太阳能电池-扩散设备操作规程

1、- 1 -扩散工序操作规程090330版序言为更好地加强扩散设备生产与维修，保障设备开机效率以及设备完好状态，结合扩散使用说明书及车间使用经验，特制订编制本手册，以达到操作标准化为目的，同时为设备队伍的培训提供教材参考。凡操作人员必须经过培训，且熟练掌握设备操作规程，方可对设备进行操作!- 2 -1、 目的2、 适用范围3、 设备及工具4、 材料与工艺气体5、 主要技术性能6、 结构特征7、 使用前的准备8、 工序操作流程9、 更换POCL3安全操作规程10、 设备维护 目录- 3 -11、 POCL3性质和应急处理12、 安全注意事项13、 附图一、目的：在清洗后的p型硅片基体(硼掺杂)表面

2、扩散磷原子，形成结深为0.30.5m的pn结。工艺原理：三氯氧磷 (POCL3)在高温下（860）与氧气（O2）反应生成五氧化二磷（P2O5），所产生的五氧化二磷（P2O5）进一步与硅 (Si)反应生成二氧化硅（SiO2）和磷原子(P)。磷原子(P)在高温下逐步向硅片内部扩散，在硅片表层形成一定的浓度梯度，最终形成一定结深的P-N结。其反应方程为：4POCL3 +3O2 =2 P2O5 +6 CL22P2O5+5Si= 5SiO2+4P二、适用范围：电池三车间扩散工序三、设备及工具：TEPMPRESS扩散炉和CENTROTHERM扩散炉、四探针测试仪、石英舟、防热手套、橡胶手套、口罩、隔热头罩

3、、取舟把手、小踏台、装卸台、垫板。四、材料与工艺气体：制绒后合格的多晶硅片，三氯氧磷，氮气，氧气，压缩空气，冷却水，排风系统。五、主要技术性能：1、使用环境条件a) 环境温度：0 40 b) 相对湿度：55%、无凝露c）周围环境：在万级以上洁净室内2、工作条件- 4 -三相五线制电源，有冷却水、氮气、氧气、压缩空气源及带负压的排风系统。a）CENTROTHERM：冷却水：入口15-25度，最少65升/分钟，4-6bar，进出压差4bar压缩空气：干燥，无油，5-7bar氧气：1.2-2.5bar氮气：2-3 bar电源：3/N380/220V 50HZ 160KW排风量：2000m3/hb）T

4、EMPRESS：冷却水 15l/min，4kg/cm2压缩空气 干燥，无油，1l/min，7kg/cm2氮气 100l/min，40psi氧气 5l/min，40psi排气环境 9m3/min 千级净化电源：3/N380/220V 50HZ 160KW六、 结构特征：扩散系统A气源柜：工艺气体控制系统。外接氮气、氧气、压缩空气，内置磷源容器，为系统炉管提供工艺气体，顶部设有排风。B炉体：由保温材料岩棉炉腔，每个炉腔外围是加热丝，内部放置石英炉管。四个炉腔的下面是炉温控制系统。顶部是冷却系统。CENTROTHERM扩散系统的总电源从炉体背面中下部接入，TEMPRESS扩散系统的总电源直接引入后边

5、放置的配电柜中。C装载/卸载：用于卸载、装载硅片，各部分分别对应相应的炉管和炉腔。下侧内部是电路及控制部分。下方是各部分控制按钮。控制屏用于对整个系统的控制及监视。设备自带有净化系统。电阻率测试仪：由PC和四探针测试台组成。七、使用前的准备：1.车间净化系统是否正常运行。2.排风系统工作是否正常。3.炉管内是否清洁。不够清洁时应该对其进行清洗。4.冷却水压力是否正常，是否可正常供应。5.工艺气体压力和供应是否正常。6.电阻率测试仪是否正常。八、工序操作流程1.交接班各班组必须提前半个小时到岗，列成一队由上一班组长传达车间指令、8S情况、工艺情况、设备运行情况及生产情况。2.班前会由当班班组长负

