Alicat质量流量控制器操作手册

1、气体质量流量控制器操作手册精品10/26/2005 Rcv.4 DOC-AL1MAN16C保护你的权益和延长你的产品使用寿命设备应用的注意率项请不要随意拆卸，替换部件，或者执行未经认可的修正。这样会使产品失去保修。本设备无 用户可维护部件，并且只能由厂家授权方维护或维修。不要在易爆，潮湿或腐蚀的环境下使用此产品。不要用于任何腐蚀性的气体，例如：氨，丙烯，HCI, SC?, H,S, NO?, NO,硅烷，氯， 等等不要在流动气体，当水蒸汽凝结成水，并堵塞产品内部的条件下使用此产品，这样会造成压 力传感器的破坏不要使用一个量程范围超出实际测量值很多的流量计，例如，不要把1000升的t程用在100

2、 升的应用上，这样会导致流量计达不到理想的精度。判断你的流量计量程，确定工况流量是流量计满量程的70%左右。设备安装的注意事项不要快速的切断/开启阀，那样会致使流量计处在瞬时的高压下一（尤其重要的是低流量 （50SCCM和更低）和小流量的流量线路），因为那样能造成差压传感器的损坏。在固定或移动配件时，不要让控制器的阀门处于受力状态一阀门是一个精密设备，任何阀 径的扭曲都会影响产品的控制性能。不要让流t控制器的外壳置于任何液体中，因为本产品不具有防水的电气外壳。保证电源具有正确的正负极，电压和电流确保在使用一个DC61或其他钝切电缆时，在通电之前请仔细检妾你的接线线路。如果可能的话，请确保在设备

3、的前端使用一个2050微米）过滤系统（设备操作的建议确保质量和体积流量计的标定介质与测量介质一致。确保考虑到了当改变测量气体或测混合气体时，会减小质量和体积流量计的精度，和出现无 法预测的结臬。请查看手册中关于校正附备气体粘度的指示。确保设备不要使用在高压，或高背压的环境中。通常使用在1075 PS1G (0.66-1 bar)的压 力下。不可超过此压力，否则测量数据不准确，并且还会给仪表造成损害。确保诙备经常复位，在复位的时候，应该确保此时绝对没有流量通过。(控制器将在设定点 为零的时候卤动复位)确保产品使用在150PSIG压力下。对于压力表和压力控制器，产品的压力应该在其满量程 之内。产品

4、特别指定，在低压使用时可能会减小耐压极限。确保产品在最佳性能下运行确保可以调节你的控制器P和D阀参数建置，以便适应您的系统要求，注意调节前的最初 诙置永远不要在没有压力的情况下，来设置控制器的非零的设定点。这样的活，控制器会给阀门 梃供一个满电压，来达到这个诙定点。这样会使阀门变得非常热而永久损坏确保垠据你的盅新校准表来使用产品如果您有问题请联系我们。我们乐意为您提供帮助!北京颇特仪器有限公司联系电话：01064424033、转28分机 技术部目录页数安装5管道诙备5装配5应用5电源和信号连接6输入信号7模拟输入信号7RS-232数字揄入信号7输出信号7RS-232数字输出信号7标准（P5Vd

5、c）电压输出信号8选项（MOVdc电压输出信号8选顶（420mA）电流输出信号8选项第2路模拟输出信号8气体质量流量控制器操作说明10主模式10诙定点10气体绝对压力10气体温度10体积流量11质量流量11闪烁报警信息11选择菜单模式11控制设定点模式12输入12回路13选择回路13气体选择模式14通信选择模式15部件1D15波特率15数据速率15厂家数据模式16目录页数气体体枳流i控制器操作说明17主模式17体积流量17诙定点17闪烁报错信息17选择菜单模式18控制箕定点模式18揄入18选择回路19气体选择模式20通信选择模式20厂家数据模式20RS232输出和输入20超级终端的使用和设置2

6、0切换流模式到轮循模式20通过RS232发送诙定点21通过RS232线缆调节比例和导数条款22选择一种气体23数据格式24RS232通讯协议基本结构25Alicat质量流量控制器的设定点输入方式切换26操作原理27常见问题及技术支持28标准气体数据表30气体质量流量控制器和体枳流量控制器性能指标32气体质量流量控制器和体积流量控制器尺寸团36选项：累计模式39选项：9V电池包40选项：本地设定点模块42选项：高温选项43附件:FlowVision软件44附件说明45感谢您购买ALICAT气体流量控制罪。请仔细查找和阅读该操作手册。这样会帮助您更好地 使用ALICAT产品。该手册介绍了以下Ali

