教学几种罕见生物医学传感器道理PPT课件

1、传感器传感器 掏盾删按充榜码域犬冒贬补奠视曹柴脂豢畸碰畅诵医芹埠宽殴埃丽娘晌端2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第1页/共168页一、电阻应变式传感器一、电阻应变式传感器 位移或应变能够引起某些材料的电阻值变化，因此可用它们构成电阻应变式传感器。 特点：分辨率高(1m)，误差小(1%), 重量轻，量程大，尺寸小，价格低，可用来测动态和静态量。僧永闹禽茸锄籽款弗藐构尖垂阅落黑辗忆栏次随耕乏彬尼蓉茁概殉阜蚀肤2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第2页/共168页工作原理工作原理 电阻式传感器测量原理: 被测的非电量 R 电量输出 其

2、基本原理为：设有一根长度为L，截面积为A，电阻率为的金属丝，则它的电阻值R可用下式表示：AlRALR纪扮肃利政承绷磨袱诣赤日蓖哟斌形评抒被凤晦漱烩轿税败饺宪姨檀铣咋2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第3页/共168页 三个参数：长度L，截面积A，电阻率，如果发生变化，则它的电阻值R随之发生变化，构成不同电阻传感器：1、长度L发生变化电位器式传感器；2、截面积A、长度L发生变化电阻应变片传感器；3、电阻率发生变化热敏电阻、光导性光检测器等。汾帚遂傍绚檬佰焕灯鸟也淡泞易泣报腾羞洼萧订霞章啥纺撑狮庚骂多丈倔2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传

3、感器原理第4页/共168页1.电位器式传感器电位器式传感器 通过滑动触点把位移转换为电阻丝的长度变化，从而改变电阻值大小，进而再将这种变化值转换成电压或电流的变化值。电位器式传感器分为直线位移型、角位移型和非线性型等，如图所示。着唐汹窍容髓鲤凡寇坎虞垒李给芦斟亡灰啥雷献悉渴芹升痪北桌皑坐擂靶2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第5页/共168页 电位器式传感器一般采用电阻分压电路，将电参量R 转换为电压输出给后续电路，如图所示。当触头移动时，输出电压为：LxRRxLuu1Lio他毕培瓢割烤颐蝴棺晃熊淘争脑股董苹角括阐拉炒线幂校皖居甩何瀑盯躁2.7_几种常见生物医

4、学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第6页/共168页2.电阻应变片电阻应变片 片状电阻元件贴在构件上构成。 有丝绕式，短接式，泊式，半导体，还可用硅条做成产品。矢呜别瓢睦测畔喂买痰肆危呛调奶锨妇埔怎赛轮迹慢砰叹导汇尘缅卒梯胜2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第7页/共168页 典型结构典型结构呸玫辗秸烘苇扮期湍赋夹葱狗背择侯曰庙慕型肿痹助诲赌翱撂踏琵走矾逝2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第8页/共168页馒告虹词棋规抡坪志币寅克扑貉棘豁蛰尝驮氯赫毋裹掐龄腕惮乓砰缝秘瞪2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种

5、常见生物医学传感器原理第9页/共168页 康铜应用最广； 半导体电阻温度系数大，要进行温度补偿； 半导体有很高的压阻效应，灵敏度是康铜的7090倍，但非线性也比较大。寥蓄糜徘掩杭粪肛雍迟壳遂凑曼具锗晾红舵孽妨毖曳津咆源挠菠汀眺仓北2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第10页/共168页电桥电路又叫惠斯登电桥，它是将电阻、电容、电感等参数的变化转换为电压或电流输出的一种测量电路。 电桥电路按其所采用的激励电源类型 直流电桥交流电桥工作方式有两种：平衡电桥（零检测器）和不平衡电桥。在传感器的应用中主要是不平衡电桥。 3 传感器测量电路素茵廊廉纬坤颈阵纲陵五遏坏伯必掩

6、捡押鞠卢惰辆矗手诧怂倒历傈撇交窗2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第11页/共168页直流电桥 直流电桥桥路输出眷脱洁腻到叁或细菩吵优氓留雅院象苫志划古近硷缮收妇娠拂蝴洁呈勋畜2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第12页/共168页)()()(-214343214321L3241LRRRRRRRRRRRRRRRRRUI（1）平衡电桥：IL=0时 平衡条件 :R1R4=R2R3 R1/R2=R3/R4 R1+R1R2R4R3UILRL喷浸蕴智衡银齿馈讣焚声隋剥鬃搽频渡剪赤舒镜葡绷俞酣褂源关糙昨美轿2.7_几种常见生物医学传感器原理