6、责。生产之前，当班组员列成一列，由班组长根据当班现有人数进行调配，提醒员工要有安全意识、纪律性，布置产量任务、质量任务。3.硅片领用双手持载片盒两端，中指指尖钩住中间圆孔，起到载片盒在手中的稳固性。先观测载片盒里洗后片有无缺片现象，再看它的上表面，看有无缺口、崩边、裂纹及手印污染；然后把片盒向内侧转到45度角，查看其上角和漏出的1厘米边缘的完整性，再看同一面下角和漏出的2厘米边缘的完整性；然后把片盒复位，同时向外侧转45度角，查看其上角和漏出的1厘米边缘的完整性，再看同一面下角和漏出的2厘米边缘的完整性；然后保持位置不变，观察其整个底面的完整性，一切完好后，检片结束。 注意：翻转片盒的最大角度

7、不可超过60度。 确认完硅片质量和数量后，每个不锈钢小车最多装1000片（10盒），且最上面一层最多放2个装满硅片的载片盒，要求竖向摆放，可以确保在推片途中不会滑落或掉落，下面两层可以- 5 -横向放4个载片盒，推车时要稳要慢，以免将载片盒中的硅片颠碎颠裂，且必须采用推的形式（中途出现意外情况可及时发现）将承运片盒的小车推至扩散间内各设备的指定位置。4.投入生产（一）CENTROTHERM操作1.将领入的合格的制绒后硅片手工插入到石英舟中，注意石英舟卡槽为倾斜面，插片时要将制绒面朝向倾斜方向，也就是没有石英舟编号的一侧，整个插片过程要轻拿轻放，避免用力过大对硅片造成损伤，石英舟两端分别插入6片

8、挡风片。 6片 200片 6片2.插片结束并再次检查所插入硅片完整性后操作人员要人工将石英舟放置到设备的Slider上（两手分别端住石英舟两端的圆柱），端舟时要小心谨慎，且之前要将可能会造成阻碍通道的物品转移，石英舟放置到Slider的方向也是硅片制绒面朝向源区，安全放到Slider上后还要将石英舟移至Slider的正中位置，可以通过比对石英舟两端与Slider石英柱的距离判定。3.进行软件操作：选择硅片类型：工艺片或实验片后点击下面对话框的OK填写运行信息并点击下面对话框的load done入舟工艺结束并卸载完毕后点击下面对话框的unload done- 6 -再次装载完毕后在LOT区域填写

9、备注并查看选定的工艺是否正确，之后点击下面对话框的load done开始再次运行工艺4.软件操作结束后程序将自动运行：（1）Slider自动运行从Port区域到Lift区域；（二）TEMPRESS操作（含R2D）1.R2D操作：将领入的合格的制绒后硅片连同片盒放置到R2D的装载位置，方向为制绒面朝向源区，正确放置后操作按钮“Load”会闪烁，Conveyor模式切换成自动，此时按压“Load”按钮系统将自动传输，此时还需将界面上的工作模式转换成“NORMAL MODE”模式，LIFT模式切换成自动，所有模式转换完成后，系统将进行自动装卸载动作（1）真空机头抓取50片/次扩前片插入放置在shut

10、tle上的石英舟上，直至插满；（2）Lift将插满片的石英舟放置到相应的工艺炉管的桨上；（3）工艺方案自动运行（4）工艺方案运行结束后Lift将石英舟移至Shelf上进行冷却；（5）冷却结束后Lift将石英舟移至shuttle进行卸载和装载。2. 操作注意事项：（1）如到机械运转区域进行手动作业,必须先将自动模式停止,转换成手动模式(如LIFT或传输单元),防止在操作过程中机械部位自动执行动作造成人身伤害或设备部件的损坏。（2）Lift动作区域严禁放置杂物，如：梯子或工作台等，包括人员通行都必须在设备周边警戒线以外。（3）在设备有机械动作时（包括进出桨,炉门开关，Lift动作，真空机头抓片等）

