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文档简介

1、 电子与物质的相互作用及其应用 电子束与固体样品作用时产生的信号图是电子束与固体样品作用时产生的信号。它包括：背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、特征x射线、俄歇电子。  1.       背散射电子背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。弹性背散射电子：被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90°的那些入射电子，其能量没有损失(或基本上没有损失)。非弹性背散射电子：入射电子和样品核外电子撞击后产生的非弹性散射，不仅方向改变，能量也有不同程度的损失。如

2、果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形成非弹性背散射电子。弹性背散射电子和非弹性背散射电子的比较见表。  表弹性背散射电子和非弹性背散射电子的比较   弹性背散射电子非弹性背散射电子产生原因被原子核反弹回来受核外电子撞击产生是否改变方向改变改变是否损失能量基本不损失损失能量范围数千数万ev数十数千ev数量多少 2二次电子在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品的核外电子叫做二次电子。 3吸收电子入射电子进入样品后，经多次非弹性散射能量损失殆尽(假定样品有足够的厚度没有透射电子产生)，最后被样品吸收而成为吸收电子。 4透射电子

3、如果被分析的样品很薄，就会有一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子。  5特征x射线当样品原子的内层电子被入射电子激发或电离时，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的X射线释放出来。 6俄歇电子在入射电子激发样品的特征X射线过程中，如果在原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量并不以x射线的形式发射出去，而是用这部分能量把空位层内的另一个电子发射出去(或使空位层的外层电子发射出去)，这个被电离出来的电子称为俄歇电子。 表电子束与固体样品作用时产生的各种信号的比较     分辨率（nm）能量范围（ev）来源可否作成分分析应用背散射电子弹性背散射电子50200数千数万样品表层几百nm可以成像、成分分析非弹性背散射电子数十数千二次电子510<50ev,多数几个ev表层510nm不能成像吸收电子1001000    可以成像、成分分析透射电子      可以成像、成分分析特征X

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