7、cat的产品：16位气体质量流量控制器16位气体体积流量控制器安装管道设备所有ALICAT气体流量控制器，进口和出口都是内螺纹连接。由于流量计在流量主体中安装 了一个层流元件，因此流量计的前端或后端无须是直管道。迸口和出口尺寸相同，并且是同 轴对称。通常说来，端口大小和尺寸根据量程的不同而变化。配有1032端口的控制器，有“Q”型环面密封，无须其他的密封剂和胶带。注意不要在端 口上面使用密封剂或粘稠物，因为当这些化合物进入流量计时，会致使流量计永久性的损害。 当使用螺纹密封时，逋常采用特伏龙密封胶带，来防止螺纹周边的泄漏。当使用密封胶带时， 避免残留在第一个牙或第二个牙上，这样降低密封带碎片进

8、入气流的可能性(它会使流量计 损坏)。当更换配件时，一定要先清除蝶纹外部的任何密封带，否则它们可能会松落，并进 入气流中。此外，推荐在满量程为1 (S) LPM,或者低于1 (S) LPM的控制器前端管路中，安装一个 20微米过滤器，或者在清量程为1 (S) LPV以上的控制器的前姥管路，安装一个50微米的 过滤器。装配所有ALICAT气体流量控制器，都带有方便安装在平坦的面板上的装配孔。在手册的36到 38页说明了这些孔的尺寸大小。小阀门控制器对位置通常是不敏感的。大阀门控制器对于 位置有些敏感，因为由于阀门是由相当厚重的柱体装置而成的。推荐阀门柱体要竖直安装。 如果大阀门安装的位置与推荐位

9、置不同，这时给控制器一个零设定值，当弹管力关闭阀门的 时候，容易会产生泄漏。应用允许最大的在线操作压力为150PSIG (1000kPa)o注意：超过165PSIA在线压力时，会导致固态差压传感器永久性的损坏。如果在线压力高于125PSIG (862kPa),应当在流量控制器的前端管路中，安装一个压力调 节器，使压力降低到125PSIG (862kPa),或更低压力。我们控制器的许多类型都是根据广 泛咨询题客的特殊应用才设计出来的。根据应用的不同，两个控制器会有相同量程，但是型 号会有所不同。控制器从一个应用领域到另一个时，应该仔细测试它在新应用中的适应性。 注意体积流量计和控制器不适合应用在

10、高压或高背压的环境中。通常都应用在1015 PSIG(0.66Tbar)的压力条件下。不可超过此压力，否则测量数据不准确，而且还会给仅我造成损害电源和信号连接如图1所示，ALICAT控制器通过电源插座，或者的8针Mini-DIN连接器来供应电源。如 下面的注释，用一个适配器来使交流转换为直流电压和电流。电源插座配有正极为2.1mm 的凹漕电压插头。电缆和直流/交流适配罪可从制造厂家购买（首45页配件），或者由当地 的制造商制造。通过Mini-DIN连接器供应电源,如下面所示：小型阀门：如果你的控制器使用小阀门（大约是你的拇指大小），则需要一个12-18Vdc （标准的68欧姆阀门线图）或19-

11、28Vdc （选项为136欧姆阀门线圈）带有2.1 mm正极凹槽插头，同时须配有300mA电流的电源供应。注意：20mA输出模式时，电源要求至少 15Vdc0大型阀门:如果你的控制器使用一个大型阀门（大约你拿头的大小），需要一个24-30VDC 带有2.1 mm正极凹槽插头，配有750mA的供应电流的电源供应。针数功能Mini-PIN线缆颜色1420mA输出信号或无用黑色25.12Vdc或第二路模拟输出（4-20mA,5VdcJOVdc）或报警褐色3RS-232输入信号红色4模拟诙定点输入信号橙色5RS-232输出信号黄色60-5 Vdc (或(MOVdc)揄出信号绿色7电源正极输入（如上所述

12、）兰色8地线（公共端）紫色注解：上面的针检出说明，应用在所有的使用Mini-DIN连接器的流量计和控制翳上。 不同输出信号的实用性，决定于流量控制器的选项预定。表中带下划线的选项,为仪表标准单上注明的可选配置0 1通用8针Mini-DIN连接-针口注意：禁止连接电源到16针上以免造成永久的损坏！输入信号模拟输入信号如图1, 4针连按模拟输入信号标港信号0-5Vdc：标准模拟输入信号是05Vdc,除非订购其它输入方式。在4针上接0-5Vdc 的输入信号，8针上按其公共地线端。在2针上有一个5.12VDC的电压揄出，然后通过一个 50K欧姆的电位计，将转换的模拟输入信号再返回到4针，这样就构成一个

