田口品质工程

1、田口品质工程(Taguchi-Method)损失函数直交表参数及允差设计2田口方法l田口方法是以实验的手段来决定设计参数l为了减少实验的次数，依控制因子及其水准的数目选用适当的实验直交表l设计的目标是寻求最佳的产品（或制程）机能（性能），并且维持此一机能的稳健性，亦即受干扰因子的影响减至最少3实验计划法与田口方法统计的基础（检定，推定回归ect）重回归分析数量化类分析集团分析数量化类分析主成分分析因子分析多变量分析实验计划法有效率的求得影响品质特性的多数因子的最适条件品质的定义品质的论价规格的决定（安全系数）参数设计（2段设计法）为了安定而设计不受杂音（误差原因）影响主成分分析因子分析多变量分

2、析4田口品质工程主要内容一览表规格（允差）的决定方案在图面和规格书上记入制品的规格（允差）时，不依赖经验及直感，以理论性来求取方法。参数设计满足各种使用条件的高稳健性制品，为了使其在低成本中，有效率制造的设计。（即，使用低成本的材料、零件、实现使工程管理容易的设计）允差设计参数设计的结果，所得到特性的变异中留下不安场合，必须将某些要因限制在某一定范围中的理论性求取方法。品质水准的评价对买进的零件与制出的成品，在品质水准上做评价与比较的方法田口品质工程田口线外品质工程(在研究、开发、设计、生技上使用的品质设计技术)根据产品机能的变异公害、杂音等的弊害项目来评价品质田口线上品质工程（制造工程中使用

3、的品质管理技术）回馈控制调查成品的特性值，与目标值有某程度以上的差异时，使工程回到正常状态的回馈控制的节制的管理理论。工程的诊断与调节只能判断判断与不合格时的工程设计理论。工程连结的系统设计考虑连结一连串的加工工程时的劳动率与库存费有用，求取最适合的连结方式的系统设计。适应 (Feed Forward)控制此设计理论是调查零件及中间制品的特性，选用适用的零件，吏工程条件改变，成品按照目标值制造的适应控制方式。检查设计在决定检查方法时，调查工程的品质水准与工程中的不良率，决定是否要对其进行调查的方法。预防保养方式的设计已出货的成品无法发挥其机能，以及生产机械发生故障而停用时的预防保养的设计。安全

4、系统的设计与保养纵使安装了故障显示装置，故障显示装置本身的异常也非要人类来检查不可，这种场合的检查方式的理论。5田口博士的品质定义l 产品在它的生命周期内，整个社会对它所付出的总代价l 此总代价称之为品质损失 (quality loss)l 越少的品质损失代表越高的品质l 品质损失消费者购买产品时支付的费用, 这包括了制造商的成本产品对消费者造成的不便产品对环境的侵害维修或更换费用消费者会把对品质损失的满意度反应在市场上品质差的产品或厂牌会渐渐失去市场, 于是品质差的制造商最终还是要自食品质损失的后果消费者是品质的最终决定者6下列对产品的描述可以视同义的l 品质很高l 社会对它所付出的代价很小

5、l 品质损失很小l 消费者满意度很高l 消费者不满意度很低l 当品质特性与消费者的期待值 (目标值)一致时, 消费者的不满意度是最低的 (品质损失是最小的)l 当品质特性开始偏离目标值时, 消费者的不满意度也开始提高品质损失开始增加7损失函数损失$L(y)y0y0-y0+A元某特性的规格中心值为y0，允差为超出时，予以废弃或修理的费用为A元。废弃或修理的费用规格中心值y.)(! 2)()(! 1)( )()()(20000000yyyLyyyLyLyyyLyL特性值本来为y0，允差为若其为y时所造成的损失为L(y )，在y0的外围进行泰勒展开：000220200)()(! 2)( )(kyyk

6、yyyLyL省略高次若y与y0有偏差时 ，若损失L(y )等于A元，则：2Ak这意谓着并非在规格内即可，而是必须尽可能在规格的中心。8损失函数的计算例y0-115-25y=电压(DC)损失$L(y)y0115y0+115+25A=20,000元当偏离25V时，丧失机能的更换与修理的费用损失函数L(y)如下：规格中心值，可获得最佳机能222222)115(32)115(25000,20)115()115()(yyyAykyL假设工厂做出的产品电压为112V并出货，其损失函数L(y)值为：288)115112(32)(2yL其原因为某一电阻不良所造成，而其更换及修理费用为100元合理的图面公差合理

