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文档简介

1、多晶硅生产工艺流程（简介） 来自于网络收集多晶硅生产工艺流程，多晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、 四氯化硅的热氢化（有的采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还 有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理主要反应包括：Si+HCI-SiHCI3+H2 （三氯氢硅合 成）；SiCI4+H2-SiHCI3+HCI （热氢化）；SiHCI3+H2-SiCI4+HCI+Si（还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、 过程安全等方面也存在差异，各有

2、技术特点和技术秘密，总的来说， 目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的 85 %。但这种提炼技术的核心工艺 仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占 全球多晶硅总产量的90%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严 禁技术转让。短期内产业化技术垄断圭寸锁的局面不会改变。西门子改良法生产工艺如下:这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利 用技术，对环境不产生污染，具有明显的竞争优势。改良西门子工艺 法生产多晶硅所用设备主要有：氯化氢合成炉，三氯氢硅沸腾床加

3、压 合成炉，三氯氢硅水解凝胶处理系统，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系 统，硅芯炉，节电还原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、干燥、 包装系统装置，还原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器， 控制仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂(1 )石英砂在电弧炉中冶炼提纯到 98%并生成工业硅，其化学反应Si02+OSi+C02f(2 )为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCI)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCI3)。其化学反应 Si+HCISiHCI3+H2f反应温度为300度，该反应是放热的。同时形成气态混合物(H 2

4、, HC 1,Si HC 13,SiC14,Si)(3)第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，需要分解:过滤硅粉，冷凝Si HC 13,SiC14而气态H 2, HC返回到反应中或 排放到大气中。然后分解冷凝物 Si HC 13,SiC14净化三氯氢硅（多级精馏）。（4）净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。其化学反应 SiHCI3+HPSi+HCl。多晶硅的反应容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径 5-10毫 米，长度1.5-2米，数量80根），在1050-1100度在棒上生长多晶 硅，直径可达到150-200毫米。这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应，并生成多晶硅。剩余部 分同H2, HC 1,Si HC 13,SiC从反应容器中分离。这些混合物进

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