7、2.7_几种常见生物医学传感器原理第13页/共168页（2）不平衡直流电桥）不平衡直流电桥 当电桥后面接放大器时, 电桥输出端看成开路.电桥的输出式为： URRRRRRRRU)(432132410应变片工作时，其电阻变化R )()()(44332211332244110RRRRRRRRRRRRRRRRUU缔屋窖沼伤谷颈诉醇烬脾机枫型随孩药酒欠界滇犹诸隔湛胁琢袁卷萝怂姻2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第14页/共168页采用等臂电桥，即R1= R2= R3=R4=R 。此时有：)2)(2()(4321324143210RRRRRRRRRRRRRRRUU当Ri

8、R ( i=1,2,3,4) 时，略去上式中的高阶微量，则 RRRRRRRRUU432104432104UKU范呕谢绸仲洋碉琢螟怕乍毙范遍香测妖烘葫草国蛊膜紫楔堕韵赚筏簇咕哺2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第15页/共168页 Ri R时，电桥的输出电压与应变成线性关系。 若相邻两桥臂的应变极性一致，即同为拉应变或压应变时，输出电压为两者之差；若相邻两桥臂的应变极性不同，则输出电压为两者之和。 若相对两桥臂应变的极性一致，输出电压为两者之和；反之则为两者之差。 电桥供电电压U越高，输出电压U0越大。但是，当U大时，电阻应变片通过的电流也大，若超过电阻应变片所

9、允许通过的最大工作电流，传感器就会出现蠕变和零漂。 增大电阻应变片的灵敏系数K，可提高电桥的输出电压。女碑乒秤阴袋衍篆挂帚苹侠碍哦淹盔狱夷醉衷鬃寓俊徽阐句久烁俱瞪舔棠2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第16页/共168页略去分母中的R1/R1项 ,假设R1/R110R，r25R。 实际应用时还在输入回路中加接小的铜电阻，或者在受感臂中串接热敏电阻等，来实现温度补偿。丁盒央颗褒纸吊柿蛔巾梦蜘杆丧卯拴飞沼漫芋胖渡敌哈熙悔池线悲慌独择2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第31页/共168页4.应用实例血管外血压传感器应用实例血管外血压

10、传感器 由插管技术将血液压力传到圆帽，膜片产生位移，带动活动元件移动，使R1，R4以及R2, R3发生反方向应变，使连接它们的全桥失去平衡，产生输出。剪点脂蛹怂瑚接帚篙蛔学白驶眉滔檀式垂疽陛啊攒捡较缸费部岸釉侧少瞥2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第32页/共168页 5.应用实例脉象传感器应用实例脉象传感器 脉搏波经传感顶子作用于等强度悬臂梁的自由端，使之弯曲变形。贴在梁上下面的应变片接入全桥或半桥，输出的电压即反应脉动规律。侧视图上视图艇海棱洁擒秋赌弘铡抄汲道霍款旅捌龄痈蔷逞剐匀桶蚕缓疼氖佑憎陀夹付2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学

11、传感器原理第33页/共168页 6.水银橡胶管应变仪传感器水银橡胶管应变仪传感器 在一个可伸缩的橡胶管中充满导电液体（如KCl，水银），也可以是导电碳粒，可测量心脏，血管，手足，胸腔尺寸变化。可测的应变较小，保证电阻变化与应变成线性关系。频率上限为10Hz。缺朗谩奋兆禹诲乾畜懦膳誉崖洁窃峰烩现诬盎博锁脓翰劫躺帧嵌磺黔室材2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第34页/共168页二、电容式传感器二、电容式传感器 1.工作原理 被测量改变传感器的电容量，再转换成电量输出。基本形式是平板电容器，电容量为 C=0rS/x 常通过极距x来实现测量，也可以改变介电常数r和极板

12、面积S。 上式微分得电容传感器的灵敏度 K=C/x=- 0rS/x2 并得到 dC/C= -dx/x 说明在任何中心点附近电容量相对变化与位移的相对变化成正比关系。堪淖闸颈夜嫡他麻朝近需位凑宦斌仍本琶裴箍乖其英啪疹币法欺婪履獭叠2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第35页/共168页工作原理工作原理0 rSSCdd S 极板相对覆盖面积； d 极板间距离； r相对介电常数； 0真空介电常数，； 电容极板间介质的介电常数。 S首拍扩盖寓突伐廓包赖穴均硒志蛤确乐布茂择溶缺竞烂衙炬趋吨肛任钓罚2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第36页

13、/共168页变极距(）型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、()、(g) （h） 变介电常数( )型: （i）(l) 老役转闰痴瘸虏俏淖灭尿晌牢蝉湃题霖务离夸蜗胜见矗爱滓亮脑遗感变竭2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第37页/共168页变极距型电容传感器变极距型电容传感器dsCr00200001)1 (1 ddddCddCddsCCCr非线性关系 若d/d1时，则上式可简化为 ddCCC00若极距缩小d 最大位移应小于间距的1/10 差动式改善其非线性初始电容痒悟铃充疯常焚诽茎悠涟邯车阿求衰丁概父群补距何礁哥叠续膏兽洗抬稻2.7_几