13、可调节的P5Vdc 输入信号源。如图所示：50 KOhm Potentiometer图2.后控制器设定的简单方法可选信号0-10Vdc：如果订购时选用此模式，则把（MOVdc输入信号接到4针上，公共地线 端接到8针上。可选信号420mA:如果订购时选用此模式，则把率20mA输入信号将接到4针上，公共地 线接到8针上。足麦：4-20mA的输出模式要求至少由15Vde的电源供应。RS-232数字输入信号如果你使用RS-232输入信号，按图2所示，必须把RS-232输出信号（5针），RS-232输入信 号（3针），和地线（8针）接到你的计算机串行口上。连接电缆可以使用厂家制造的，或采 用本地制造商制

14、造。在图3中，注意图表显示的连接“端口”界面图，连接器在流量计的上 部，DB-9型端口在计算机的背部。电缆终弊和图3成镜象显示（见20页的RS-232输出和 输入的详细说明） 输出信号*注意*回顾图1的针输出类型表格（pagc6）。通常容易误将2针（5.12Vdc输出参考电压） 作为标准的0-5 Vdc的模拟输出信号！实际上2针只是普通的恒定的512Vde电压，它反映 的是系统总电压，也可以作为输入信号的电源。允许用户通过一个50K欧姆电位计控制输 出，然后返回模拟诙定点针口，这样就构成一个0-5Vdc的设定电源。RS-232数字输出信号如果你使用RS-232输出信号，按图2所示，必须把RS-

15、232输出信号（5针），RS-232输入信 号（3针），和地线（8针）接到你的计算机串行口上。连接电缆可以使用厂家制造的，或根 据采用本地制造商制造。在图3中，注意图表显示的连接“端口”界面图，连接器在流量计的上部，DB-9型端口在计算机的背部。电缆终端和图3 成镜象显示（见20页的RS-232输出和输入的详细说明）标准（05Vdc）电压墙出信号所有的AUCAT流量控制器的6针上都具有0-5Vdc的（选项O-lOVdc）输出信号。这个通常 也是其他的订购命令的输出选项,电压对应量程范围：零流量时对应O.OlOVdc,满量程时刻 应5.0Vdc。输出电压在整个量程过程中呈线性的。接地端为信号的公

16、共端8针。选项（MOVdc电压输出信号如果你的流量计订购的是O-l（）Vdc输出信号，它将会连接在6针上。（根据随流量计一起的 校准数据表，确定您订货时所选择的输出信号。）此电压对应量程为：零流量时对应O.OlOVdc, 和满量程时对应W.OVdco输出电压在整个量程过程中是星线性的。此信号的地线公共端在 8针上。选项（420mA）电流输出信号如果你的流量计订购的是4-20mA电流输出信号，它将会连接在1针上。（根据随流量计一 起的校准数据表，确定您订货时所选择的输出信号）。电流信号为零流量时对应4mA,清量 程时对应20mA。输出电流在整个过程中都是线性的。信号的地线在公共端8针上。（电流

17、输出要求由15-3OVdc电源供应）。注意：这是电流源设备，不要把此设备连接到“电压回路”（kwppserud）中去。选项第2路模拟输出信号您可以在订购的同时在2针上指定第2路输出选项。（根据随流量计一起的标准数据表，来 确定您订货时所选择的输出信号）。此输出可能是05Vdc, 0-10Vdc,或420mA模拟输出信 号，并且输出信号可以表示任何测量参数。通过这个选项输出，体枳流量计能够输出35Vde （在6针上）和冬20mA （在2针上）的体积流量，或者质量流量计可以输出质量流量（0-5Vdc在6针上）和绝压（05Vdc在2针上）。注意：这是电流源设备。不要把此设备连接到“电源回路”（k“p

18、pswrud）中。;IOPrp(W 1nrmn-号 Unit Am UnitB号 Unite *工.i_ Yellow ,h ，江10pw上: Y2l!0N 11asI 1k 鬻1，pw!V IB c:对.1JIfIIaL T *115Female Serial Cabe FrontOo/针功能电缆厩色码1电源输入（+）红色2RS-232信号输出蓝色3RS-232输入信号白色4模拟输入信号绿色一 3地线（电源、通信和信号的公共端）黑色6信号输出（订购确定电压或电流）褐色一个工业选项连接器也同样采用:0 5 选项工业连接器0 4典型多传道（可设地址）连线结构注意：所有订购工业连接器的流量计和控制

19、器上，都可应用到上面的针输出。不同输出信号 的应用取决干订购时的功能选项。AUCAT气体质量流量控制器操作说明ALICAT质量流量控制器可以提供多种有用的测量参数，是一种简单、耐用的食备。AL1CAT 根据订购的型号，有多种显示“模式"（MQDE）。所有ALIC AT控制器都具有默认的主模 式，菜单选择模式，控制诙定模式，气体选择模式（气体选择模式不能用于用户特定的气体, 或者混合气体），传输选择模式和标准数据模式。另外，您的设备还可以指定累计模式（39 页），只要接通电源，设备就会出现默认的主模式。主模式（Main Mode）接通电源后，初始界面显示的是质量流量计的主模式。如图6所

