无油涡旋真空泵操作说明书

1、 无油涡旋真空泵SC 5DSC 15DSC 30D说明书GA01423产品号:133 000 133 100133 001 133 101 133 003133 002 133 102 133 004(汉语说明书仅供参考,如有疑义以英文说明书为准目录一般安全信息 (31 说明 (61.1 各部分名称 (61.2 订货信息 (81.3 技术数据 (92 安装 (152.1 检查产品 (152.2 工作环境 (162.3 泵的安装 (172.4 电气连接 (182.5 与真空系统连接 (253 操作 (263.1 起动 (273.2 抽气 (283.3 抽排蒸汽(空气冲洗操作 (283.4 停机

2、(314 维护 (324.1 维护时间表 (344.2 Oerlikon Leybold公司服务 (354.3 清理 (355 排除故障 (366 备件 (37关于符合EC(欧共体准则的声明 (38图参考件的第一位数,例如(1/2是图号;第二位数是它在此图中的项号。我们保留改变设计和规定数据的权利。插图不具有约束力。安全信息一般安全信息提出必须严格遵守的步骤,以防止对人员造成危险。警告 提出必须严格遵守的步骤,以防止损伤或破坏设备。注意Oerlikon Leybold公司的无油涡旋真空泵,在正确使用和按照此说明书操作的条件下,操作是安全有效的。用户的责任是要仔细阅读并严格遵守本章及整个说明书中

3、所述全部安全注意事项。本产品必须由经过培训的人员操作和维护。关于特殊要求和规章条例,请询问当地、州和国家机关。其它安全、操作和/或维护方面的问题,请问最靠近的Oerlikon Leybold公司办事处提出。如不遵循以下注意事项,可能造成严重的人身伤害。决不要抽送有毒、易爆、易燃和腐蚀性气体,以及化学物质、溶剂或粉末。流动物质、爆炸或着火可能造成人身伤害。要把泵安装在没有爆炸或易燃物质的地方,否则,可能造成爆炸或火灾。电气接线必须由合格的电工进行,否则可能产生电击事故。利用具有合适容量的接地故障电流断流器(GFCI防止短路。请专业人员进行修理,否则,可能造成故障、损坏或缩短设备使用寿命。经过培训

4、的用户可自己进行维修。务必安装主隔离开关。如果不这样作,可能造成损坏,着火或伤害。警告 在接线或检查之前,务必切断电源。如果不这样作,可能造成电击或受到旋转风扇伤害。切断电源 一定要接地。如果不接地,可能造成电击或着火。确保接地 安全信息切勿触摸 切勿将手指或异物放入泵的入口或冷却风扇的空隙中,否则,可能造成伤害。避免潮气 不要把泵安装在使之暴露于潮气之下的地方,例如雨水或蒸汽中。暴露在潮湿环境下,可能造成电击。不要更改设备 决不要更改设备。这种变更可能损坏设备或缩短它的使用寿命。带热保护器 一定要先检查接线图,然后再接通电源。不这样作,可能造成损坏。采用单相电动机的泵带有内部热保护器。这种电

5、动机在保护器跳闸后,会在无警告信号的情况下再起动。在进行维护或检查之前,务必切断电源。不如此,可能造成电击或被旋转部件造成人身伤害。把泵安装在合适的位置 安装在合适位置:安装在水平基础上(斜度小于5°。安装在没有铁、石子或木材产生的污垢或粉尘的地方。安装在无腐蚀性气体的地方。如果未能安装在正确的地方,可能造成损坏、性能降低或使用寿命缩短。在指定温度下使用 要在540的环境温度下使用(在操作过程中。超出此温度范围操作,可能造成损坏或缩短使用寿命。在卸下外壳时,不要进行操作。不要在卸去接线端子罩的情况下操作。当单相泵的电容器罩卸下时,不要进行操作。进行定期维护 要进行定期维护和检查。如果