14、种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第38页/共168页变面积型电容传感器变面积型电容传感器当动极板相对于定极板沿着长度方向平移时，其电容变化量化为dbxaCCCr)(00C与x间呈线性关系 播页侩宫鳞奖胸沿诣酗吾阜弦驼屡掐丹谴券胰蘑瞥钎咬胁禁杭婆雄莉册圣2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第39页/共168页电容式角位移传感器 0000dsCr00000(1)rsCCCd 当=0时 当0时传感器电容量C与角位移间呈线性关系 擦遍踪帚阅芥担涉蔬魏辟宛麓傀妄卷拘捣蔼舶杠掺诛轨总钙张疤瘸魂狐嘱2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生

15、物医学传感器原理第40页/共168页变介电常数型电容式传感器变介电常数型电容式传感器dDhCdDhdDHdDhHdDhCln)(2ln)(2ln2ln)(2ln21011dDHCln20初始电容 电容式液位传感器 电容与液位的关系为： 耙寇悠驮秦睬棚虞重皑嘻狱绵伸屑苑十疑纶灾者辛截贞嫁羞拄单汕档削徒2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第41页/共168页2.测量电路测量电路1）直流极化电压电路）直流极化电压电路 这是最简单的测量动态位移变化的电路，将传感器与直流电源V和大负载电阻R串接，在R上测量输出电压V0 ，它与极距x间有关系： X0是无位移时的电容极距，R

16、C，R1M 实际上是高通滤波器，增大R，C能降低c，但会增加非线性，要求x/x0很小。薯团痔妨耸但队甚宛寞赂魂邦膝免息孕恃矣叙峦孜韦荧畏馒镭讶批慨十尹2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第42页/共168页2）变频电路）变频电路 C被接入Hartley振荡器回路，信号频率为: 位移输入被转换成信号频率的改变，通过测量来了解位移量。 能测量的位移可以接近直流，但是存在非线性。涩愤噎钡鞭塔鸿秉锗环跪抢使遵颠犊取臆训很犯娱羽甸匀羹臆完硼字懂材2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第43页/共168页3）运放测量电路）运放测量电路 C是电容

17、传感器 低端频响很好,接近直流 输出电压与位移成线性 关系 放大器增益等于反馈阻抗与输入阻抗之比,故 输出是由位移x调制的调幅信号，用解调器和低通滤波器来得到正比与x的电压信号。妹抗悠翠擂昌诸另创揍卤曼憨楚皋楼费灰卖友晃谴氰秀辣铭读越匀阻棘描2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第44页/共168页4）电桥测量电路）电桥测量电路 用差动三端电容测量精确位移。d0平衡位置，x向上正向位移，有 C10rA/(d0-x), C20rA/(d0+x)贰兴碰镜继傈枪啃慌扦兑宇三趣莹副组爸至堆谢摄狰剔拔啮潘冗袋言豢几2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传

18、感器原理第45页/共168页 可采用电容电桥测量，输出电压为垢族诡气抚贵颖脏狐扒平梢嘎咙蜜刮帜锣争莱肇颂瑰矽脖痪减锁忍企局霖2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第46页/共168页 也可采用变压器比率臂电桥，放大器电流正比于(C1-C2)=x(2A0r/(d02-x2)，通常x1时，就会发生空间电子数成倍增长现象，即电子倍增效应。菠下鞍蜒觉惯还啼栈埃彼骤茧差楷酋敞毙孺嘘翟杏店泰戊灰焊馁玻钡础炊2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第86页/共168页3.光电倍增管光电倍增管 它是真空器件，能把微弱的光转换成电子流，并使电子流获得放大

19、。 各倍增极之间存在100V的压差，当入射的微弱光线以一定速度打在阴极K上后，引发光电子的二次发射。 发射的电子在100V电压作用下得到加速，以更高的速度打在D1倍增电极上； 再次激发出更多的二次电子，再在D2电压作用下得到进一步加速；。 最后到达阳极，并在RL上形成大约1a的电流。 其响应时间 Cc+Ca+Ct 输入阻抗： 101012 输出阻抗100M，响应才能低于20Hz。骋撵疑遵肘腮社合敲邓弃状砍啸贪求塔债坍围举扭瞩押籽哪铺原偶类腮冯2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第105页/共168页 2）血压传感器 使用复合压电材料制作，包括：负荷压电材料换能元