20、示，在主模式上显示以下的参数。选择的气体类型显示在流量单位的下面。+22.73Set Pt. 0 .000PSIO +13.49+0.000MASS seen AirMa £ n+0.000Uci 1 urfie+0.000MODE图6 MS系列流量控制器主模式显示“MODE”功能键在显示屏的右下角，用于在模式之间的切换。诙定点（Sul Pt）诙定点显示在显示屏的右上角。在主界面中，设定点不可以调节的。如何改变设定点，请查 看“控制设定点模式工气体绝对压力（PSIA）ALICAT流量控制器采用一个绝压传感器，来测量被测气体的在线压力。此传感器可以用于 低真空，并且在低于或高于一个大气

21、压下都可以精确读数。此参数显示在左上角动态标将 “PS1A”的下面。通过按动动态标怨上面的按钮，可将参数移动到主显示上。绝压的工程 单位为磅/立方英寸（PSIA）o绝压的读数减去当地的大气压即为表压，其公式为： PSIG=PSIA-（当地的大气压强（默认情况下为14.7 PS1）流量控制器通常采用气体绝压来计算质量流量。如果转换为公制，iPSI=6.89kPa气体温度（TEM） :AL1CAT流量控制器，使用温度传感器来测量被测气体的在线温度。温度显示的工程单位是摄氏度（SC）o流量控制器利用气体温度参数来计算质量流量。此参数在显示屏的正中上方，且在标 示为“°C”的下面。按动标卷“

22、°C”上方的按键（中上方），则此参数可移动到主显示上。体积流量（Volume）:体枳流量是根据第26页所描述的流量测量操作原理确定的。此参数显 示在左下角标卷（Volume）的上面。通过按动标卷“Volume"（左下方）的按犍，可将体枳 流量显示在主显示上。为了精确的测量体枳流量，必须选择测试气体的种类（详见气体选择 模式），这是非常重要的。因为箕备是根据被测气体在测量温度下的粘度值来计算流量。在 流量计的计算中，如果测量气体不是所选择的，则其粘度假是不正确的，将会导致输出结果 也是不精确，且与两种气体的粘度值成正比关系。质量流量（Vass曰。）:质量流量指的是标准的温度和

23、压力状态（14.696 PSIA和25）下的 体积流量。参数显示在正中下方，并且显示在标示为“Mass”的正上方。通过按动标卷“Mass” 下方的按键（中下方），可将质t流量显示在主显示。控制器便用所测出温度和绝压，来计 算气体在一个大气压和温度为25的状态下的流量。这就需要一个冏定参考点，来与其他 流量对比。闪烁报错信息（Flashing Error Message）:我们的流量计和控制器，当在传感器的测量值超出 量程时，会显示报错信息（MOV=量超量程，«）=体积超t程，POV=压力超量程，TQV= 温度超量程）。当任何一项显示闪烁的时候，则显示的参数和质量流量测量都是不精确的。

24、 若减小所指出的闪烁参数值，可使设备恢复到正常的状态和精确度。选择菜单模式（Select Menu Mode）一旦按动按犍“MODE”,则会显示“Select Menu”（选择菜单），按下笈接近您的选项的按 键，进入相应的屏幕显示。再按下“MQDE”按键则返回主菜单模式。（注意：如果您的控 制罪预定了累计模式选项（见42页），按下“MODE”按犍则会显示“Totalizing Mode”累 计模式，第二次按下“MQDE”按犍才会显示Select Menu"选择菜单。）OODGas ControlSelectSELECTMENUComm. Nf9.RS-232 Data Menur ）

25、 ）（MopEJ团7选择菜单显示控制设定点模式（Control Setup Mode）按下显示屏上标卷“Control Setup”上面的按键，进入控制设定点模式（如图7所示），在此 模式下，设备允许用户设置大部分与PID控制有关的参数。流量控制器允许用户选择用何种方式把劭定点的值传达给控制器，本 地控制方式如何调节设定点，和P1D控制回路的比例、微分项控制回路调节。按“UP”和“DQWN”按键，可以长按来达到快速调节，也可以反复的按键耒达到微调。输入（Input）如上团8指示，流量控制器包装时，默认设置为模拟方式控制。按下右上角的动态标示为 “Input”上面的按键，亶到箭头指向塞个选项，来