11、都必须有操作人员看守，出现问题立即手动停止，紧急情况可按急停按钮，之后再进行问题处理。（三）TEMPRESS操作（无R2D）1.将领入的合格的制绒后硅片手工插入到小石英舟中，注意石英舟卡槽为倾斜面，插片时要将制绒面朝向倾斜方向，每管共11个小舟，两侧应插入共25片挡风片，中间为250片工艺用硅片，整个插片过程要轻拿轻放，避免用力过大对硅片造成损伤。 13片2.插片结束并再次检查所插入硅片完整性后操作人员要人工用专用舟把手将石英舟放置到相应炉管，石英舟放置到桨上的方向是硅片制绒面朝向源区，端舟时要小心谨慎，且之前要将可能会造成阻碍通道的物品转移，防止磕碰造成人体伤害或石英舟 硅片损坏。3.软件操

12、作：（1）在主界面，进入tube control单元，选择start/stop process control功能进入该界面，确认界面中所显示的工艺方案是否正确，确认完成后点击start键开始工艺循环；如工艺方案选用不正确，可到Main 250片 12片 （2）扩散炉自动运行lift将Slider上的硅片加载到程序指定炉管； （3）扩散炉按照设定工艺程序自动运行工艺，直至全过程结束； （4）扩散炉自动运行lift将浆上的石英舟放置到Slider上； （5）Slider自动运行从Lift区域到Port区域准备卸载。menu tube control select a process recipe

13、界面选择正常生产所需的工艺方案。- 7 -（2）工艺结束后让舟在桨上冷却后用舟把手将石英舟放置到不锈钢工作台上进行卸载，端舟过程中防止高温烫伤，必要时可佩戴隔热手套和隔热面罩。（四）附：TEMPRESS界面说明1.Main menu 主界面2.System control 在系统控制菜单中，需键入密码才可进入3.Certifications 在此菜单中，可以设置DPC各系统参数，即各模拟数字输入输出通道，工艺中温区温度，非专业人士请勿擅自更改4.Process recipes 进行扩散工艺的编辑及修改5.Tube control 操作主要选项，进行工艺的选择，及运行停止6.Monitor 纯属

14、监控选项，此项为安全选项，在此项中只能进行各项参数的监控，并不能进行修改2. certifications2.1process controller certifications DPC参数设置2.1.1 tube ID and tube name 炉管ID号和炉管名称2.1.2 tube configuration 炉管配置2.1.3 analog outputs 模拟输出 2.1.4 analog inputs 模拟输入 2.1.5 digital outputs 数字输出 2.1.6 digital inputs 数字输入2.1.7 messages 信息2.1.8 graphic sy

15、stem logout 系统管路总览2.1.9 servo driver parameters 伺服驱动参数2.2temperature controller certifications DTC参数设置4.process control menu 工艺炉管控制4.1 graphic process control图示工艺的控制，可进行工艺控制。4.2start/stop process control 此项用于工艺的开始及结束，与上一选项有共同的作用，需注意的是，此项中的stop选项，不能直接终止工艺，只是使时间停止在这一时刻，在按下stop之后，在右下角会出现jump选项，直接跳到0步，就

16、等同于工艺结束，除非紧急情况此项不建议操作。另外，jump功能在第0步不能直接向下跳至第2步，只能跳到1，然后跳到2再跳到3，因为每步需加载不同的工艺参数。4.3 abort process recipe 在DPC中能存储16条工艺方案，和8条中止方案，中止方案在正常的扩散工艺中夹杂，以备有紧急情况下使用，中止方案也是一个完整的工艺，只是只有你在按下此项后使用，不同的中止方案，对应不同的工艺步骤时使用，此项为安全操作，在出现紧急事件不知如何操作时使用。4.4 clear alarm 清除报警4.5variable process command 此项是工艺更改的捷径，是当前使用工艺的常用变量参