7、的图面公差)(8 . 111532100115)115(32100)115(32)(22VyyyyL为防止社会损失288元工厂的修理费用技术的真正目的，在于核算自已与社会的损失时仔细寻找出比现在更好的方法。输出电压为112V的产品，是不合格的！9以以SN比来评价较容易了解比来评价较容易了解No.A1A2A3A412345678302931303130293015203540253548221091091110101157131815697平均30301010y2402408080(例)改善某产品的特性Y，就其制造方法要因之一的A，以4种水准做实验得到下列表数据。试判断那一个较好？Y的数据A1A

8、2A3A45101520253010以SN比评价Y的目标值A1A2A3A4(1)如湾曲或表面粗糙愈小愈好时望小特性-29.5-30.0-20.0-20.8(2)如强度或寿命愈大愈好时望大特性29.527.819.917.7(3)如长度或厚度有目标值时望目特性30.08.422.46.3dbyn21log10dbyn211log10dbVnVSmeelog102yST2ySmnmTeSSS1nSVee-20-22-24-26-28A1 A2 A3 A4望小特性A3好望大特性A1好A1 A2 A3 A4192225283116A1 A2 A3 A4510152025030望目特性A1好A1A2A3

9、A451015202530为了品质改善的研究能有效率地进行而导入的特性质。11静态特性与SN比特性值损失函数SN比()的考虑方法SN比()灵敏度(S)的公式公式的导出望小特性望大特性望目特性0目标望目特性一般的望目特性2200AL22log101log102222121nyyyn2200 AL22log101log102222121111nyyyn2200ALn212eyyyn1S10logV110logSmSnnyynyynnSVTniee11111112212112222022220020200ymymAALVeSmnSVVSmnyee1log101log10log1022 nVeSmyV

10、EynSmESmSmnye22222的期待值一般平均值m=0y值是無效的成份y1y2yn01/y值是無效的成份1/y11/y21/yn0)(1xmy可調整為近於0Ve是無效的成份m=0y1y2ynyVe值是無效的成份y1y2ynmyy尽可能调整至m12允差设计的考虑方法参数设计特性质的全变异计算何种因子对特性质有多少程度的影响对特性质影响较大的因子使其允差减少，藉以减少特性质的差异。决定如何缩小零件(因子)允差，而能使增加成本与提高品质之总损失金额为最小的条件。控制因子误差因子特性质因子允差缩小所引起的成本增加因子的种类直交表因子水准的取法全变动的计算法变动的分解及贡献率(变异数分析)求改善后

11、的全变动13允差的决定方法决定允差之前，使得品质与成本平衡，对于决定合理的允差来说是重要的l品质设计时，只需计算损失函数，但在交易和制程管理时，是使用规格及允差。l决定决定规格书及图面公差的方法。损失函数与安全系数望目特性和允差望小特性、望大特性和允差决定下位特性(原因特性)的允差方法14损失函数和允差设计在参数设计后，必须对于材料、零件和主要环境的安全性、劣化与成本，作一番考量之后予以选择。b(%)温度系数(%)磨耗量价格(元)A10.080.15180A20.030.06250A30.010.05630例：尺寸在0=6%变化时，市埸上会有问题发生，其损失A0是18,000元。下列那一个材料

12、是最适合呢？使用此材料的温度条件x的标准差x是15寿命设计是20年222223TbxTTdttT022223)(1代15 代20年44. 415. 03201508. 022222A1价格品质水准L总损失A11804.4422202400A22500.6825341691A36300.355817880822220206000,18AL使得品质与成本平衡(和最小)，所以选择A2，之后再由安全系数决定允差。15损失函数与安全系数AA失超出工廠規格的工廠損失超出機能界限的平均損0出厂后，是允差设计时，品质、成本的平衡点(最小和)所求的值销售价格或修理费用安全系数电视使用的电源回路电压之机能界限为2

13、5%，A0为30,000元(在市埸超出机能界限的损失)A为100元(在工厂内发现超出规格而加以修理的费用)示例：3 .17100000,30AA0工厂规格为：%45. 13 .17%250若以115V为目标时，工厂制造规格变为如下：)(7 . 11150145. 0115115V安全系数16决定下位特性(原因特性)的允差方法202020020)()(mxbAmyAL原因系就是决定下位允差的问题，可由相对的上位特性之损失函数求得。上位特性規格為00m超出规格的损失为A0上位特性y的损失函数L为：2020)(mxbAA)(mxbAA00以冲床来制造铁板，若形状不良时，修理费用A是1200元。形状的