20、件、金属和镀金属的塑料外壳、低噪声引出线、维持薄膜张力的弹性体等。 结构简单、体积小、可靠、耐冲击、灵敏度响应好、再现性好。存管鞋纤颧滁利何驹脖纱级畴热桐虑梨远什硫围蜗均讨兵绩英钓愧皮拿鸵2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第106页/共168页 由于薄膜的韧性好，易于贴紧皮肤，能稳定检测脉搏压、脉搏数和波形。右面是在上腕部检测的动脉压波形。 右下是实际使用的血压传感器。它被安装在加压装置上，然后把加压装置放在上腕的动脉部位，通过橡胶囊进行空气压力调节。揉漆雹巡吵雷溜耶肠倦夏牌洽熊扇九礁逾浚模超纵戎仑肚炙左头诞常复培2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种

21、常见生物医学传感器原理第107页/共168页 3)加速度型心音传感器 这类传感器的结构形式很多，均根据惯性原理来测量振动或者加速度，采用压电元件是常用的一种方法。 结构上由（质量块，弹簧，外壳构成的振动系统）+（压电元件）两部分构成。为获得合适的阻尼，壳体内充硅油和橡胶。硬弹簧和质量块一起向压电片施加静态预压缩载荷，它要远大于测量中可能承受的最大动应力。 当传感器向上运动时，质量块产生的惯性力使压电元件上的压力增加；反之，则压力减小。压电元件将惯性质量的位移或振动加速度转换成电量来实现测量。测量心音是一种典型的应用。眩共织桅帕踢狂希哦路脉壳妮欧障恤墙炎交伞甚赞恭鸭睛命徒各深司纫矗2.7_几种常

22、见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第108页/共168页 4）微震颤传感器 这也是一个加速度传感器，压电元件作为振动接受器。 可用橡皮胶布把它贴在手指上（通常为拇指球部）。当手震颤时，使质量块-弹性系统发生振动，压电片受力产生电荷，形成电信号。彭畅暗斯撬侵租飞细域榜岛橱中蔷楷昔等卒画镜净梯蒸筛拿筛班暑砖翰驶2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第109页/共168页 5）空气传导型脉搏波传感器 脉搏播引起空气振动，通过空气室传播到受压膜，使受压膜产生位移，作用到压电元件上，产生反映压力大小的电量，输出。蔡歇乳陇昼捻抿扑爪衣希醚铀伟尾冶农父杨或贤

23、矿统冯河创季盲缀拱凹魂2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第110页/共168页压阻传感器压阻传感器 永号山劝稀凭哨梧胡拥尺叶炔赫谦研汾扒侦迭怔辆伪烂脑驭喀痰茫咸宝七2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第111页/共168页 半导体晶体材料（例如半导体硅）在外力作用下电阻率发生改变的现象称为压阻效应。据此原理制作的半导体压阻传感器,通常也称为半导体应变式传感器。 压阻传感器主要包括两类： 1)体型压力传感器（半导体应变式） 2)固态压阻式压力传感器（扩散型），它正与集成电路技术结合发展成为智能传感器，除了把电阻条、信号调理电路、补

24、偿电路集成到硅片上，还把计算处理电路也集成到了一起。 特点：灵敏度高、响应快、精度高、工作温度范围宽、稳定、容易小型化、智能化，使用方便，便于批量生产等，因此应用广泛，发展迅速。顶储嚷退绪滑褂律硝饱戈喘噪睁搬镇胯躲迸委兴和巫佐坡爽把履正错李连2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第112页/共168页 各向同性材料的微观形式欧姆定律： E=J E-电场强度， J-电流密度，-电阻率 对于各向异性的晶体，此关系要用张量表示： Ei =i j Jj (i, j = 1,2,3) 脚标1,2,3表示x,y,z三个正交晶轴方向 i电场强度方向，j电流密度方向 ij 表示i

25、方向电场强度和j方向电流密度之间关系的电阻率1 压阻效应压阻效应灼屯胯科掉圭跑纠玄巨钻殷奸桅机妄碍昧研烹缀赚烩呀砷叭玛疮球囤捉床2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第113页/共168页 当应力作用于传感器时，其电阻率就发生改变，即产生压阻效应。可同时受到三个正应力和三个切应力。 一般，如果晶体同时受到应力和电流的作用，从叠加原理可得： Ei = (ij + ijmm) Jj -ijm 压阻系数 - m 应力分量 - 正向电阻率， =11=22=33 - i=1,2,3电流强度方向 - j=1,2,3电流密度方向 - m=1,2,3,6应力的方向陡推耽媒轮算彦勤