17、数的更改，此项可更该项目，在工艺编辑中进行编辑4.6 select a process recipe 此项用于选择你需要的工艺方案4.7 assign control zones to paddle inputs 此项设定炉管中间热电偶与炉壁热电偶一一对应4.8 edit lot Id5 Monitor menu 监控界面5.1Main detail status 监控当前工艺步骤5.2Alarm status 显示报警原因5.3Digital output/input status 显示数字输入输出状态5.4Dpc lot ID status5.5Process recipe status

18、观看工艺方案5.6Temperature status 观看当前温度设置5.7Graphic process status 图示工艺状态5.8Servo driver status 马达驱动器状态5.合格片转下工艺结束后按工艺规定抽测方块电阻和少子寿命，并检测出物理状况不合格和表面不合格的硅片，将合- 8 -格的硅片记清数量并准确填写流程卡后转入下工序。6.班后会本班任务完成后由班组长组织列队召开本班班后会，总结本班整体和个人工作情况以及对工艺设备运转不正常情况作分析，并传达车间相关指令，交接班前将卫生彻底清扫。九、更换POCL3安全操作规范：（一）源瓶的领用：源瓶的领用必须由两人协同完成。在

19、操作前必须先戴好口罩和手套，然后再进行检验。操作过程：先把箱盖打开，然后一手提着密封袋顶部，一手托源瓶底部，轻轻将源瓶取出；观察密封袋里面是否有漏液，然后再看进气管是否伸到液面以下。检查完毕后，再将源瓶轻轻放回盒子中，盖好盒盖。注意：整个操作过程当中，旁边必须有干沙。（二）TEMPRESS更换源瓶 源瓶的更换必须由两人协同完成，一人操作，一人监督。在操作前必须先戴好口罩和手套，然后再进行更换。操作过程：1、将新源瓶开箱，取出顶部的海绵垫和一个海绵圈叠放在一起。2、移出空瓶：先关进气口阀门，再关出气口阀门，关闭同时要一手扶着进气或出气口底部，将进出气口气管螺丝拧松，把气管拔下。将源温控制器盖子取

20、下；最后将热电偶取出；一手扶上，一手托底将源瓶取出，放置到以预备好的海绵圈中。3、安装新瓶：拆开密封袋，一人提着进出气口，将其取出，另一人双手托底，轻轻放于源温控制器里面，把源温控制器盖子盖上。4、把新瓶进出气口气管螺丝拧松后再将进（出）气口塞子拔掉，然后一手扶着出气口，一手将出气管插到底，将螺丝紧固；一手扶着进气口，一手将进气管插到底，将螺丝紧固；5、将热偶油滴入热电偶槽中三分之一处，使热偶油浸没于热电偶的金属探头，插入热电偶；一手扶着出气口底部，一手完全打开出气阀，再回旋半圈；之后一手扶着进气口底部，一手完全打开进气阀，再回旋半圈。（三）CENTROTHERM更换源瓶源瓶的更换必须由两人协

21、同完成，一人操作，一人监督辅助。在操作前必须先戴好口罩和手套，然后再进行更换。操作过程：1、将新源瓶开箱，取出顶部的海绵垫和一个海绵圈叠放在一起。2、移出空瓶：先关进气口阀门，再关出气口阀门，关闭同时要一手扶着进气或出气口底部，将进出气口气管螺丝拧松，把气管拔下。将源温控制器盖子取下；最后将热电偶取出；双手紧抱源瓶两侧将源瓶取出，放置到以预备好的海绵圈中。3、安装新瓶：拆开密封袋，双手紧抱源瓶两侧，两人配合将其取出轻轻放于源温控制器里面；将热偶油滴入热电偶槽中三分之一处，使热偶油浸没于热电偶的金属探头，插入热电偶；将源温控制器盖子盖上；4、将换下的空瓶装箱封好；5、把新瓶进出气口气管螺丝拧松后

