上海先进能源管理系统

1、  1 上海先进半导体有限公司能源管理系统方案Manage Your Energy 目 录1.  经验与资质 . 3 2  4、培训方案 . 20 5.2免费服务  .  22 6、 项目设备清单及报价 . . 23 3  能源管理系统方案用户上海先进半导体有限公司 我们对客户的承诺2  3 1. 经验与资质高质量的服务是我们与客户成功合作的前提。1. We are committed to meeting the speci

2、ficneeds of our clients.我们承诺将实现客户提出的特殊要求4. The development of a durable and fruitful partnership with our clients is always a source of excellent results. This is the basis of a win/win relationship. 我们将和客户实现持久和富有成效的合作并带来出色的成效。 这是建立双赢合作关系的基础。2. A preferential relationship ensures that you can check

3、regularly to see that our servicesconform to your expectations.我们将确保您能够定期审核我们的服务并确认是否达到了您的期望值。5. Our total commitment stands behind theresults we produce. 我们将以最出色的解决方案作为承诺的坚实 后盾。3. We provide the best solutions for your needs with an omnipresent concern for quality. 我们将提供最佳的方案使您感觉到无所不在 的优质服务。6. The

4、added value that is the keystone of ourservices is the illustration of our know-how. 超值的服务将充分展示我们技术实力和也是服务的要旨。  4 2. 项目系统方案概述2.1 EnergyPEC能源管理系统介绍EnergyPEC 能源管理系统总目标是建立一个全局性的能源管理系统, 构成覆盖能源 信息采集及能源信息管理两个功能层次的计算机网络系统,实现对电能、天然气、 蒸汽、冷(热量、和用水等能源介质的自动监测,进而完成能源的优化调度和管 理。实现安全、优良供能、提高工作效率、降低能耗,从而达到

5、降低产品成本的目 的。其中包括三大部分内容:能源数据采集,能源数据实时监控和能源数据统计、 分析和管理。其主要功能是实现能源数据的采集,并为企业内各个部门提供能源数 据服务,并可以与企业的 ERP (如 SAP,Oracle 等系统对接,为用户提供各种能耗 指标。全厂设置一个集中能源中心。全厂能源调度监控中心通过网络从各能源子站中获取 能源数据,实现全厂的能源数据集中监控和管理。并实现能源数据的集中管理和归 档, 并通过客户端在能源管理部门范围内的进行能源数据管理和分析, 并生成报表; 全厂能源管理中心和各能源子站通过工厂已有网络结合在一起构成一个完整的系统 系统构架图如下: 2.2

6、 EnergyPEC 能源管理系统架构EnergyPEC 能源管理系统主要由三部分组成:EnergyPEC 能源管理软件平台 :主要对采集的数据进行整理和 分析,相当于整个 系统的大脑。数据采集仪表 :智能电表、智能水表、蒸汽流量计、冷量计、热能计等各种带通讯 功能的仪表。拓远为用户提供高品质的 EnergyPEC 专用智能电表。网络通讯设备 :主要用于将仪表采集的数据传输到软件平台内,可以采用综合布线 或者无线的方式。2.3 EnergyPEC能源管理软件平台EnergyPEC 能源管理系统采用 C/S结构,服务器主要用于能源数据的采集和一些基 本设置,客户端用于为用户提供能源数据的管理、统

7、计和分析。EnergyPEC 能源管理系统服务器端采用图形化,对象化开发 :EnergyPEC内置能源 消耗单位、设备、仪表(水、气、电、汽表等对象,只需要通过简单的添加、复 制等按钮就可以进行开发或者系统的扩展。无需复杂编程,保证系统的易使用,易 扩展性和可用性能源实时监控计算机是能源实时监控信息服务器的客户端。通过该 客户端可以实现的功能:分区域和系统建立清晰的能源管理架构显示全厂能源系统总揽图(各个仪表采集的各车间各能耗功率 , 负荷 动态显示各表读数(电,水,压缩空气,蒸汽等能源计量系统事件记录,报警管理(表,终端,服务器故障任意数据趋势显示,跟踪记录5  Ener

8、gyPEC 能源管理系统客户端统主要完成能源数据统计、管理、分析和报表生成 几大块功能,客户端提供各种能源数据分析管理工具,用户通过 EnergyPEC 的客户 端就可以实现对能源系统管理、分析和数据分享。EnergyPEC 能源管理系统客户端主要是通过 EnergyPEC 服务器完成系统中历史 数据的存储、管理,并向网络中的工作站和上层信息管理系统提供数据发布。即 在工厂网络内的任何一台安装了客户端的计算机通过一定权限的赋予都可作为能 源管理分析的使用端。2.4 EnergyPEC能源管理系统功能拓远技术团队提供给您标准能源产品,使您的系统很容易安装和维护。能源管理系 统以全厂能耗为对象,实