26、改变如何给控制器传输设定点。除了所 选择的墙入方式之外，控制器将会忽视任何控制方式的诙定点，并且在断掉电源之后，它还 会记忆选择的输入方式。模拟输入（Analog）在Mini-DIN连接器（可查看此手册安装部分的描述）的4针上设置一个远程模拟设定点。 为了确定你订购时采用哪种模拟设定点信号，提供跟降着控制翳的检验数据表。除非你订购 别的类型，否则标准信号是0-5Vdco注意如果4针上没有信号连接，并且控制器设定是模 拟控制.则设定点济会产电漂移C警告I绝对不要在没有压力产生流量的情况下，设置控 制器为任何非本的数值的设定点。因为控制器会在阀门上使用满电量负荷，未达到这个设定 点。当这里没有流量

27、，阀门会因此交的非常热而损坏！串行输入（Serial）诙定一个远程数字RS-232设定点，并通过计算机或PLC串行端口进行设置（可查看此手册 安装和RS-232部分的描述）。警告！绝对不要在没有压力产生流量的情况下，设置控制器为 任何非零的数值的设定点。因为控制器会在阀门上使用满电量负荷，未达到这个设定点。当 这里没有流量，阀门会因此变的非常热而损坏！本地输入（Local）直接在控制器上设定一个设定点。要得到更多关于改变设定点的信息，可参考下面“Select” 的描述。如果本地改变设定点，需要将本地输入设置为优先级。警告1绝对不要在没有压力 产生流量的情况下，设置控制罂为任何非零的数值的设定点

28、。因为控制器会在阀门上使用满 电量负荷，来达到这个设定点。当这里没有流量，阀门会因此交的非常热而损坏！DOOSelect Loop InputA- A- O0 0 02 5ITp DAL>Msss Uolume Press>Rn31cigSerialLocalSet 0.00ControlUp Down Setupc j r ）（ Mop0图8 ALIC AT控制设定点模式Loop （回路）该流量控制器独一无二的特点是可选择多种闭环回路。当在系统电子部件的前端加一个控制 阀的时候，质量流量控制器则用来控制出口压力（仅仅是绝压），或者是体积流量来代替质 量流量。重复按动在控制器上接近

29、“Loop”的按雄来控制可变量。从质量流量转换为体积 流量时，不需要改变什么，如果要有，即改变P和D设置。当你将控制流量切换到控制压 力时，有时需要做相应的根本性的改动。如果你对此问题感到棘手，可及时联系厂家。选择回路（Select）为了避免意外的更改P1P回路的参数或者设定点，控制设置模式默认设置在一个无效的位 置上。为了改变设定点或P1D回路中的P和D参数，请按下左上角动态显示标示为“Select” 上面的按键，直到箭头指向你要改变的参数上。当你巳经选择好需要改变的参数时，清按动 态显示“UP”和“DOWN”下端对应的按键，来对数值的上下调节。重复间断的按键可进 行缓慢的微调，长按犍则进行

30、快速调节。P值对应的是P】D回路中比例项。在改变此参数之前，请必须写下初始值并保存，以便以后 可以恢复到厂家的默认设置。D值对应的是PID回路中微分项。在改变此参数之前，请必须写下初始值并保存，以便以 后可以恢复到厂家的默认谀置。AUTOon/AUTOoff指的是自动校准或者自动归零功能。一般控制器诙置在由动归零 （AUTOon）的模式上，除非由于你（AUTOoff）的特殊应用，要求它必须关闭。当诙备接 受一个0设定点值大于两秒的时候，设备会自动归零。一个零设定点会导致阀门关闭，和一 个“无流量”条件。设备可通过这个功能定时地消除由于漂移所造成的累计误差，因此具 有更高的精度。Set指的是设定

31、点。此参数仅在输入模式选择“Local”的情况下才可更改。可查看上面输入 模式选择的介绍。控制器的诙定点在零到满量程之间，可以使用UP和DQWN键来调节。 警占！绝对不要在没有压力产生流量的情况下，设置控制器为任何非零的数值的设定点。因 为控制器会在阀门上使用满电量负荷，未达到这个设定点。当这里没有流量，阀门会因此交 的非常热而损坏I气体选择模式P9DWN MainHydrogenHeiiumNitrogenNitrous OxideNeonOxygen DOWN Gasi r i)00气体选择模式可通过按动选择菜单上，标签标示为“Gas Select”的上面的按键进入，具体如 图9所示。在图

32、6中，选择的气体显示在默认的主显示上，并且在图9中，气体选择模式中 用箭头指出。按动标为的“UP”和“DORN”下面的按键，或“PgUP”和“PgDWN”上 面对应的按键，直到箭头指向想要气体的前端，来选择气体。当返回主模式时，则选择的气 体会显示出来。（注意：气体选择模式不可用在用户定制气体或混合气体。）09气体选择显示通信选择模式通信选择模式，通过按动选择菜单显示下的“Comm.RS-232”下面的按键进入。如图10所示：图10通信选择显示部件D （UnitID）有效识别字母为“A-Z”和”（见下面的注意事项）。系统允许用户给每个设备都配单转 的地址，这样多个部件就可以通过一个RS-232