14、尺寸规格为m300(m)尺寸厚度硬度厚度1m变化尺寸6 m硬度1H变化尺寸60 m厚度的来料允差为：)(5 .2)(60300200, 1300RH硬度的来料允差为：)(25)(6300200, 1300mmm0斜率bxy示例17社会损失与杂音因素的关系社会损失社会损失机能特性和目标值机能特性和目标值之间的差异之间的差异造成差异的杂音因素造成差异的杂音因素外部杂音外部杂音内部杂音内部杂音(劣化劣化)产品间杂音产品间杂音产品使用时产品使用时,因使用条件因使用条件,如温如温度等而使机能发生变异。度等而使机能发生变异。产品组件的劣化产品组件的劣化在既定的制造条件下在既定的制造条件下,因因条件变异而造

15、成产品间发条件变异而造成产品间发生差异。生差异。所有质量管理活动的最终所有质量管理活动的最终目标就是要生产经得起各目标就是要生产经得起各种杂音因素考验的产品种杂音因素考验的产品.坚耐性坚耐性(Robustness)就是就是产品的机能特性对杂音因产品的机能特性对杂音因素的关异不敏感素的关异不敏感,不受其影不受其影响响.18因子(factor)：引起数据变化的可能原因l 因子数宜多不宜少。l轮軩寿命测试，橡胶混合液的某种特性。l无法控制原料成份，但所测定记录的原料成份。例如：上午和下午、不同使用者或上海及深圳的路面。例如：寿命试验时的使用电压。54321对随机化的实验有影响，而不予测定其状态的其它

16、所有的因子，均称为误差因子，或简称为误差。误差因子l受上述三种因子影响的辅助实验值。l记录随机化的实验状态的补助测定值。辅助因子有水准的设定，但水准的设定无技术上的意义。地区因子虽有水准的不同，但对选择最佳水准并无意义的因子。指示因子为选择最佳水准所举出来的因子。完全无控制因子的实验称为调查。控制因子19直交表可以有效而简单地配置所需的实验。行No.12345678A111112222B211221122C311222211D412121212E512122121F612211221G712212112)2(L78水准数可配置因子数实验次数878L簡稱直交表)2(L学习实验计划的人，必须具备驱

17、使实验配置的能力。使用直交表的配置方法可以有效而简单地配置所需的实验。实验号码或配置号码可以配置7个2个水准的因子水准1水准220直交表Orthogonal Arraysl每一行都是自我平衡的 (self-balanced)即每一行中各水准出现的频率是相同的l每两行间都是互相平衡的 (mutual-balanced)即在某一行中，出现某水准的所有实验组，在另外一行中，出现各水准的频率是相同的l有这两个特性的实验计划表称为直交表 (orthogonal arrays)21直交表的目的l 推荐直交表的理由：其理由在由我们是否重视再现性高的要因效果。在直交表里A1与A2两阶次的相差是变更其它因素条件

18、下所求出的平均效果。在实验室小规模实验的结果可以应用于现埸。l表示其它因素变化时，具有一贯性的因子，对于规模的因素有变化时，其再现性的可能性也大。行No.12345678A111112222B211221122C311222211D412121212E512122121F612211221G71221211222点线图_线可变点，点不可变线行No.12345678B111112222C211221122BxC311222211D412121212BxD512122121A612211221e712212112因子水准原料AA1A2退火方法BB1B2温度CC1C2时间DD1D21246357两种

19、不同的退火方法，因为炉不同，其它状况也不同，故B1的最佳温度(C)与时间(D)条件与B2不同，即有BxC及BxD的交互作用。)2(L78124635767DCBxCBxDAeB水准数可配置因子数实验次数23L8(27)1246357ABAxBCAxCBxCAxBxCExp.12345671111111121112222312211224122221152121212621221217221122182212112123456724直交表Orthogonal Arraysl 二水准的直交表L4(23)、L8(27)、L12(211)、L16(215)、L32(231)l 三水准的直交表L9(34

20、)、L18(2137)、L27(313)、 L36(211312)、L36(23313)、L54(21325)l 四水准的直交表L16(45)、L32(2149)l 五水准的直交表L25(56)、L50(21511)25高度推薦的直交表 l L12(211)、L18(2137)、L32(2149)、L36(211312)、及L54(21325)等這些直交表中，交互作用或多或少均勻地分散到各行了l 所以這幾個直交表是最受推薦的直交表 l L18(2137)是很多大公司最常使用的直交表 l L12(211) 直交表則常被用來做過濾實驗 (screen experiments)或干擾實驗 (nois