9、现能耗计量实时化,问题处理实时化。并在一定历史数据 的积累下,为进一步能源数据的挖掘提供基础。我们提供适用于简单系统与复杂系统的综合能源管理的解决方案。通过用户化的软 件,您可以采用易于理解的方式快速得到您需要的能量数据。从图形到数据库,综 合能源管理解决方案提供了对能源使用的可视化与跟踪。在海量的能耗数据中迅速 发现能耗薄弱环节和问题。数据的充分利用能给企业带来无穷的动力,为企业的管理和功能决策提供依据。无 效的数据的堆集只会对企业的资源带来浪费,有效地利用数据意味着把数据放到你 的指尖上。我们意识到将数据传送到在工厂中需要的地方是与测量是一样重要的。 能源管理解决方案的实力就是把所有的能耗

10、信息集成起来。我们的应用主要集中在 通过以下的方式来节约你的成本:使你重新评估你的费用; 防止昂贵的能源质量问 题;意识并纠正能源问题;发现能效薄弱环节;完成需求侧管理,控制需求量以避 免不利的结果。6   7 能源监控系统的动态显示对能源系统能源 (水、空气、燃气、电、蒸汽、冷量等进行实时监控,并提供从概貌到具体的动态图形显示。EnergyPEC 能源管理系统提供了动态的数据管理功能, 用户可以在工厂平面图或者 某个车间的平面图快速浏览到所管理的能耗数据。1 根据用户的需求对异常状态和数据及时发出报警; 对回传数据报警信息, 超限进行报警。2 保存历史报警事件的

11、发生时间和内容; 本方案除了系统的实时监控功能,更为重要的是能源信息的管理分析功能。能源管理控制中心设有历史数据库,实时采集能源系统信息,定期存入能源耗用量及各种设备异常状态的实时数据以产生生产调度报表和事件记录报表。计量仪表设备在系统里配置完成后,系统将会从计量仪表中采集能源介质信息和其 它相关能源动力信息。系统把这些数据存入数据库。建立能源设备负荷档案。系统 提供标准报表工具和分析工具,用户也可以根据需要自定义分析参数对象,方便地 显示和分析计量设备的能源负荷档案。下面的报告用于支持能源档案系统:时、日、月、年的能源档案时、日、月、年的表格式报告可选的时间 /日期档案可选的时间

12、/日期表格式报告和其他能源管理系统不同的是, EnergyPEC 能源管理系统提供的能耗指标功能能方 便的让用户定制各种其需要的能耗指标。单位产品能耗、单位面积能耗、扩散工艺 段单位产品能耗、单位产品空调能耗等等各种能耗指标,方便用户在使用过程中定 制最能反映能耗效率的指标(E-KPI ,实时追踪和增加各种能耗指标(E-KPI , 并能将其定制成报表。8   9 日历负荷图按月提供负荷曲线,让用户非常直观的发现能耗变化异常而不需要每次 进行查询。如前面所述,系统采集能源信息并存入数据库构成能源档案 , 每个采样点能源数据 会被分配到一个或多个费用中心。 系统价格设

13、置为各种能源提供了价格设置的模块, 用户可以将各种能源,不管是电、水等价格关联至能耗,计算出费用,系统还提供 执行时间,方便对不断波动的能源价格进行修改。  10 精确地按部门及生产分厂等分摊能源费用, 自动产生各部门与各分厂帐单及使用 报表;增强能源使用的觉悟性,为创造节约能源的激励机制提供依据;鉴别各部门及分厂的能源费用及其对效益的影响;提供能源历史数据,以利于整个能源系统的规划及改造;用经济杠杆来推动节能降耗。下面的报表用于支持成本分析与分配系统: 月成本分摊报告 月消耗报告 单件产品的能源消耗:可以显示单件产品的水,汽,电的能源消耗值报表及历史趋势分析曲线系统将提供