6、不这样作,可能导致损坏或缩短使用寿命。要在泵冷却后进行维护 要在泵完全冷却之后进行维护。对尚处在热态的泵进行维护,可能被灼伤。要在关闭隔离阀后起动或停机 在起动和停机的时候,一定要将泵和真空系统(真空室之间的隔离阀关闭。如果此阀开着,则达到泵内部的碎屑可能被回抽到真空室内。1说明1.1 各部分名称说明 图3 连接和控制(SC 15D/30D说明 图4 连接与控制(SC 30D三相1.2 订货信息件号SC 5 D 单相电动机,电缆带Schuko插头133 000 SC 15 D 单相电动机,电缆带Schuko插头133 001 SC 30 D 单相电动机,电缆带Schuko插头133 002SC

7、 15 D 三相电动机133 003 SC 30 D 三相电动机133 004 SC 5 D 单相电动机,电缆带NEMA插头133 100SC 15 D 单相电动机,电缆带NEMA插头133 101 SC 30 D 单相电动机,电缆带NEMA插头133 102说明1.3 技术数据型号SC 5D SC 15 D SC 30 D50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz 排量(工作容积l min-190 108 250 300 500 600m3 h-1 5 6.48 15 18 30 36cfm 3.1 3.8 8.8 10.6 17.6 21.2 抽气速度1l mi

8、n-180 93 210 230 420 500m3 h-1 4.8 6.2 13.6 16.4 26.3 31.5cfm 2.8 3.6 8 9.6 15.4 18.5 极限压力Pa 5 1.6 1.0mbar 0.05 0.016 0.01Torr 0.037 0.012 0.0075密封度3mba r·l·s-11.0 10-61.0 10-41.0 10-4最大入口压力大气压力操作的环境温度范围5-40 5-40 5-40入口连接NW 25 25 40出口连接NW 16 16 25冷却系统空气冷却保护等级IP 20 20 20设备分类1类其它带计时器和空气冲洗口g/

9、day 5 25 25在25和60%湿度下处理的水蒸汽l min-19 10 10在打开空气冲洗口时4处理的水蒸汽电动机的相关数据SC 5 D类型单相全封闭4极感应电动机绝缘类型B/IP 44热保护器TP 212-自动复位型功耗W 150电压V 100 115 200 230额定电流50 Hz60 Hz AA2.62.1-1.61.1在50 Hz下的转速在60 Hz下的转速min-1min-114301730-17401430173014401740距离1米处的噪声级空气冲洗口打开时的噪声级dB (AdB (A5257入口方向垂直尺寸(L×W×Hmm 30

10、8×214×225重量kg 14订货信息133 100 133 000 电动机的相关数据SC 15 D类型单相全封闭4极感应电动机绝缘等级B/IP 44热保护器TP 212自动复位型三相全封闭4极感应电动机5绝缘等级B/IP 44功耗kW 0.4 0.4电压V 100 115 200 230 200 208 230 380 415 460额定电流50 Hz60 Hz AA4.84.8*1.9*1.9*1.80.9*1.0*1.0在50 Hz下的转速在60 Hz下的转速min-1min-114401710*17401430170014501

11、73014201660*1660*16901440*1440*1720距离1米处的噪声级2空气冲洗口打开时的噪声级dB (AdB (A5866入口方向垂直尺寸(L×W×Hmm 400×252×336 370×252×336 重量kg 25 23订货信息133 101 133 001 133 003电动机的相关数据SC 30 D类型单相全封闭4极感应电动机绝缘等级B/IP 44热保护器TP 212自动复位型三相全封闭4极感应电动机5绝缘等级B/IP 44功耗kW 0.6 0.6电压V 100 115 200 230 200 208 23

12、0 380 415 460额定电流50 Hz60 Hz AA8.510*3.94.02.72.8*2.6*2.51.57*1.63*1.47在50 Hz下的转速在60 Hz下的转速min-1min-114301660*1720143016901450173014601740*1740*17601470*1470*1770在距离1米处的噪声级2空气冲洗口打开时的噪声级dB (AdB (A62706068入口方向水平(横向装配尺寸(L×W×Hmm 443×328×372 (443×298×397 372×328

