代表样品是利用电子束在样品表面扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像的。表面特征的信号成像的。 最常用来观察样品表面形貌（断口等），还可观察样品最常用来观察样品表面形貌（断口等），还可观察样品表面的成分分布情况。表面的成分分布情况。 法国最早，法国最早，60年代开始。分辨率可达年代开始。分辨率可达 1nm，放大倍数可放大倍数可达达 2105倍倍(10万倍万倍)。（3）.电子探针显微分析电子探针显微分析(EP

33、MA，Electron Probe Micro-Analysis) EMPA是利用聚焦的超细的电子束打在样品的微观区域，是利用聚焦的超细的电子束打在样品的微观区域，激发出样品该微区的特征激发出样品该微区的特征X-Ray，分析其分析其X-Ray的波长和强的波长和强度来确定样品的微观区域的化学成分。度来确定样品的微观区域的化学成分。 将扫描电镜（将扫描电镜（SEM）与电子探针显微分析（与电子探针显微分析（EPMA）结结合起来，则可在观察微观形貌的同时对该微观区域进行化合起来，则可在观察微观形貌的同时对该微观区域进行化学成分同位分析。学成分同位分析。(4).扫描透射电子显微镜扫描透射电子显微镜(ST

34、EM，Scanning Transmission Electron Microscope) STEM同时具有同时具有SEM和和TEM的双重功能。的双重功能。 若配上电子探针附件若配上电子探针附件(分析电镜分析电镜)则可实现对微观区域则可实现对微观区域的组织形貌观察，晶体结构鉴定和化学成分测试的组织形貌观察，晶体结构鉴定和化学成分测试“三位一三位一体体”的同位分析。的同位分析。 (5).超高压透射电子显微镜超高压透射电子显微镜 可用于较厚的样品。可用于较厚的样品。(6).场离子电子显微镜场离子电子显微镜 包括扫描隧道显微镜包括扫描隧道显微镜STM(在在1981年由年由Dr.Gerd Binnig

35、发发明，垂直方向分辨率达明，垂直方向分辨率达0.01nm，水平方向分辨率达水平方向分辨率达0.1nm,由由此于此于1986年获诺贝尔物理奖）、扫描探针年获诺贝尔物理奖）、扫描探针(SPM)、扫描近场扫描近场光学显微镜。光学显微镜。 观察微观形貌的同时对该微观区域进行化学成分同位分观察微观形貌的同时对该微观区域进行化学成分同位分析。析。 1986年由年由Dr.Gerd Binnig发明原子力显微镜。可测量表面发明原子力显微镜。可测量表面原子间的力，测量表面的弹性、塑性、硬度、摩擦力等性质。原子间的力，测量表面的弹性、塑性、硬度、摩擦力等性质。 (1) X射线荧光分析射线荧光分析(2) 原子吸收光

36、谱原子吸收光谱(3) 质谱分析质谱分析(4) 中子活化分析中子活化分析(5) 电子探针和质子探针电子探针和质子探针(6) 俄歇电子谱俄歇电子谱AES(7) 光电子谱仪光电子谱仪(8) 二次粒子质谱二次粒子质谱 化学分析只能给出一块试样材料的平均成分化学分析只能给出一块试样材料的平均成分(所含每种元素的平均含量所含每种元素的平均含量)，并可以达到很高的分，并可以达到很高的分析精度，但不能给出所含元素的分布情况析精度，但不能给出所含元素的分布情况(如偏析，如偏析，同一元素在不同相中的含量等同一元素在不同相中的含量等)。 光谱分析给出的结果也是样品的平均成分。光谱分析给出的结果也是样品的平均成分。

37、实际上，微区成分不均匀性（元素在钢中的微实际上，微区成分不均匀性（元素在钢中的微观不均匀性）观不均匀性） 微观结构不均匀性微观结构不均匀性 微区性能不微区性能不均匀性均匀性 决定材料宏观性能。决定材料宏观性能。 如力学性能、物理性能的测定。如力学性能、物理性能的测定。 采用超高压、超高温、极低温采用超高压、超高温、极低温等，是目前比较热门的研究方向。等，是目前比较热门的研究方向。 表面成分的快速分析表面成分的快速分析研究样品表面组成和结构研究样品表面组成和结构量子化学的研究量子化学的研究 由激发源发出的具有一定能量的由激发源发出的具有一定能量的X-Ray、电子束、紫外光、离子电子束、紫外光、离子束或中子束作