14、一个长期的,持续的能源管理平台,以此把能源管理从目前的一个短期行为转换成一个有系统数据支持的、每时每刻与工厂管理相关的长期行为。用户可以设定所有管理设备及工艺的能耗基准线,实际能耗如果超过能耗基准线,系统将提供报警,并将此事件记录。为了充分利用设备产能, 发现系统提升的可能性, 就需要对系统综合效率进行分析。 分析的基础是设备效率档案的建立。效率评估 效率评估对产能设备的综合效率进行评估。通过手动或者 SAP 数据的导 入,对设备的效率进行评估。如果发现效率有异常,用户可以通过效率损失分析进 行原因分析。 效率损失分析要发现综合效率损失原因就需要对关联设备效率进行分 析, 影响综合效

15、率影响设备效率的 原因多种多样, 包括环境变量温度, 操作工艺等 都可能影响设备效率。系统提供灵活的分析手段,用户可以通过自定义起止时间,设备名称或设备使用 部门对设 备的效率, 最大效率时间, 最小时间等历史信息的报表或趋势图分析。 对 效率损失的原因 进行分析,寻找导致设备效率下降的主要原因。通过系统强大的 图形分析功能, 还可以将效率和其它关联因数进行关联分析。 以下设备效率分析报 告用于分析设备效率。月设备效率报告可选时间设备效率报告可选设备效率报告设备最大,最小设备效率企业为了完成节能减排目标需要经常进行节能改造,测量与验证节能效果是企业重 点关心的问题, EnergyPEC 为企业

16、提供了节能效果测量与验证功能,为用户对节能 效果进行测量与验证,其中包括:能源节约验证、费用节约验证和碳减排验证。用 户可以方便的进行测量与验证。11   12 EnergyPEC 报表 中 心 为 用 户提供了强大的报表功能。 报表中心内的几十种报表类型, 从各种能耗数据及费用比较, 到电力峰谷平报表; 从碳排放报告到系统能耗评估,从能耗指标到能耗预算等等, 满足用户对报表的需求, 用户无需繁琐的编辑, 只需要简单操作就能生成精美的报表。支持 EXCEL 和 PDF格式,用户可以方便的进行编辑和打印。另外 EnergyPEC 的自定义报表功能为用户 提供定制精美

17、报表的平台,用户还能定制自己喜欢的各类报表模板。企业能耗的变化往往和很多因素有关,例如产量、天气因素、运行时间等等,如何 客观的评价这些变量因素对能耗的影响? EnergyPEC 系统基于国际测量与验证协 议(IPMVP 为用户提供了高级分析手段如回归分析等手段,帮助客户建立能源模 型,能源预测模型等等,系统可以同时提供五个变量的分析。 EnergyPEC 能源管理 系统帮助用户将能耗影响因素进行量化,帮助企客观的建立能耗基准线(Benchmark ,发现能耗异常的情况,对复杂的节能措施进行节能效果的测量与 验证。  13 目前大部分地区都有峰谷平电价,如何利用不同的电价进

18、行有效的生产安排,降低 能耗费用,帮助生产及设施管理人员进行分析和决策,系统能为用户自动计算出设 备或工艺经过调整后节约的费用,让企业管理者看到进行调整带来的直接效益。EnergyPEC 能源管理系统为用户提供了虚拟仪表的功能,用户可以将仪表进行任意的四则运算,定制一个虚拟的仪表。例如:制冷机的 COP (冷量 /电耗,空压机的效率(气量 /电耗,制冷机能耗与辅助设备能耗等等各种虚 拟仪表。用户可以定制各种虚拟仪表来监控很多重要的指标。EnergyPEC 提供邮件定制功能,用户可以将指定的报表,例如:日能耗 /费用报表 等各种报表按照指定的时间,发送给指定的用户,用户打开电脑就能看到

19、想要的报 告。能耗预算帮助管理层根据各种关键经济性指标定制预算,并进行比较。权限管理功能,让不同级别的人看到不同的内容。报警功能让您及时发现各种异常。图表管理让用户快速浏览到各种常用的图表。天气数据自动更新,更新全国各地的天气数据。碳排放计算让企业随时追踪碳排放的情况。14   15 3、先进半导体能源管理方案3.1.  EnergyPEC 能源管理系统平台  本方案将采用最新的 EnergyPECEnterprise 3.2 中文企业版作为用户的能源数据采集、统计及分析的平台,他将为用户提供强有力的能源管理和数据分析功能。协助先进的能源管理团