33、接口连接到计算机上。通信选择模式允许在 看或者改变设备的地址。要改变设备的ID地址，按显示屏左上角的“Suluci”键，便指针指 向“UnitID”，然后，使用显示下方的“UP”和“DOWN”键，来改变所需要的设备的1D, 按“MQDE”键退出通信选择模式时，ID值的变化会生效。注意事项:当字符作为地址码ID时,按"MODE"键退出通信选择模式后,设备会进入 端模式。看流模式信息在心-232通信（见19页）。波特率波特率（比特每秒）决定了仪器和计算机之间数据传输的速率。两个设备必须发送/接受相 同的波特率，以使设着能够通过RS-232传揄。设备的默认波特率是19200波特，

34、有时是19.2K 波特。在通信选择模式下要改变波特率，请按显示屏左上角的“Suluct”健，直到指针指向 “Baud”，然后，按屏幕下方的“UP”和“DQWN”键，来选择四配你的计算机和PLC所 需要的波特率，选项有38400、19200、9600、或2400波特如果不重新启动电源波特率的更 改是无效的。数据速率改变数据速率，会影响仪器在流模式下储存数据的速率。慢速率（Slow）是快速率（Fast） 的1/2。波特率决定快速率的速度。如果通信速率降低了计算机处理器（普通的老的便携电 脑）的运行能力，则需要减小数据速率，或者减小流模式中收集的数提文件的大小。在通信 选择模式下改变数据速率，只要下

35、按显示屏左上角的"Select*犍，直到指针指向“DateRak”，然后，使用屏幕下方的“UP”和“DOWN”键, 来选择“Fast”或“Slow"。当改变“Fast”和“Slow”的值时数据速率会立即更改。厂家数据模式在选择菜单下，按下“MfgData”键进入“厂家数据”（图11）。“Mfgl”将显示厂家的名称 和电话号码。“Mfg2”显示流量计的重要信息，包括型号，序列号和生产日期。Model MC-10SLPM-D Serial No 27117 Date MF9.il/07/2005 Calibrated B“DLSoftware 6P67R23HainMfg 2M

36、ODE团11厂家数据显示RS232输入和输出超级终端的使用和设置：1 .打开Windows下的“附件”，选择“通讯”，选择“超级终端”2 .打开“超级终端”，取消“连接描述”窗口，在“新寤连接-超级终端”下选择“文 件”，再选择“属性”3 .在“连接时使用”条栏选择连接的端口，例如CQM1端口或COM2端口（必须为 COM端口或USB模拟COM端口）4 .然后选择“配置”，配置如下：每秒位数：19200,数据位：8,奇偶校脸：无，停 止位：1,数据流控制：无。5 .再选“属性”中选上部“设置”项，首先设置“终端仿真”为ANSI 其次，诙置右下角的ASCII码，设置如下：ASCII码发送，不选择

37、“换行符作为发送末尾”项，选择本地回显键入的字符”项,ASCII 码接收：选择“将换行符附加到传入行求尾”项,不选择“将传入数据转换为7位 的ASCII码”项，“将超过终端宽度的行自动换行”项打勾，最后选择确定，打开流 量控制器开关，自动记录数据6 .保存此设置，关闭超级终端并重新打开。在轮德模式中，具幕首先为空白，只剩下一个闪烁的指标。为了使屏幕中显示数据流，可按 动“Enter”几下以便清除无关的信息。然后犍入*©=,再回车，如果数据还是没有出现, 请检查所有的连接和端口部件。切换流模式到轮循模式：当流量计为流模式时,屏幕每秒大约显示1。60次的更新数据（取决于每行数据的数量），

38、 这样用户可以实时观察真实的数据。当使用一根RS232数据线，来控制多个质量流量计时， 此功能是比较合适和需要的。在轮镐模式下流量计正常测量流量,但当是轮循模式时，仅对其发送一次数据。每个流量计 都具有一个单独的地址。除了出厂时默认的地址为A之外，其他的有效地址是从B到Z, 总共有26个不同的流量计。一旦流量计进入流模式，并且在屏幕上显示信息的时候，此时可以：1 .键入*=A,然后回车（可以通过RS-232通讯选择菜单选搽或更改标识地址和数据采集 模式）来停止流模式的信息。注意当你键入并且不能读出你所键入信息的时侯，确保你的流 量计不要停止。同时，流量计不能执行“后退键Backspace”和“