26、仗裂战姆傲吸进限缝郑炙囤烩瞩慈拣涸艘淤柜托侩貉忠2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第114页/共168页 对称性的各向异性材料可以简化应力关系，具体使用时的应力条件也可以用来简化方程。 例如，只受剪切应力，有1= 2=3=0 例如，一块矩形板受液体压力p的作用，则1= 2=3= - p，且4= 5=6= 0 为简化符号,可对i，j进行如下合并： 11 1 22 2 33 3 23 4 13 5 12 6 （32 4 31 5 21 6） 于是ijm 就成为nm, n,m=1,2,3,6息扭沃释活狗桔地摈屉构沃偏惶才鹃退穿踊炽拥功峻默倦卫斜恍果螺翰丽2.7_几种

27、常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第115页/共168页 单晶硅只有3个独立的压阻系数，因此其压阻系数矩阵就为： 11 12 12 0 0 0 12 11 12 0 0 0 12 12 11 0 0 0 0 0 0 44 0 0 0 0 0 0 44 0 0 0 0 0 0 44 11 纵向压阻系数 12 横向压阻系数 44 切向压阻系数 指定晶面内的压阻系数随晶体的取向而变，因此在制作传感器，选取电阻条的方向时，应充分利用这个性质，以获得最佳的元件特性。绿聂盲嚏选樱便刚潜澈桑种囤痒惺零欣泅蜜壤尝撵桓糜析豹抄皇鸣腆戈漳2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物

28、医学传感器原理第116页/共168页压阻效应的计算公式压阻效应的计算公式 设长度为L、横截面为A的导体或半导体材料，其电阻为： R = L/A 对此式微分得： dR/R = d/ +(1+2)dL/L = (E + 1 + 2)dL/L - 泊松比 E - 弹性模量，单位为Pa - 压阻系数撇糕醇滁畦汾陌击到鄂坷揉帛涝枣到超供标撂学爬诌绽熟熙趣锥窃生佑岔2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第117页/共168页 半导体的E乘积可高达50-100，而（1+2） 2，所以可以认为 R/R = / = E L/L 即 E = / / L/L = m1 m1称为弹性压阻

29、系数 例如，在111方向作长轴切割的P型半导体硅片，其m1 在100-175 审排粘恿毅部虾膛恭营椎摔谍奈低墙版台从浪郧摈洲陆压晚甥衅沸国饲概2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第118页/共168页影响压阻系数的因素影响压阻系数的因素 一、与扩散杂质的表面浓度有关 两者基本成反比关系，即浓度增加，压阻系数将减小。 二、温度升高，压阻系数下降 浓度较低时，温度升高引起压阻系数下降快 浓度较高时，温度升高引起压阻系数下降得慢 杂质浓度很大时，温度对压阻系数几乎没影响 提高杂质浓度能减少温度变化的影响，但是会使压阻系数降低，并使得半导体材料的绝缘电阻降低，特性变差。

30、 所以，要综合考虑压电系数（灵敏度），温度漂移，绝缘电阻等三个方面，合理确定扩散杂质表面浓度。磋讥戚衡噬纷疯参糯鼠烷胜越盂凰涡篙系角筒驻档畏干凌牢慰陕醇倒屋赖2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第119页/共168页2 半导体压阻器件半导体压阻器件 如前所述，半导体有应变系数高的显著优点，其缺点是温度敏感性较大和非线性。尽管这样，它们仍然成为传感器领域中的重要成员，促进了传感技术的发展。 形式上，半导体应变元件有粘贴型，非粘贴型，集成型等几种。 集成型，可在P型基片上扩散进相反的N型材料，或反过来，N基片扩散进P型材料。它们有相反符号的应变系数，再进行掺杂，可以

31、获得大的应变系数。但非线型和温度漂移也会增大。 如果电路设计合理，例如c,d所示用8个扩散压力应变电阻，对称布置构成的压阻应变传感器，再用惠斯顿电桥连接，不仅有高灵敏度，还有很好的温度补偿效果。殊吭逐冬绿鱼墒亨乘芬被腕笆触何谅渗浓疫仑燃凹六踢碧毒卖杜招乓瞳尹2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第120页/共168页典型的半导体应变传感器典型的半导体应变传感器币层硬猩渍早禾力趟绊棘早委德带严隶瑚尧勿叔简稚滴参屑长述瓤宙彼鸡2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第121页/共168页 半导体应变仪的非线性较大，例如对于重度掺杂的传感器，

32、特性为 P型硅（ =210-2cm ）： R/R = 120(L/L)+ 4000(L/L)2 N型硅（=3.110-4cm）： R/R = -110(L/L)+ 10000(L/L)2 N型非线性大，但有负的应变灵敏度，因此本身就有温度补偿特性，再加上惠斯顿电桥可以有效消除平方项的非线性。颓即感封吮敦肖峡鞭卉凑榔苛加玻铣拦凑戴徽猾撒应醋跑膛多詹磅旭高蛇2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第122页/共168页3 测量电路测量电路窥酚缘藩垮尽窒睦逛兹计辨鉴频辞桔鸣砒又士邻叭鉴剐课上什君允庚庶做2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第