20、队进行高效的能源管理, 逐步建立企业的能源管理体系。EnergyPEC 能源管理系统提供系统升级服务,在服务期间,拓远将免费为用户提供 最新的 EnergyPEC 能源管理系统版本,让用户不断的体验到最新的功能及服务。系统服务器的环境配置要求操作系统 :英文版 windows 2003 Server + Service Pack 1 + All Security Patch 数据库 :历史数据库:MSSQL 2005 Standard Edition MS SQL Standard W/2 Processor , SQL 2005 英文版 + 中文 Page Code;权限要求 :安装运行软件

21、时必须对 SQL 和 Windows 有 “administrator” 级别权限,可 以从服务器上 PING 到所有能源管理系统设备服务器配置 :IBM 内存 4G 以上,硬盘 1T 左右,处理器四核 4G 以上客户端 :有 PDF 浏览器及 EXCEL 2003以上版本为了保障数据安全性,提供 UPS 电源作为电力后续保障。目前 2 数据采 2.1 智能电 为数据采集 电力数据采 电量变送器 以无法实现 数据是否正 的能耗数据 断和负数的 部分原因就 的仪表是能 身也失去能 前采用了山 采集仪表 电表集仪表,智能 采集的任务。 器没有数据显 现数据校对, 正确。此外, 据来看,经常 现象,

22、这些 就是因为电表 能源管理的重 能源管理和分 东力创的电 表能电表将承当前使用显示功能,即无法知从先进提常出现数据些现象很大表抗干扰性 重要基础, 分析的意义 电量变送器  16  性不强,通讯 如果使用者 义了。器,总计 89 块 讯稳定性不 者整日为了 块,当前的 不好,造成数 了数据的缺失 的电量变送 数据丢失。 失和准确性 送器的布置如 性能良 性担心, 如下图。 建议逐步采用抗 EnergyPEC 专业电表更换当前的电量变送器, EnergyPEC 系列专业 电表具有通讯稳定,抗干扰能力强等特点,对于能源管理的数据稳定性提供了坚实 的保障。 Energ

23、yPEC 专业电表具有以下特点:1. EnergyPEC系列智能电表和 EnergyPEC 能源管理系统配合将大大减少调试 的时间和费用。2. EnergyPEC 电表数据传输稳定,大幅度减少计量仪表出错的情况。3. 抗干扰能力强。4. 和 EnergyPEC 能源管理系统无缝对接,方便用户日后自行增加计量点数。5. 提供五年的质保为了逐渐完善电力部分的计量和管理, 计划第一阶段增加 247块高性能的智能电表, 具体数量和位置请见附件一。为了方便设施管理人员抄表,目前先进采用了一部分智能水表,水表通过线缆将数 据传到户外显示仪(WWX-6A 上, EnergyPEC 能源管理系统将把该系统并入

24、到能 源管理系统平台里面,如果就近有网线的接口,则从采用网线进行通讯,如果附近 没有网线接口,或者连接到网线接口布线比较困难可以考虑局部采用无线的通讯方 式进行数据采集。当前的用水布置图如下:17   18 布线和无线各有各的优势,布线施工难度相对比较大,成本也相对较高,但是布线 数据通讯稳定性相对较好,受其他因素的影响较小。无线通讯方式施工简单方便, 施工工期短, 数据稳定性相对布线要弱一些。 目前市场主要的无线通讯方式见下表。 考虑到现场的情况和实际应用的可靠性, 拓远技术团队推荐使用 ZIGBEE 的通讯方 式进行数据采集,先将每个车间的电表汇总成一个节点,

25、然后各个节点通过协调器  19 汇集到 IT 机房或者就近有区域网的区域,将数据转入企业的内部局域网。系统架构设计按照“总体规划、分布实施”的原则,系统搭建好后,方便用户根据 自己的需要逐步扩大管理的范围,而无需进行架构的调整。以下是系统架构图:系统架构图局域网接口  局域网接口  4、培训方案对于本项目的培训,技术团队将结合先进相关工作人员的实际情况为运行人员提供 EnergyPEC 能源管理系统培训课程。培训课程内容包括: EnergyPEC 能源管理系统培训课程的主要内容包括:1、 能源管理体系及如何建立高效的能源管理体系2、 Energ

26、yPEC能源管理系统介绍3、 能源管理系统报表生成4、 如何通过 EnergyPEC 能源管理系统发现节能空间5、 EnergyPEC操作技巧及能源中心建立6、 如何确定工厂的能耗基准线7、 如果进行能耗变量分析在以上课程完成后,技术团队还将定期回访,与运行管理人员交流,对系统运 行维护中的疑问进行讨论,促进双方技能的提升。20  5、后续服务在服务期间,拓远将为用户提供免费的后续技术支持服务,其中包括电话技术支持 和现场服务,同时还定期举办能源数据分析、能源解决方案等的培训或研讨会。5.1服务网络公司 24小时服务电话 4000-868-365、在线远程协助、 E-mai