13、×372 (372×298×397 重量kg 44 38订货信息133 102 133 002 133 004* 不能在115V/50Hz,208V/50Hz,230V/50Hz,460V/50Hz,380V/60Hz或415V/60Hz下运转。注1:在空气冲洗口打开(ON和关闭(OFF时,抽气速度保持相同。注2:噪声级在极限压力下,在无回音室内测量。注3:在泵停止和空气冲洗口关闭时测量密封度。注4:在泵交货时,空气冲洗口是关闭(OFF的。 图7 SC 15 D的尺寸图 图8 SC 30 D的尺寸图2 安装2.1 检查产品注意检查包装箱是否正面朝上,然后打开它。检

14、查产品型号是否是你订购的型号。检查有无损坏。如有损坏,应向承运公司提出索赔。卸去入口盲板和出口盲板。如果带着盲板操作泵,可能使泵损坏。检查用于空气冲洗口的空气消声器是否在塑料袋中。 图9 检查产品2.2 工作环境注意潮气 有电击危险。要把泵安装在不使之暴露在潮湿条件(例如雨水或蒸汽下的区域。电源接头上的潮气,可能造成短路而导致人身伤害或电击。警告 有爆炸和着火危险。安装的区域不应暴露在易爆、易燃气体或其它有关的危险物中。否则,泵可能引发爆炸或火灾。温度在540的环境温度下操作。如果超出此环境温度范围操作,则可能造成着火、损坏或故障。通风确保适当通风。要把设备安装在通风良好的区域。因为涡旋泵是通

15、过空冷的,通风不良可能造成异常过热、着火或故障。所需的通风量:SC 5 D 大于2米3/分钟SC 15 D 大于4米3/分钟SC 30 D 大于8米3/分钟避免灰尘要把泵安装在适当的地方。安装区域应使之不暴露在灰尘或腐蚀性气体中。未能将泵安装在合适的地方,可能产生损坏或故障。安装泵的区域,应使之不暴露在铁、碎石、磨料或木材粉尘等碎屑中。碎屑可能堵塞空气消声器,降低空气冲洗的有效性。避免直接日照安装区域,应使泵不受日光直接照射。日光直接照射可能造成高温和故障。图10 安装在牢固的水平地面上2.3 泵的安装SC 30 D备有用于运输的起重吊环螺栓。应当使用具有足够承载能力的起吊设备。在泵被吊起移动

16、时,决不要站在悬吊起来的泵下方。警告 要把泵安装在牢固的水平地面(斜度小于5°上。安装不平稳,可能引发故障。如果地面不稳固,则应通过以下方法来固定泵:利用泵底脚上的4×ø 7mm孔(SC 5 D;利用泵底脚上的4×ø 11mm孔(SC 15 D;在泵底座上利用4×M10mm有头螺钉固定(SC 30 D。小于5°2.4 电气连接警告 电气接线必须由合格的电工进行。否则,可能发生电击或火灾。切断电源 在泵上接线之前,要断开输入总电源。不这样做,可能造成电击伤害。检查电压 在接线之前,应当检查电源和电压。三相电动机可用两种电压:2

17、00/380 V 50 Hz,208/460V 60Hz。单相电动机可用两种电压:100/200 V 50 Hz,115/208-230 V 60 Hz。检查电源,电压和接线。警告 务必安装可靠的主隔离开关(或断路器用于紧急停机。此外,可通过电动机上的开关,关断SC 5 D。如果不这样作,可能造成损坏或着火。警告 单相电动机具有内部热保护器。在保护器跳闸之后,电动机会在无警告信号的条件下再起动。CE要求导线的最小线路电流容量为10A。最大支路断电器容量为15A(工业额定值。警告 要通过安装建议的断路器(参见表1保护电动机。不如此,可能造成电击或着火。 图13 在接线后检查旋转方向将入口打开,运