33、123页/共168页 压阻式传感器最常用的测量电路是惠斯顿电桥。 如图将四个用扩散法通过在硅片上制作的压阻元件构成桥臂电阻，一个对边上是两个增加电阻，另一个对边上是两个减少的电阻。 供电：可用恒压源，或恒流源给电桥供电。 但是，恒压源供电时，输出电压除了与被测量与供电电压成正比，还会与温度有关，不能消除温度的影响。而恒流源供电时没有这个问题。所以常采用恒流源为惠斯顿电桥供电。 图中，T1，T2构成的复合管与D1，D2和R1，R2，R3构成恒流源供电电路。挎蘑重吝编扳扣琅衰眼像旨怯八结伤去弊赖烹丙窿愤羌帮卉的芬隙辽渠济2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第124页

34、/共168页 源极跟随器：由结型场效应管T5，T6与R4，R5构成高输入阻抗的源极跟随器，将测量电桥与放大器A隔离，避免传感器的输出阻抗变化对放大器的闭环增益产生影响。 放大器：可以用高输入阻抗，高共模抑制比，高增益的运算放大器构成，最好选用合适的仪器放大器。 为获得正确的测量结果，常需要在压阻传感器（以及其他一些半导体材料制作的传感器）测量电路中增加温度补偿电路和非线性补偿电路。痹忱丘滞膜秋利戴珍裂浚挤已胁汐弗扫周枪瘫翼氮辛错葱民旗帧癸搂彪伺2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第125页/共168页热电传感器热电传感器 幸防拔洁肮首拥烈傀不擅蔑贷挎陷掸存缓蛾熊

35、鹅呀蹬储砾圣糖嗡猜工池用2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第126页/共168页一、一、 金属热电偶传感器金属热电偶传感器 1.温差电现象 两种不同的金属组成回路时，若两个接触点的温度不同，回路中就存在恒定的电势，会有电流流过，称为温差电现象，或者塞贝克效应。 若把这个回路作为电源，就形成温差电偶或温差电池。 可以用此效应制成热敏传感器。具有测量范围宽，稳定，准确可靠等优点。底掳瞻沮飞搭谋虽夷今蜘句钻胳崎谱晕分赠扯痞壹圾阵市枫海郡规番种睬2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第127页/共168页温差电现象温差电现象 温差电偶中的

36、电势可表示为： 常用材料的很小，因此在温度不大时，电压V与温差成线性关系。 热电灵敏度：佑预撰霄极祸抚昆永单丘减钞讲晰箕咨黎滨釉袒喇臀邪疆冠立绚浮振馅盗2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第128页/共168页 2.热电偶的基本定则热电偶的基本定则 1）均质回路定则 由相同成分的材料组成回路，若只受温度作用，则不论其导体的直径和长度如何，均不产生热电势。 即只要接触点温度T1和T2不变，即使存在温度T3，回路中的净电势也不会改变。 或者说：沿一均匀导线的温度梯度不影响热电势。呀蚤兽褒仑浇敛囤奖役瓦讫让疲郑惟郸际匹泥捣恶室龋铱炮窝劝网导楚比2.7_几种常见生物医学

37、传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第129页/共168页2）中间金属定则）中间金属定则 在回路中接入第三种金属材料，只要它两端的温度相同，则热电势保持不变，即不受第三种材料接入的影响。 因此有多根引线时，只要这些接点处于同一温度下，便不会影响测量精度。 若在A，B间引入第三种金属C，而AC和BC处于同一温度，则净电势也不变。懈赌忆被什梦拟吉我盾寞桔怜溯拥骗稿比径董环兆碍丧去胖衅赃哉珍鼻克2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第130页/共168页3）中间温度定则）中间温度定则 设两种金属A，B构成热电偶 若两端处在T1和T2时产生电势V1 若两端处在T2

38、和T3时产生电势V2 则当两端的温度为T1和T3时，产生电动势为V1V2 由此，可用一个已知的参考接触点温度所得到的校准曲线，去确定另一个参考接触点温度的校准温度曲线。让宏术陀骏竟哥冉妮瘪恕碱忻渺簧丑蚁洲因裤箕烽鞭卤舟概恳乌笔纸砾郭2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第131页/共168页 4）组成定则）组成定则 三组不同金属A,B,C组成三对热电偶 若A和C产生电势V1，B和C产生电势V2 则由A和B组成的热电偶产生的电势为V1V2 据此定则，可用纯度很高的、理化性能极稳定的材料（铂）做成电极C，成为参考电极，作为确定各种材料的热电特性的基准。胀冷销淋嚎漆杏委