27、l 协助主要处理:产品缺陷;产品操作问题;系统问题;产品功能答疑;客户需求和对产 品的改进建议。EnergyPEC 各地办事处售后技术服务人员可以提供到客户现场解决问题的服务。 接 到客户要求将在最短的时间内响应。主要处理:1咨询服务和远程联络解决不了的问题;2现场实施服务;3现场技术指导;4客户提出的现场服务;EnergyPEC 售后会采用电话和在线客户加访形式, 了解客户对产品问题或某一次服 务结果的满意度。这项工作是日常性质的。目的是要及时地、有针对性的找出工作 中存在的问题,以便更好的为客户服务。不定期的采用信函、现场走访、网上调查、电话等形式,了解客户对产品和服务的 综合满意程度以利

28、于改进产品与服务。21  详第 4条。定期组织用户之间、用户与系统服务工程师之间的技术交流活动。 5.2免费服务22  附件一:第一阶段电力部分增加计量点清单柜名 LV(A 第一级 数量 功率 KW钦先 222 CUBTR1 1AH1 总开关钦先 222 CUBTR1 1AH6 EATS2 1 钦先 222 CUBTR1 EAH3 CH-6钦先 222 CUBTR1 EAH4 HCH-1钦先 225 CUBTR2 2AH1 总开关 1 钦先 225 CUBTR2 2AH4钦先 225 CUBTR2 2AH6钦先 222 CUBTR3 3AT1 5000

29、总开关 1 钦先 222 CUBTR3 3F Chiller 配套母线钦先 225 CUBTR4 4AT1 5000 总开关 1 钦先 225 CUBTR4 3F 空压机母线钦先 225 CUBTR4 UPS9、 10钦先 225 CUBTR4 4AT7B 4ALH 配电柜钦先 225 CUBTR4 4AT7C 5AP1配电柜钦先 225 CUBTR4 4AT7D 地下室消防水泵 (常用 钦先 225 CUBTR4 4AT7E CUB 补水泵钦先 225 CUBTR4 4AT8B 250/250 1AP2动力配电柜钦先 225 CUBTR4 4AT8C 4APH 配电柜钦先 225 CUBTR

30、4 4AT8D 2ALH 配电柜钦先 222 CUBTR5 5AT1 4000 市电总 开关 1 钦先 222 CUBTR5 2F 纯水控制柜钦先 222 CUBTR5 HCH-1Chiller钦先 222 CUBTR5 5AT7C钦先 222 TR1 外延 3301钦先 222 TR1 外延 3302钦先 222 TR1 外延 3303钦先 222 TR1 外延 3304钦先 222 TR1 8TR0A/8TR2A钦先 222 TR1 7MF01钦先 222 TR1 7MF02钦先 222 TR1 外延 3305钦先 222 TR1 1K 250/200 外延 3307钦先 222 TR2

31、6" 光刻母排钦先 222 TR2 3306钦先 222 TR2 6" 630A 母排钦先 222 TR2 6" 扩散炉 E 排 (2FU17-20钦先 222 TR2 MUA6控制柜钦先 222 TR2 5" 回风区净化房 CHA 2401 钦先 222 TR2 6"4PE06钦先 222 TR2 5"Varlan3190(2504+大束流 NV-10-160(1405钦先 222 TR2 6" 扩散炉 D 排 2FU13-16 钦先 222 TR2 5" 扩散炉 FU3221-3224 钦先 222 TR2 6

32、" 800A 母排钦先 222 TR3 3A160/160MUA-5 再加热钦先 222 TR3 3D400/4001#冷冻机冷却柜钦先 222 TR3 3E400/400MUA-4预加热钦先 222 TR3 3F12501#冷冻机钦先 222 TR3 3G800MUA1 新风 1钦先 222 TR3 7#房水泵房 1#进线钦先 222 TR3 3R250/2506” 扩散 A 排 2FU01-04钦先 222 TR3A 3AT3a16006# 冷冻机钦先 222 TR3A 3AT3d6002A 380/208 315KVA变压 器钦先 222 TR3A 3AT4b4006# 冷冻机