21、e experiments) 26稳健品质设计Robust Quality Design决定控制因子的值, 使得品质特性达到理想的机能, 且让干扰所造成的品质特性变异减至最小27稳健品质设计的原理如何让干扰所造成的品质特性变异减至最小?l 利用品质特性与控制因子间的非线性关系去降低内部干扰因子的影响l 利用干扰因子与控制因子间的交互作用去降低外部干扰因子或量测干扰因子的影响行号NOA B C D1 2 3 4N(晶圆面内位置)abcde1234567891 1 1 11 2 2 21 3 3 32 1 2 32 2 3 12 3 1 23 1 3 23 2 1 33 3 2 1因素配置表外侧因

22、素误差因素为了求SN比内侧因赤控制因素为了改善SN比28两阶段最佳化 (Two-Step Optimization)l 先调整那些对S/N有影响的因子, 使得S/N变得最大l 调整因子Adjustment Factors 再调整那些对品质特性有影响但对S/N没有影响的因子, 使得品质特性的平均值移至目标值但变异维持不变29两阶段最佳化示意图0510159.59.69.79.89.910.0 10.1 10.2 10.3 10.4 10.5品質特性機率密度原始設計第一階段第二階段 第一阶段最佳化第二阶段最佳化A1 B？ C3 D3 E1 F？ G？ H2A1 (B) C3 D3 E1 F2 G？

23、 H2降低成本A1 (B) C3 D3 E1 F2 G3 H230l由于田口式直交表强调其高效率, 所以常常让直交表填满了控制因子 (称为饱和直交表，saturated arrays), 以致于所有因子效应都或多或少混淆着交互作用的效应，背后有甚么基础，让我们采用这种做法呢？交互作用The Nature of Interactions31田口方法对交互作用的基本态度l为了实验效率, 可以使用饱和直交表实验l慎选品质特性及控制因子去尽量降低交互作用至可接受的范围l将交互作用的效果应视为干扰, 亦即看成是实验误差的一部份l所有控制因子效应必须要和实验误差来作比较, 若足够大, 此因子效应才被认为是

24、有意义的或重要的 (significant)32降低交互作用角色的必要性l当实验室中小规模的实验的结论要能够推广到大规模的生产线时, 交互作用必须够小l因为交互作用在实验室和在大规模的生产线的效应常常是不一样的33降低交互作用至可接受的范围l 弱交互作用 (weak interactions) 是可以接受的l 强交互作用 (strong interactions) 是必须避免的B1B2品質特性A1A2D1D2品質特性C1C234烘烤时间和烘烤温度间的交互作用20min30minYield15020020min30minDarkness150200选择品质特性以降低交互作用35选择品质特性以降低

25、交互作用l 最好是连续实数函数l 最好是各控制因子的单调函数(monotonic functions)l 最好是与能量转换有关適當的品質特性不適當的品質特性力良率或不良率距離通過或不通過速度可靠度加速度外觀壓力缺失數目時間氣泡數目36选择控制因子以降低交互作用l滑动(移动)水准 (sliding levels) 常可以降低交互作用Level 1 Leve 2 Level 3Level 1 200Level 2 250Level 3 30010 hrs 17.5 hrs 25 hrsLevel 4 350Level 5 400TimeTemperature10 hrs25 hrsYield200

26、400Level 1 Leve 2 Level 3Level 1 20018.752531.25Level 2 250152025Level 3 30011.251518.75Level 4 3507.51012.5Level 5 4003.7556.25Time (hrs)TemperatureShortLongYield20040037滑动(移动)水准: 烤面包例子l烘烤时间 (A), 考虑20分钟或30分钟两个水准l烘烤温度 (B), 则考虑低温及高温两个水准烘烤时间20分钟时低温及高温分别是170及220烘烤时间30分钟时低温及高温分别是130及18038重要性测试: 一半准则l将大约

27、一半的控制因子视为重要因子, 另一半视为不重要因子-22468121620241 23A：電鍍時間B：電鍍槽溫C：氨水量1 231 231 23D：還原劑量（db）S（db）直接看圖而不作變異數分析。39误差的合并Pooling of Errors圖7.10 塑膠融合強度實例的變異分析表FactorSSDOFVarFConfidenceSignificant?*A14133.027066.5234.2100.0%YesB252.62126.34.297.7%NoC337.32168.75.699.2%YesD939.02469.515.6100.0%YesError1086.03630.2To