18、转泵,检查空气从出口排出。如果你打算通过遥控来切换泵的通-断(ON-OFF,则应在把泵连接到真空系统上之前,检查泵的旋转方向。注意在检查旋转方向时,要避免异物掉进入口中。如果有异物掉入泵里,可能造成故障。 图14 避免异物落入泵内仅对于SC 15 D/30 D警告 一定要安装可靠的主隔离开关(或断路器,此开关应满足IEC标准关于紧急停机的要求。如果不这样作,可能造成损坏或着火。CE要求此三相电动机未提供保护装置。因此,必须提供外部保护装置。导线的最小线路电流容量为:SC 15 D三相,7ASC 30 D三相,15A最大支路断路器容量为:SC 15 D15 ASC 30 D15 A警告 要通过安

19、装建议的断路器保护电动机。不如此,可能因电击或着火造成伤害。使用截面积大于2mm2的电源线和接地线(对于SC 15 D,额定7A,三相 (对于SC 30 D,额定15A,三相。如果使用的导线低于额定值,则可能因电击或着火而造成伤害。利用加力设备,把适当的圆形压扁式端子牢固地安装到电线上,然后连接在电动机端子上。如果连接松动,则可能造成人身伤害或电火花。一定要在电动机端子盒的ø20mm孔上,通过电缆接头,把电线连接到接线端子上。如果连接松动,则可能造成人身伤害或电火花。一定要接地。把接地线连接到电动机端子盒中的接地端子上。如果不接地,可能造成人身伤害,如电击。可以通过改变汇流条的连接位

20、置,变为208230V连接或380-460V连接。设备交货时,采用的是208-230V连接。如果想要改变成380-460V连接,可卸下电源接线端子上的M4螺母,并按图15所示,变更汇流条的连接位置。通过端子盒底侧的电缆接头,连接电源线,分别将L1-L2-L3,连接到电动机的U1-V1-W1端子上。通过主隔离开关或断路器,启动紧急停机。借助断路器保护电动机。要使用额定值足够大的电源线和接地线。采用圆形接线端子。固定电缆接头。把接地线连接到接地端子上。警告 在每次变更电源电缆线之后,必须按照国家法规,进行新的电气安全试验。警告 三相电动机技术规范V Hz 建议的断路器容量,ASC 15 D SC

21、30 D200 50 1.8 3.1200 60 2.2 3.2208 60 2.2 3.0230 50 2.2 2.9380 60 1.1 1.8415 50 1.2 1.9460 60 1.2 1.7 图16 电气连接(SC 30D,200V图19 泵和真空系统的连接2.5 与真空系统连接SC 5 D(泵的入口(法兰为NW25,出口(法兰为NW16。SC 15 D泵的入口法兰为NW25,出口法兰为NW16。SC 30 D泵的入口法兰为NW40,出口法兰为NW25。把隔离阀安装在真空室和泵的入口之间,以防止在起动或停机的时候,碎屑从真空泵回抽到真空室内。我们建议使用自动阀作为隔离阀,它在电源

22、出故障时关闭,以防止碎屑从泵内侧回抽到真空室中。在隔离阀和泵的入口之间安装充气阀。在系统运行过程中打开此充气阀,可以清除泵内的污垢和水蒸汽。在真空室和真空泵之间,要使用清洁的连接管。我们建议在泵的入口和真空室之间采用软管,使得泵的振动不会传播给真空室。在把排气管连接到真空泵的出口上时,我们建议采用以下最大直管长度: SC 5 D型泵,NW16管30米SC 15 D型泵,NW16管5米SC 30 D型泵,NW25管15米确保在操作过程中排气管不堵塞。确保泵的出口压力不超过大气压。3 操作 图22 决不要更改设备决不要卸走或更改安全设备或绝缘部件。卸走或更改这类设备,可能造成电击,或被旋转体造成人