33、动力柜钦先 222 TR3A 3AT4c600MUA -12机组钦先 222 TR3A 3AT4e2506" 新装酸排风钦先 222 TR3A 3AT4f2502A 380V 400A母线钦先 222 TR3A 3AT5b250临时用电钦先 222 TR3A 3AT5c6005#空压机钦先 222 TR3A 3AT5d2002A 消防互投电源 钦先 222 TR3A 3AT5e400MUA -7电加湿钦先 222 TR3A 3AT5f2506” 新增 FFU钦先 222 TR4 4A12502# 冷冻机钦先 222 TR4 4B800新风 2钦先 222 TR4 4C160

34、/1607#房动力配电箱钦先 222 TR4 4E250/200片盒 2402清洗钦先 222 TR4 4G250/2506" 扩散炉 B 排 (2FU05-08钦先 222 TR4新风 4 再加热 钦先 222 TR42# 冷冻机配电柜 钦先 222 TR41#货梯钦先 225 TR5 WATER E1钦先 225 TR5 5B160溅射 2503钦先 225 TR5 5D160P5000刻铝钦先 225 TR5 5E 5"水站控制柜钦先 225 TR5 5F4005F MCC-6 3#冷冻机控 制柜钦先 225 TR5 5M1605" 回风区动力箱 (磨片机

35、TDG86钦先 225 TR5PDB 在纯水站钦先 225 TR5 5S2506" 水站控制柜钦先 225 TR5 5T4004# ZR110空压机钦先 225 TR5 MUA-3钦先 225 TR5 5W12503#冷冻机钦先 225 TR6 6D400/4002#蒸汽炉 钦先 225 TR6 6E400/4001#蒸汽炉钦先 225 TR6 MUA-9钦先 225 TR6 6G12506" 新装工艺冷却水钦先 225 TR6 MUA-7钦先 225 TR64#冷冻机控制柜钦先 225 TR66" 扩展一期动力钦先 225 TR75” 扩散 3205-

36、3208(FU01 钦先 225 TR7 FS1-MP钦先 225 TR7PCW 扩展 2#泵钦先 225 TR76" 扩散炉 C 排 2FU09-12 钦先 225 TR75" 扩散 3201-3204(FU11 钦先 225 TR7酸排风 4-7钦先 225 TR7630A 母线排钦先 225 TR7 LV7-1 总开关 1 钦先 225 TR7F22-EDP-02/380V 钦先 225 TR7F21-EDP-03/380V 钦先 225 TR7 FU3234-3237钦先 225 TR7 5” 外延 3308变压器钦先 225 TR7 208V630KVA 变压器

37、2000/1600A钦先 225 TR7 LV7-5-3 250 Endura 7MF08 钦先 225 TR7 LV7-5-4 250 Endura 7MF07 钦先 225 TR7 6" 扩散炉 2FU37-40 钦先 225 TR7 扩散 FU3230-3233钦先 225 TR7 F11-EDP-02/380V 蒸金 区 1F钦先 225 TR7 水站 2#电加热钦先 225 TR7 6" 扩散炉 (H排 FU29-32钦先 225 TR7 208V400KVA 变压器蒸金 区 1F钦先 225 TR7 F11-EDP-03(蒸金区 1F CHA2405钦

38、先 225 TR7 6" 扩散炉 2FU33-36钦先 225 TR7 LV7-8-21605" 清洗间 FSI/6160设 备钦先 225 TR7 LV7-8-32501186蒸金间480V/160KVA变压器钦先 225 TR7 5" 回风区 208V 变压器 钦先 225 TR8 6" 光刻 160A 母排 钦先 225 TR8 5” 扩散 3213-3216(FU03 钦先 225 TR8 5” 扩散 3209-3212(FU04 钦先 225 TR8 5" 400A母线排钦先 225 TR8 FU3225-3228 溅射 3190 2

39、508钦先 225 TR8 5” 扩散 3217-3220 钦先 225 TR8 5" 400A 母线排钦先 225 TR8 总开关1钦先 225 TR8 LV8A-3-2250 6" 扩展一般排风钦先 225 TR8 LV8A-3-3250 6" 扩展 FFU钦先 225 TR8 LV8A-3-4250 5#冷冻机冷却水泵 +冷却塔 钦先 225 TR8 LV8A-3-6160 5#冷冻机一次泵 +二次泵 钦先 225 TR8 LV8A-3-7400/320 6" 扩展 PCW 1#、 2#水泵 钦先 225 TR8 LV8A-3-8160 MUA-10预加热 (蒸金区 钦先 225 TR8 LV8A-3-91