22、再将进（出）气口塞子拔掉，然后一手扶着出气口，一手将出气管插到底，将螺丝紧固；一手扶着进气口底部，一手将进气管插到底，将螺丝紧固；然后一手扶着出气口底部，一手完全打开出气阀，再回旋半圈；之后一手扶着进气口底部，一手完全打开进气阀，再回旋半圈。（四）注意事项注意：三氯氧磷是高危险化学药品，在操作过程中，要将操作区域内的杂物清理干净，防止更换时滑倒，或对源瓶有所损伤。更换后的空瓶请注明：更换时间，设备号，班组，空瓶，并退库。 并详细记录在源瓶更换记录中 。源瓶更换注意事项：1.由于设备液位报警时实际液位还较多，所以现要求TEMPRESS设备报警后的第10个班组更换；Centrotherm设备当设备

23、界面有报警时就应立即更换。 2. 源瓶控制器报警后各班组生产时一定要多观察相应源瓶的液位和硅片方块电阻情况，当液位低于0.5CM时或方块电阻出现偏差时也要及时更换。3.各种项目都要完整详细记录。 4.更换源瓶时必须两人同时进行，一人为主要操作者，另一人辅助并做好安全监督。 5.源瓶更换记录中的“预计更换日期班次”由报警班组填写。- 9 -十、设备维护（一）准备工作扩散设备维护时主要是对尾气部分和炉口石英门进行清理，以保证扩散炉管内良好的气流，保证工艺的正常运行。设备维护周期为每两周一次，具体时间以车间安排为准。需要准备的工具：隔热手套、隔热面罩、PVC手套、无尘布、橡胶手套、泡沫垫、清理用的专

24、用工具。（二）TEMPRESS维护过程1. 首先保证需要维护的炉管当前没有运行工艺，在STANDBY状态或者载入TEXT方案。2. 正常维护时不需要对设备进行降温操作。打开气源柜，先松开三通接头与储液罐之间的夹子；再拆下储液罐上的卡箍；将储液罐上的盖子和卡箍一起放到泡沫垫上。3. 将尾气管与储液罐之间的螺丝拧开，（注意：一手扶住一端，一手去拧另一端）用手稳住储液罐，让储液罐与尾气管在同一水平线上，同时用手轻轻向外旋转尾气管5-8cm，O圈会随尾气管带出。（如果用上种方法O圈不能出来，可以用手顶住尾气管的顶端，让储液罐与尾气管在同一水平线上，同时轻轻往外挪动储液罐，如下图：）将取出里面的O圈和储

25、液罐一起放在泡沫垫上。再把尾气软管和三通接头拆下放在泡沫垫上。- 10 -4. 用一手托住尾气管，同时将耳勺按顺时针方向旋转着慢慢进入尾气管到一定程度，再轻轻拉出耳勺，用无尘布擦拭掉上面的残液。反复几次，直到尾气管通畅为止。5. 清理尾气管的同时，另一人用清水反复冲被拆下来的部件，清洗到上面没有油腻感为止。清洗完毕后，用盘纸将其吸干。6. 将储液罐放置在托盘上之后，调整尾气管与储液罐的位置，使两个对接口在同一水平线上（调整托盘高度）。调整完毕后，再将储液罐抽出。然后把尾气管与储液罐之间的连接头安上，将两对接口对接。7. 将O圈套入尾气管，把尾气管向外拔出一截，再把O圈轻轻向里滚动到一定位置；然

26、后将尾气管向里旋转轻推，O圈会随尾气管进入到O圈槽中（如果O圈不能完全进入，可用小六角扳手将其轻推入槽中），尾气管露出的长度应在储液罐的中间位置即可。再将储液罐与尾气管的连接螺丝拧紧。- 11 -8. 把储液罐的盖子盖好，一人双手稳住储液罐，另一人套上卡箍锁紧。再把尾气软管和三通接口安装入位拧紧，把三通接口与储液罐盖子的接口对接，用夹子夹好，并拧上夹子上的螺丝（螺丝不要过紧）。9. 清理设备碎片及卫生。（三）CENTROTHERM维护过程尾气部分总览图1. 打开炉管状态栏，观察需要维护的炉管是否在运行着工艺。如果正在运行着工艺，请工艺结束后再进行维护。如果没有运行着工艺，请返回到JOB界面,将