28、tal16747.944*Note: At least 99% confidence圖7.11 塑膠融合強度實例的第一次誤差統合FactorSSDOFVarFConfidenceSignificant?*A14133.027066.5200.6100.0%YesBPooledC337.32168.74.898.6%NoD939.02469.513.3100.0%YesError1338.63835.2S = 5.9Total16747.944*Note: At least 99% confidence圖7.12 塑膠融合強度實例的第二次誤差統合FactorSSDOFVarFConfidence

29、Significant?*A14133.027066.5168.7100.0%YesBPooledNoCPooledNoD939.02469.511.2100.0%YesError1676.04041.9S = 6.5Total16747.944*Note: At least 99% confidence40参数设计的设计步骤1明白确定设计的目的清楚揭示理想机能，确定是采用参数设计或者是允差设计。2检讨目的特性（特性值）及因素针对理想机能，准定以何种目的的特性（特性值）进行评价，然后抽出影响目的的特性的因素，明确此因素的任务。3因素的配置为其使因素效果明确，简单的情况下则采多元配置，检讨因素众

30、多的情况下，则采用直交表配置4决定实验程序，进度安排配置好的实验，视其难易，进行时有时必须多费极多的时间，尽量预先检讨有效率的实验程序，清楚决定日程。企业竞争要获取胜利，就必须尽早一日推出优良的产品。5实验和取得数据按照计划确定进行实验，取得目的特性的数据。6数据的解析和最适条件的决定进行目的的特性SN比的计算或者进行变异数分析，决定重要的要因及其水准。7最适条件下效果的推定选择最适条件后目的的变异和目标值的配合。8确认实验确认选择的最适条件是否有再现性。1.以上步骤可以利用电脑做相同的模拟实验。2.此外，第一次实行参数设计，尚无法达到目标值，可从第7步骤开始执行允差设计，再进一步确认实验。参

31、数设计也可称为安定性设计；SN比也可称为安定性的评价特性。41参数设计的观念_两阶段最佳化对零件变异极大的状况下，如何缩小变异其次，以拥有线性的因子来符合目标值假使将因子A的水准由A1提高A2，零件在变异极大的状况下可以缩小其特性质的变异。因此，必须尽量发现更多非线形的因子。一变动因子B的水准，特性质的变异能够在原状下符合目的值。由此，必须寻找出一个容易调整更具线形的因子。42参数设计的观念对产品特性变化(变异)的原因外部杂音环境造成的变异(温度、湿度、灰尘等)内部杂音劣化造成的变异(耐久性)商品之间、批量之间的变异使用变异大的零件降低工程条件、限制成本降低特性质不会产生变异43参数设计的详细

32、步骤例 步骤12l 步骤1 设计的目的 半导体用硅晶圆上的镍镉电镀膜，必须开发没有电解质电镀的电镀法，电镀膜被要求的特性是晶圆面上的电镀膜厚，晶圆面上的变异必需在2.00.35，请求出开发新电镀法的最适条件。l 步骤2 目的特性（特性值）因素的检讨 新方法的电镀膜厚所决定之控制因素由文献上调查所得的结果，如图1可以作为控制因素的效果，各因素其水准有很大的变化，请求出其目标膜厚的最适条件！ 特性值为镍镉电镀膜厚，并用测定精度非常高的X光膜厚测定器来测定， 晶圆内的任何一个位置的膜厚目标值必须要均匀，采有晶圆面内的位置之误差因素。还无剂量电镀槽温度晶圆面内位置氨水（浴PH调整液）电镀时间Ni电镀膜

33、厚DNCA晶圆面内位置caebdB44参数设计的详细步骤例 步骤 3l 步骤3 因素的配置各控制因素是以3水准来做实验，从4因素3水准中，使用L9直交表，因素A、B、C、D如因素配置表方式加以配置，同时，误差因素N置于外侧来收集数据。记号123AA1A2A3BB1B2B3CC1C2C3DD1D2D3行号NOA B C D1 2 3 4N(晶圆面内位置)abcde1234567891 1 1 11 2 2 21 3 3 32 1 2 32 2 3 12 3 1 23 1 3 23 2 1 33 3 2 1因素与水准因素配置表外侧因素误差因素为了求SN比内侧因赤控制因素为了改善SN比45参数设计的

34、详细步骤例 步骤45l 步骤4 决定实验顺序，进度安排省略l 步骤5 实验及收集数据用X光膜厚测定器所测得晶圆面内5处(ad)的Ni电镀膜厚数据。行号No.A B C D1 2 3 4Ni膜厚数据（单位 任意目盛）abcde1234567891 1 1 11 2 2 21 3 3 32 1 2 32 2 3 12 3 1 23 1 3 23 2 1 33 3 2 10.801.661.391.950.433.201.484.3512.050.641.451.212.020.5783.021.523.892.220.501.631.362.160.543.582.444.482.480.541.