23、身伤害。不要在卸下风扇罩的情况下运转设备。当卸下接线端子罩时,不要进行操作。当卸下单相泵的电容器罩时,不要运转泵。警告 3.1 起动在起动泵之前,要卸去入口和出口上的盲板。带盲板操作,可能造成设备损坏。警告 如果抽吸湿空气或可冷凝的蒸汽,则应如下所述,在起动泵之前,打开空气冲洗口(参见3.3节。在泵初次起动或长时间闲置之后,泵要达到它的极限压力,需要6-8小时。关闭入口隔离阀,连续运转泵6-8小时,每小时打开充气阀2-3次,每次放空3-5秒钟。但若中间停过泵,潮气可能进入泵中,达到极限压力所需的时间会延长。在起动泵和停泵的时候,要关闭真空泵和真空室之间的隔离阀。否则,碎屑可能从泵回抽到真空泵中

24、。当再起动已经处在工作温度下的泵时,在起动泵之前,要打开充气阀放空3-5秒钟。否则,泵的温度可能变得不稳定,造成故障。按下述步骤开始起动泵:1. 关闭隔离阀,以防止碎屑从真空泵回抽到真空室内。(打开充气阀,如安装了此阀的话。2. 接通真空泵。3. 打开隔离阀(关闭充气阀,如果安装了此阀的话,给真空室抽气。3.2 抽气连续运转泵接近它的极限压力(例如,前级涡轮分子泵,可能使异物或潮气沉积在泵内而造成故障。操作时,打开空气冲洗口(见下面,或关闭隔离阀并打开充气阀放空3-5秒若干次,这样每天进行一次,以清除泵内异物。在指定的温度下操作在抽蒸汽时,入口气体温度必须低于50。当蒸汽温度高于50时,要在真

25、空室和泵之间的管道中安装冷凝器或冷阱,以便把入口蒸汽温度降低到50以下。抽吸温度高于50的蒸汽,可能产生故障。3.3 抽排蒸汽(空气冲洗操作注意在抽蒸汽时,要打开空气冲洗口。如果在关闭空气冲洗口的情况下抽蒸汽,则冷凝的潮气留在泵内,将造成故障。注意避免损坏空气冲洗口(尤其是空气消声器。当打开空气冲洗口时,噪声级和极限压力增大。空气冲洗的目的吸入泵内的潮气量,依真空室内的温度和压力而变。抽吸潮湿气体,可导致潮气冷凝在泵内。这种残留的潮气可能使泵的极限压力性能变差或出故障。当真空室内含有湿度大于60% RH的气体时,必须打开空气冲洗口运转泵。打开空气冲洗口运转泵去除潮气,使泵能够达到它的极限压力。

26、 图23 打开空气冲洗口运转泵注意在泵运转过程中,决不要改变空气冲洗状态(打开或关闭冲洗口。只有在停泵之后才能打开或关闭空气冲洗口。如果在泵运转时打开或关闭空气冲洗口,可能造成泵出故障和人身伤害。为了打开空气冲洗口,应先停泵,从空气冲洗口上卸下丝堵,然后把空气消声器拧入空气冲洗口。要关闭空气冲洗口时,应将泵停掉(见下面,然后从空气冲洗口上卸下空气消声器,并重新装上丝堵,用扳手将丝堵稍稍拧紧。当向空气冲洗口供给氮气或干燥空气时,要把压力调节到等于大气压,同时保持气体流量为:小于9升/分钟,对于SC 5 D;小于10升/分钟,对于SC 15 D和SC 30 D。流量超9升/分钟或10升/分钟的空气

27、冲洗,可能造成泵出故障。注意操作操作3.4 停机在抽排蒸汽之后,继续在打开空气冲洗口的情况下运转1小时以上。如果在抽排蒸汽后立即关闭空气冲洗口或停泵,则冷凝的潮气会留在泵内造成故障。在停机的时候,为了防止碎屑从真空泵回抽到真空室内,要关闭隔离阀(打开充气阀,如果安装了此阀的话。将真空泵关断。在泵停止时,大气从空气冲洗口回吸到泵内,泵内压力变成约等于大气压力。为了保持真空室中的真空状态和防止碎屑从真空泵回吸到真空室内,应当在停泵之前,关闭通往真空室的隔离阀。警告 维护4 维护注意忽视维护和检查,可能导致泵的性能不良和出故障。为了去除积存在真空泵内的碎屑,要在使泵的入口与大气相通(或打开充气阀放空