27、炉管状态改变成封锁状态。- 12 -2. 打开气源柜，先将三个夹子同时拿下，而后将残液罐、冷却罐和尾气管轻轻分开。3. 将分开的冷却罐上的废气管拧开，注意不要丢失里面的黑色O圈。4. 将残液罐、冷却罐和尾气管轻轻取下，注意一手扶住罐子，一手托底。将其放在早已准备好的泡沫垫上，把尾气管稍微向外抽出点。5. 清洗残液罐。戴上防酸手套，把残液倒尽后，将残液罐用清水反复冲洗干净，包括罐口和皮垫也冲洗干净。冲洗当中要拿稳，不要让残液罐与其他物体发生碰撞。冲洗完毕后，将水倒干，然后将其放回泡沫垫上，擦拭干净。（注意：白色皮垫不要丢失）6. 清洗冷却罐。打开水管时，先不要开太大，当水进入冷却罐后会产生大量浓

28、烟，这时应先远离浓烟。等烟雾消失后，将罐中水倒掉，注意轻拿轻放。如果戴防酸手套不方便，可以摘掉，再戴一副PVC手套。如果瓶内还有白色物质，再继续冲洗，直到干净为止。注意：瓶口和皮垫也要冲洗。在水槽中冲洗时一定要小心，避免石英器件与水槽发生碰撞。- 13 -7. 清洗尾气管。在清洗过程当中，有的尾气管可能已经堵死，在冲洗过程当中，将水开小点。冲洗完毕后，注意废气管里面的O圈是否还在。8. 用无尘布擦拭尾气管；擦拭各个部件，用干净的无尘布，轻轻擦拭。9. 安装时各管上的部件不可混装。10. 在安装时首先将废气管安好，再将尾气管、残液罐和冷却罐连接在同一条直线上，以免紧固时损坏石英器件，而后将其用夹

29、子夹紧（夹子的松紧程度掌握好，当顶丝顶到夹子后再拧半圈即可）。- 14 -11. 尾气管安装完成后确保其密封性完好。12. 清理装载区时在打开窗户时必须小心谨慎，防止碰到舟和石英器件。13. 在身体进入装载区清理碎片时禁止碰触石英件和桨等易碎品。十一、POCL3性质和应急处理（一）三氯氧磷性质1、中英文名称：三氯氧磷，POCL3 相对分子量：153.33化学式：POCL3外观与性状：液态 主要成分：纯品2、健康危害：最重要危害与效应： 本品遇水蒸气分解成磷酸与氯化氢，含磷可致磷中毒。 对皮肤、粘膜有刺激腐蚀作用。 毒性与光气类似。 急性中毒：短期内吸入大量蒸气，可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、

30、支气管炎；严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎、肺水肿、心力衰竭。亦可发生贫血、肝脏损害、蛋白尿。 口服引起消化道灼伤。 长期低浓度接触可引起口、眼及呼吸道刺激症状。健康危害效应： 吸入：会有致命的危险，症状为：咳嗽、气喘、头疼、肺水肿，有可能较晚发作。 眼睛：1.具腐蚀性；2.烟雾会严重刺激，造成刺痛、流泪；3.直接接触到液体可能造成灼伤。 皮肤：1.具腐蚀性；2.造成化学性灼伤。 食入：1.具腐蚀性；2.可能造成口、喉咙等严重伤害，另引发恶心、呕吐、头疼，昏迷虚弱和腹部疼痛。3、急救措施： 吸入：1.迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。2.

