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1、氯硅烷的性质1、氯硅烷的基本物性相关氯硅烷的基本性质见表1：表1 氯硅烷的物理特性类 别分子式分子量沸点()凝固点()临 界 条 件温度()压强(atm)体积(cm3/g)一氯硅烷SiClH366.55-30.4-118.1123.547.8174二氯硅烷SiCl2H2101.018.3-122.0176.344.4211三氯硅烷SiCl3H135.4331.8-134.020640.6268四氯化硅SiCl4169.9057.57-70.0233.837.1326.32、氯硅烷的蒸汽压氯硅烷的蒸汽压与温度关系见图1，经数据拟合可以得到对应的P-T曲线如下：图1 氯硅烷的蒸汽压与温度的关系一氯

2、硅烷： （式1-1）二氯硅烷： （式1-2）三氯氢硅： （式1-3）四氯化硅： （式1-4）说明：其中压强单位为kPa，温度单位为。3、氯硅烷的汽化热图2 氯硅烷的汽化热对温度的关系氯硅烷的汽化热与温度关系如图2，用图中数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅： （式2-1）四氯化硅： （式2-2） 说明：H气的单位为kJ/mol，温度单位。图3 氯硅烷的液体密度对温度的关系4、氯硅烷的密度氯硅烷液体密度与温度关系见图3，对数据进行拟合可以得到如下方程：三氯氢硅： （式3-1）四氯化硅： （式3-2） 说明：密度单位为kg/m3，温度单位。5、氯硅烷的粘度、氯硅烷蒸汽粘度对温度的关系如图4，用图中数

3、据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅： （式4-1）四氯化硅： （式4-2）说明：粘度单位为10-5Pa.s，温度单位。、氯硅烷液体粘度对温度的关系如图5，用图中数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅： （式4-3）四氯化硅： （式4-4）说明：粘度单位为1×10-3Pa.s，温度单位。图5 氯硅烷的液体粘度对温度的关系图4 氯硅烷的蒸汽粘度对温度的关系6、氯硅烷的表面张力氯硅烷表面张力对温度的关系如图6，用图中数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅： （式5-1）四氯化硅： （式5-2） 说明：表面张力的单位为mN/m，温度单位。7、氯硅烷的热容量图6 氯硅烷的表面张力对温度的关系、氯硅烷的蒸汽热容量对温度的关系如图7，用图中数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅： （式6-1）四氯化硅： （式6-2）说明：热容单位J/mol.K，温度单位。、氯硅烷的液体热容量对温度的关系如图8，用图中数据拟合得到如下方程：三氯氢硅： （式6-3）四氯化硅： （式6-4）说明：热容量

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