28、3-5秒若干次,如果安装了此阀的话的情况下运转泵3-5秒(每天一次。警告 在进行维护之前,要让泵冷却下来。如果停泵后立即进行维护,可能造成人身伤害,如灼伤。图25警告 小心自动再起动单相电动机的热保护装置是自动复位的。这种电动机在热保护器跳闸后,会在没有警告信号的情况下再起动。在维护或检查之前,务必切断电源。警告 关断电源在进行维护或检查之前,一定要关断电源。不这样作,可能因电击或旋转部件的撞击而造成人身伤害。注意如果环境温度过高,则要求更频繁的维护。维护的时间间隔是以环境温度5-40,年平均温度为25为基础定出的。如果环境温度较高,则应缩短维护的时间间隔。维护时间表是在假定泵暴露在清洁气体中

29、的情况下制定的。在抽排蒸汽时,由于蒸汽温度、排气量、排气的频繁程度和蒸汽中的物质会影响泵的工作,故必须缩短维护的时间间隔。维护维护4.1 维护时间表在到达维护的时间间隔时,请与Oerlikon Leybold公司联系安排要求的维护。决不要自行拆卸、重新装配或更改泵。对于因用户或非专业人员进行拆卸、装配或更改所造成的事故,我们概不负责。维护的时间间隔检查点每年或每8000小时一次两年或每16000小时一次抽蒸汽每400次时备注滚针轴承-FS(2润滑脂/滚针轴承-OS 润滑脂/滚珠轴承-FS(1滚针轴承(销-曲柄润滑脂/O形圈(销-曲柄,滚针轴承十字轴密封(销-曲柄,滚针轴承仅SC 30 D 轴封

30、(2-FS(2轴封(1-FS(1G密封-FS(2G密封-OS G密封-FS(1排气阀门组O形圈(出口法兰仅SC 15 D O形圈-FS(2O形圈(入口法兰端密封组(1端密封组(2销-曲柄组成套空气冲洗组件更换如果有毛病,则更换注1:务必使用指定的DIS专用润滑脂。注2:维护的时间间隔是间隔时间或运行小时数,无论何者先达到,取先达到者。维护4.2 Oerlikon Leybold公司服务如果你把泵寄送到Oerlikon Leybold公司修理,应说明该泵是否存在危害健康的物质,或者泵是否被污染。如果泵被污染,还要指出危害的性质。为此,你必须使用预先印好的表格,于请求时,我们可把此表寄给你。污染此

31、表格的副本,印在本说明书的末尾,题为“关于真空设备和部件污染的说明”。其它合适的表格,可从Oerlikon Leybold网站主页上获得:www.OerlikonL,在“支援和下载”标题下。请随泵附上此表,或将它与泵一起包装。要求此“污染说明”表,符合德国法律,是为了保护我们工作人员安全。如果没有“污染说明”,Oerlikon Leybold公司定会把泵退回寄送地址。表格必须按这样的方法包装泵:保证泵不会在装运过程中损坏,且不会从包装中释放出污染物。警告 4.3 清理泵可能受到工艺过程或环境影响而被污染。在这种情况下,必须按照有关规章清除泵的污染。Oerlikon Leybold公司按一定价格提供这种服务。详细情况可于请求时获得。污染污染的零部件可能损害健康和环境。在开始工作之前,要弄清楚是否有零部件被污染。在处理受污染的零部件时,要遵循有关规章,并采取必要的预防措施。警告 要按材料将清洁的零部件分类和整理它们。如果你把泵寄送到Oerlikon Leybold公司,要注意4.2节“Oerlikon Leybold公司服务”中提到的规定。排除故障5 排除故障如果泵出了故障,请参照下表,帮助解决问题。如果不能解决问题,请与Oer