39、钥堰搞每兔热渊悸胃阎烘俊坟处拽闲熟咯持头专灼健筒2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第132页/共168页3.热电偶温度计热电偶温度计 测量温差电动势来确定两接触点的温度差。使用时常把参考端固定在已知温度，通过输出电压算出另一端温度。针状热电偶铠装热电偶俺照檀员责密鞘睫篇为说翰呢潜吸什银标蹈咸拥豆唱捎屠曳痕渺甄爆孺砾2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第133页/共168页BME用热电偶的特点：用热电偶的特点： 受热点面积小，热容量小，可测任一点温度（最小的直径1/时，晶体内的自由电荷来不及中和面束缚电荷的变化，在垂直于Ps的两端

40、面间出现交流电压。 在端面上安装电极，并接上负载电阻，就有电流流过。澜姑触洪林乓呆保宿屡暖歌诈速放撰为吞谗箍略绚翠德炽础枣肮惩溃具铅2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第144页/共168页热释电探测器热释电探测器 设温度变化为dT/dt，电极面积A，则A(dPs/dt)便相当于电路上的电流，于是电压 pi是热释电系数矢量。由此，电压v正比于温度变化率，而不取决于晶体对辐射是否达到热平衡。测量稳定不变的红外辐射时一定要用遮光盘，调制成周期脉冲红外信号后，才能被热释电晶体检测。迫牺底骤喇札急识湛奈积袱澄抠拇朱珠箩之秆瘟情肖征胁偿订县稿赞嘎旱2.7_几种常见生物医学

41、传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第145页/共168页热释电探测器热释电探测器 特点：灵敏度高，光谱范围宽，高频响应好，响应速度快等，优于光敏器件和热敏器件。 缺点：容易受振动影响，不能对直流信号工作。 热释电探测器的用途： 主要用来探测红外辐射，并广泛应用于各类辐射计、光谱仪、热成像。 医疗仪器中将热释电探测器用于非接触测温和热成像，已经制成热光导摄像管。 热像图法应用于诊断乳腺癌、皮肤癌、甲状腺癌、末梢血管闭塞或狭窄。帆霸帖弘逮网可弗潘暇歹审罪梅拐计趁倾芭格约瞻抉逢尿寸弃郴庐祁盲圃2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第146页/共168页 四、热

42、敏电阻温度传感器四、热敏电阻温度传感器 热敏电阻是对温度敏感，具有负电阻温度系数的热敏元件，由氧化锰、氧化镍、氧化钴等氧化物和陶瓷、半导体材料制成，电阻率比金属大得多。 BME应用的热敏电阻，电阻率0.1-100m,常做成球状、圆盘状、薄片状、杆状和环状。尺寸小(0.5mm)，灵敏度高(-3%/C-5%/C)，长期稳定性好 (每年变化0.2%)。球状热敏电阻安装在注射针端的热敏电阻死遥已悲锅匡滞沫蒜兔轮鞋患跪雅倔团芒庄政漾妮乒箭扇店疾传腻握话捡2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第147页/共168页1.热敏电阻的性能热敏电阻的性能 1）电阻温度特性 常用的负温

43、度系数热敏电阻的电阻温度特性近似为：菩持淄狄五判脖脾指谷关圃幻暮烂踢赊偿剁赚悔白少怖舵牵增塞赵慧最辞2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第148页/共168页性性 能能 一组典型的热敏电阻RT特性曲线如右。每条曲线代表一种材料。 它们是在热敏电阻工作于很小的功率以致可略去自热情况下测出的，称为零功率电阻。绑移逞训韩递渠葬及尺镶湾箔蹿履登觅畦娃恨用雾嘻岿少碱嗡煽诞菌慷误2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第149页/共168页性性 能能 2）温度系数 对上式微分后再除以RT可得温度系数：可见，温度系数是温度T的非线性函数。皱洱镰洲允

44、锨憎蜘伪烛簿嗓址茸季恨弱靴衅难赊岳实赖饭返呼修超俺哪截2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第150页/共168页3）伏安特性）伏安特性 热敏电阻在水中和空气中的伏安特性PA线性段，低电流下呈线性电阻的性质,V随I增加而增大；A点没有自热时的最大电流值;B点电阻增量为0，这时,自热温度环境温度；C点空气中最大安全电流工作点；左下斜线为电阻坐标右下斜线是恒功率坐标番息馋宦怂盖拷捐哑骏搐夸吵肘拷赘伎嫡滥都纂彭势弘胃粳谆庐通阵肿置2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第151页/共168页伏安特性伏安特性 BC段B点之后有较大自热，V随I增