35、831.532.100.643.762.325.021.670.501.501.452.140.964.661.844.762.67L9实验的配置及数据46参数设计的详细步骤例 步骤6.1l步骤6数据分析及决定最适条件（1）SN比之计算11log1022nSVSSSnYSYSdbVVSneemTeimiTeem行号No.A B C D1 2 3 4Ni膜厚数据（单位 任意目盛）abcde1234567891 1 1 11 2 2 21 3 3 32 1 2 32 2 3 12 3 1 23 1 3 23 2 1 33 3 2 10.801.661.391.950.433.201.484.351

36、2.050.641.451.212.020.5783.021.523.892.220.501.631.362.160.543.582.444.482.480.541.831.532.100.643.762.325.021.670.501.501.452.140.964.661.844.762.67求各个样本的SN比（例）样本No.1之SN比0163. 040651. 00651. 07761. 18412. 17761. 1598. 2550. 054. 050. 064. 008. 08412. 150. 054. 050. 064. 008. 02222222eemTVSSS下面，No.2

37、No.9使用同样求法db34.1359.21log100163. 00163. 07761. 151log1047参数设计的详细步骤例 步骤6.26.3（2）灵敏度S之计算SnVSSem来求各个样求各个样本log10用dbS54. 450163. 07761. 1log(例)样本No.1之灵敏度下面，No.2No.9使用同样求法（3）作出各个样本SN比和灵敏度S的一览表样本No.123456789 (db）13.3420.6821.3527.479.8915.0912.6620.4315.12S (db）-4.544.152.846.33-4.1111.205.6213.066.8948参数设

38、计的详细步骤例 步骤6.46.3(4).求各因素水准的SN比及灵敏度S之平均值（例）因子A46.18335.2168.2034.131A48.17309.1589. 947.272A07.16312.1543.2066.123A52. 8389. 606.1362. 53AS82. 0384. 215. 454. 41AS47. 4320.1111. 433. 62AS行号No.A B C D1 2 3 4Ni膜厚数据（单位 任意目盛）(db）S(db)abcde1234567891 1 1 11 2 2 21 3 3 32 1 2 32 2 3 12 3 1 23 1 3 23 2 1 33

39、 3 2 10.801.661.391.950.433.201.484.3512.050.641.451.212.020.5783.021.523.892.220.501.631.362.160.543.582.444.482.480.541.831.532.100.643.762.325.021.670.501.501.452.140.964.661.844.762.6713.3420.6821.3527.479.8915.0912.6620.4315.12-4.544.152.846.33-4.1111.205.6213.066.89以下依样可求出B、C、D49参数设计的详细步骤例 步骤6

40、.5.15）作出各因素和各水准的SN比及灵敏度的S的一览表（例）因素B在各水准下的及SB的第1个水准是由直交表B两列中的No.1, No.4, No.7三者之和求得其平均值 1及SB1。行号No.A B C D1 2 3 4Ni膜厚数据（单位 任意目盛）(db）S(db)abcde1234567891 1 1 11 2 2 21 3 3 32 1 2 32 2 3 12 3 1 23 1 3 23 2 1 33 3 2 10.801.661.391.950.433.201.484.3512.050.641.451.212.020.5783.021.523.892.220.501.631.362

41、.160.543.582.444.482.480.541.831.532.100.643.762.325.021.670.501.501.452.140.964.661.844.762.6713.3420.6821.3527.479.8915.0912.6620.4315.12-4.544.152.846.33-4.1111.205.6213.066.8982.17366.1247.2734.131B47. 2362. 533. 654. 41BS同理A、C、D以同样的程序求出及S50参数设计的详细步骤例 步骤6.5.2要因123MAX-MINA18.4617.4816.072.39B17.8217.017.190.82C16.2921.0914.636.46D12.7816.1523.0810.30灵敏度灵敏度S之一览表之一览表SN比比之一览表（之一览表（db）123MAX-MIN0.824.478.527.702.474.376.984.516.575.76