31、立即就医。 皮肤接触：1.立即用大量清水冲洗患处，并脱掉受污染的衣物，包括被污染的鞋。2.立即就医。 眼睛接触：1. 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟；2.隐形眼镜必先除去或用水冲出来；3.立即就医。 食入：1.用水漱口，无腐蚀症状者洗胃。忌服油类。2.立即就医。 急救人员防护：橡胶耐酸碱手套、不宜用口对口人工呼吸。4、燃爆特性与消防 燃爆危险：不燃，无特殊燃爆特性。遇水激烈反应，可引起燃烧或爆炸。 燃烧热：无意义 闪点：无意义 爆炸上限：无意义 爆炸下限：无意义 危险特性：遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸。对很多金属尤其是潮湿空气存在下有腐蚀性。 有害燃烧

32、产物：氯化氢、氧化磷、磷烷。适用灭火剂：干粉、干燥沙土。灭火注意事项及措施：- 15 - 消防人员必须穿全身耐酸碱消防服、佩戴空气呼吸器灭火。 尽可能将容器从火场移至空旷处。 喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。 禁止用水、泡沫和酸碱灭火机灭火。5、泄露应急处理 根据液体流动和蒸汽扩散的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。 建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿橡胶防酸碱服。 穿上适当的防护服前禁止接触破裂的容器和泄露物。 尽可能切断泄漏源，勿使泄露物与可燃物质（如木材、纸、油等）接触。 防止泄露物进入水体、下水道、地下室或密闭性空间。 小量泄漏：用沙土、蛭石或其他惰性材料

33、吸收。 大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容，用农用石灰（CaO）、碎石灰石（CaCO3）或碳酸氢钠（NaHCO3）中和。6、储运注意事项处置： 搬运时请穿着橡胶防酸碱服，不要用拖、拉、滚、踢的方式，瓶子在使用中必须固定。 严禁烟火。 不可对瓶身任何地方加热，高温可能会造成溢漏。 所有管道与设施需测定无误后方可使用。 空气呼吸器、紧急洗眼器及安全冲淋器需设置妥当。储存： 存放于通风良好、安全且避免日光、雨的地方，包装必须密封，切勿受潮。 应与还原剂、活性金属粉末、醇类等分开存放，切忌混储。 使用时遵循“先进先出”原则，非使用时阀门须紧闭。 库温最好不超过30，相对湿度不超过75%。适宜存储温度：3到4

34、0范围。 储存应备有泄露应急处理设备和合适的收容材料。7、防护措施个人防护措施： 呼吸防护：可能接触其蒸气时，必须佩戴过滤式防毒面具（全面罩）或空气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。 手部防护：防化学品橡胶手套。 眼睛防护：安全眼镜或面罩。 皮肤及身体防护：请着工作服，工作鞋或防护衣，以避免接触。 其他防护：紧急冲淋器，紧急洗眼器。卫生措施： 工作后应迅速脱掉被污染之衣物，洗净后才可再穿戴或丢弃，且须告知洗衣人员污染物之危害性。 工作场所严禁抽烟或饮食。 处理此物后，须彻底洗手。 维持作业场所清洁。 保持工作场所通风良好。8、物理及化学性质物质状况：液体 熔点：13 颜色：澄清，无色 气味：刺鼻腐臭味P H值：无资料 临界压力：无资料自然温度：无意义 沸点：105蒸气压：25TORR（AT 20） 蒸气密度（AIR=1 ）：5.3相对密度（H2O=1）：1.675 水中溶解度：剧烈反应9、稳定性和反应活性- 16 -稳定性：稳定 聚合危害：不聚合应避免状况：高热、蒸汽、潮湿空气并避免物质：强还原剂、活性金属粉末、水、醇类。危害分解物：盐酸、磷酸、磷氧化物。（二）POCL3泄露应急处理预案物资准备：自给式正压呼吸器（2套）、防护服（2套）、防酸手套（2副）、消防沙（一桶）、空塑料桶（一个）、塑料小铲（一个）、盘纸、拉伸膜。应急处理人员：两人（要求为