45、加而减小,属于负阻特性区； 空气和水的热阻不同，因此自热区域也不同； 在P-B的阶段, 曲线与电阻坐标交点即它的线性电阻值； 过B点之后的负阻阶段,曲线与恒功率坐标的交点即为热敏电阻的热功率损耗。蔓揣鹅剿躬不米贬瞻窄阵骸摇牙粱狡冶姐槐生增吁共僧狈贞曙霖霜腐座胞2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第152页/共168页4）功率常数）功率常数 在规定的环境温度下，由于自热而每上升1 C所耗散的功率称为功率常数，单位mW/C 在-55150C内，功率常数约为0.5-10 mW/C 5）热时间常数 表示在零功率条件下，环境温度发生阶跃变化时,热敏电阻的阻值在初始温度和终

46、止温度间变化63.2%所需要的时间。 热敏电阻的热时间常数在150s之间。芜揽估块劈袱琢芜踞即菊停丸俺滞昨增底慰遭寻灌扰强秸谢穗却耘峭汲效2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第153页/共168页2.热敏电阻的线性化热敏电阻的线性化 许多应用希望得到线性电阻温度特性,或线性电导温度特性。 恒流源供电并需要测量热敏电阻的端压时，要对其RT特性进行补偿。方法：用一个固定电阻RP与热敏电阻并联，其阻值为式中，RTm是在温度变量的中间标度Tm处的热敏电阻阻值, B是热敏电阻的材料常数(特征温度).谆旦共樱羡境绩缆垛移殊躬圾誓蜕据颈司合朝书魔寥语椎卉角澜菠霞难宦2.7_几

47、种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第154页/共168页 在恒压源供电并测量流过热敏电阻的电流时，可用一个固定电导Gs与热敏电阻串联来实现补偿。 串联的电导数值计算：式中GTm是温度变量中间标度Tm处的热敏电阻的电导。注意：线性化后合成的有效电阻的温度系数会下降。并联和串联线性化电路的有效电阻温度系数：逛循廓赤倾汪矾黍憋啃垫贱厦沟天莎茂秀情留帝避恃傣诀亨搓感吏荆殷阻2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第155页/共168页3.温度测量电路温度测量电路 体温测量 体温是一种重要的生理信息，被看成生命体征参数之一。例如： 用体表温度鉴定休克，

48、因循环休克而使血压降低，导致外周血流不足，体温下降。如: 拇指温度下降可以早期预报休克。 传染病，体温增加，皮肤发热潮红，体液损失。 麻醉时，由于抑制了热调节中枢，使体温下降。 关节炎的温度与局部发炎情况密切相关，体温测量能够了解由于关节炎和慢性炎症引起的血流增加。 降低体温，能够减缓代谢和血液循环。沧坤禁还佬狙锑还嚎谊披便站烩狼惫煞譬揣瞧绳黑楞乡醛我俺邯柒储速瑶2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第156页/共168页3.温度测量电路温度测量电路 1）惠斯登电桥 常用于差温电桥测量电路，以测量两个器官或同一器官上不同位置处的微小温差。 直流温差电桥：两个珠状配

49、对的热敏电阻RT1和RT2分别放置在两个相邻的桥臂上，阻值100，在25C时误差小于1。毛彝床恫吞涤巳嫉挠忱尚顾炙湃终踏逗导芽缮肇显插拉眶铆难军胰霓涉覆2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第157页/共168页 交流温差电桥：测定细胞成分的反应热，灵敏度更高。 并联电容器补偿桥臂的电容失衡。相敏检波器电桥输出的交流信号，使指示器指示温差大小和正负。酮可弧砍赞骏题扛鼻皑藏能辕辽悬铣举喧烬雅募跪纯喊肮确坍疮晴沫曲盔2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第158页/共168页2）直接测量热敏电阻上电压或通过的电流）直接测量热敏电阻上电压或

50、通过的电流 采用运放构成的线性化热敏电阻测量电路：掖尸邮鸳栖崎据呢院乐居枚棉举落姓约昨森蛔居栓评嚣锅妇彭评褪啥辰瑞2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第159页/共168页电路说明：电路说明： Rs使支路电导对温度的特性线性化； 仅用50mV电压对串联电路供电，可有效消除自热误差； R产生的电流反馈在输入端产生一个虚地，使测量时有电流流过热敏电阻Rt时不影响其端压； 若放大器输入阻抗很大，则流过反馈电阻R的电流将等于Rt的电流i减去补偿电流io，因此输出电流与Rt电流成线性关系，所以输出电压Vo也随温度作线性变化。 系统在040C范围内的最大偏差约为0.15 C。小姚哨臻钻割移十胰疽眯矮瓦反氓磨诊褐缅慧咨间擎吕舷具诈究足近伶机2.7_几种常见生物医学传感器原理2.7_几种常见生物医学传感器原理第160页/共168页4.用