39、删除键dektJ,所以必须一次准确键入。如果拼写错误，可以键 入回车后重新开始。如果键入的命令和流量计要求的不一样，则流量计会忽略错误命令。如 果键入的命令是正确的，数据流则会立刻停止，并进入轮循模式。2 .然后你可以键入A再回车。发送一个瞬时的A,并且会返回一个值。你可以多次键入A 然后回车。此外只要犍入*0=,然后回车，就可以重新迸入流模式。如果想继续进入 轮循模式可重复步鞭lo3 .给一个设备指定一个新的地址时，需要键入*=新地址，举例说明，*=B。需要注意 的是当采用一个RS232通讯线控制多个流量控制器的时候，如果设置一个新的地址，则 所有流量控制器的地址将会变成同一个地址。所以，质

40、量流量控制器的地址需要单独设 定和关闭。每个质量流量控制器需要给其一个单独的地址，用同一个线可以将地址还原 并且迸行单独的轮管操作。通过RS232发送设定点：通过RS232发送一个设定点，“Input”输入选项，必须诙定在“Serial”模式上。为了设 定控制器的设定点，或者改变现在的设定点，可键入一个在0到64000之间的数，且64000 对应满量程，然后回车。诙定点和流量会因此而变化。如果它们没有变化，请多次键入回车， 并且重复命令。线性的执计算公式为：数值=(想诙定的设定点X64000) /满量程举例说明，如杲你的质量流量控制器的量程为W0SLPM,你想要设定点为35SLPM,你应该 输

41、入下面的数值：22400= (35 SLPMX 64000)/100SLPM如果你的控制器在从流模式转到轮衡模式的时侯，设定点前必须加上对应的地址然后再输入 控制器。例如,如果你的控制器巳经输入地址D,则设定点命令应该输入为：D22400然后回车通过RS232数据线调节比例和导致条款：键入*=A然后回车，来停止流模式的信息。想要调节PID控制器的比例项“P”，请键入*R21然后回车。控制器会读出当前21寄存器的值，在。65535之间。在此最好记录下这个数值，以便你需 要恢复厂家设置。然后在21寄存器中键入你想要的新的数值。例如，如果你希望“P”值为 220,那么你可键入*W21=220,然后回

42、车便可。想要调节PID控制器的导数项“D”请键入*R22然后回车。控制器会读出当前22寄存器的使，且在065535之间。在此最好记录下你这个数值，以便 你需要恢复到厂家设置。然后在22寄存器中键入你所要输入的新数值。例如，如果你希望 “D”值为25,那么你可键入*W22=25然后回车。你可以通过以下方法改变劭定点，输入“A32000”（A是默认地址，如果你巳经通过RS 232 修改地址，在数值前的字母也会相应的变化），按回车，来给出一个1/2的满量程的次定点， 监视这个装置由此操作引起的变化，确保可以满足你的需要。记住“P”项为控制从一个设 定点到另一个诙定点的速度，“D”项为控制当它接近一个

43、新的设定点的时候减速的速度。选择一种气体：通过RS232输入可改变选择的气体。其命令如下：流模式：寐#回车轮循模式：地址8#回车（举例说明，A8#回车） 在这里，#号指的是选择气体的代码，具体如下团。注意，流量控制罪显示屏上的气体选 项也会相应的改变。#气体0空气Air1氢气ArgonAr2甲烷 MethaneCH43一氧化碳coCO4二氧化碳CO2co25乙烷EthaneC2H66氢气H2h27氮气HeliumHe8氨气N2N29一氧化二氮N2ON2O10笈气NeonNe11氧气。2O212丙烷 PropaneC3H813正丁烷 Butanen-C4H1014乙块 AcetyleneC2H2

44、15乙烯 EthyleneC2H416异丁烷 iso-Butane1-C2H10举例说明：选择丙烷：英12回车。数据格式：显示,舞上的数据流，显示了主模式屏上的流量参数。对于体枳流量控制器，这里有3列参数 时应控制器命令、诙定点、和选择气体A+4.1234.125AirA+4.1234.125AirA+4.1234.125AirA+4.1234.125AirA+4.1234.125AirALICAT体积流量控制器数据格式对于质量流量控制器，这里有6列数据对应流量计压力、温度、体枳流量、质量流量、设定 点、和被选择气体。第一列数据是指绝对"压力（通常为PSIA）,第二列数据为温度（通常

45、为 摄氏度），第三列数据为体枳流量，第四列数据为质量流量。例如,如果流量计定购单位是 SCFM,流量计显示读书为2.004SCFM,并且下面输出的最后两栏代表体枳流量和质量流量,且单位分别为CFM和SCFMoA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirALICAT

46、质量流量控制累数强格式RS232通讯协议基本结构波特率19200 bit/s, 8bit, 1位停止，无椽睑位格式：0EBH,地址，命令，长度（n）,数据1, 一数据h,冗余说明：0EBH为帧起始位长度小于输出端口数冗余=地址+命令+长度+数1+数h如果冗余=0EBH,为防止与帧起始位相同，则发送反码，即冗余=14H当接收正确时，1）在命令1, 2, 5, 6时，回送0EBH,地址，命令，01H, 0FAH,冗余，并执 行命令。2）在命令3, 4, 7时，回送相应信息。当接收不正确时，1） 地址正确，冗余不正确，回送。EBH,地址，命令，01H, 0F5H,冗余。2）地址不正确，不回送任何信息

47、。此外ASCII码中数与数之间（如，压力，温度，流量，气体类型）可能以“空格”为分隔号， 数组的分隔则可能是以（例如第一组压力温度流量等数据和第二压力温度流量等数据）。反映在ASCII码上则例如:14.6925.6 0.00（）0.000 AirASCH码则对应为&#49&#52&#46&#54&#57&#32*#50&#53&#46&#5 侬 #32&#48&#46&#4赧#48&#48&#32&#48&#46&#48&#48&#48&

48、;#32&#65&# 105&# 114其中&#代表ASCH码的号，32代表“空格”14.69 对应 &#49&#52&#46&#54&#5725.6 对应 &#50&#53&#46&#540. 000 对应 &#48&#46&#48&#48&#48Air 对应 &#65&#105&#114回车换行后应&#-23636类似于此，输入信号也为ASCII码（具体见ALICAT操作手册）例如：*=AV回车为轮徜方式*=A回车为

49、流方式部#回车为轮循方式下选择气体、Address(地址)$#回车 为流方式下选择气体A数值回车为设定控制点的值Alicat质量流量控制器的设定点输入方式切换通常使用方法如下：连接质t流量控制器，进入超级终端界面下：如果此时的质量流量计输入方式为RS-232 (SERIAL)键入*=A,然后回车，并确定巳经连接键入*R20,然后回车，会显示一个数据，请立刻记下这个数据！以便将来返回到厂家的初始 设置。这个数据加上16384,算出一个新的数据。例如，算出一个数据为24000然后键入*20=24000,再回车。此时控制器4号针口输入信号方式则变为模拟输入I同理，开始为模拟输入的方式时：键入*=A,

50、然后回车，确定巳经连接键入*R20,然后回车，得到一个数据，请立刻记下这个数据！以便将来返回厂家的初始设置。 这个数据减去16384,算出一个新的数据。例如，算出一个数据为36000然后键入*取20=36000再回车。此时控制罂4号针口输入信号方式则变为数字RS-232输入！操作原理Alicat所有的M系列和V系列的气体流量计(以及MC系列河VC系列的气体流量控制 器)都是以精确测量体枳流量为基础的。体积流量是由流量计内部独特的截流装置两修的差 压所决定的，Alicat的这种截流装置称为层流部件。被测气体在通过整个层流部件时被强制 分流为相互平行的流层；因此我们设备的运行方式都有层流部件所决定

51、。与其他流量测量设 备不同的是，层流流t计上压降和流量是成线性关系的。我们的16种流量计因为其原理都 有如下等式：Q=(P,-P2)兀广/8rlL此处：Q=体积流量，P产入口静压，P2=出口静压，r二层流元件半径，4二流体绝对黏度，L=层流元件长度根据n，r和L是恒量；方程1可以重新写为：Q=K (Ap/n)这里K由于几何因素而是常量，方程2表示体积流量Q,差压乙P和绝对粘度是一般形式气体粘度：为了得到精确的体枳流量，必须测量所选择的气体。这是很重要的，困为流量计 计算的流量是在根据测量温度下的气体粘度计算的。如果气体不是选择的，则流量计的计算 使用的粘度值是不正确的，并且输出的在两种不同的气

52、体粘度的正比结果是不准确的。 Alicat质量流量计和控制器的设计，相比其它类型的层流质量流量计的优点如下：1 .无直管道安装要求2 .内置提供气压和温度(密度)补偿3 .筒单，对安装位置的要求不敏感4 .实时数字功能提供一个宽大的选项范围而不需要附加的软件工具5 .此外，所有Alicat有CE认证并可提供NIST付费校险Alicat的标准状态(STP)默认为25幻和1大气压(14.696PS1A),除非定购其他特殊的。Alicat按照工业规，范来确定测量单位，例如SLPM (标准升/分钟)或SCFM (标准状态下立 方英寸/分钟)，来表示在一个标准压力和温度下通过的体枳流量。常见问题及技术支

53、持显示屏无显示或很微的检查电源和地线连接读数不随实际在线流量的变化而变化，几乎固定且接近零点或满量程差压传感器可能巳经损坏。避免安装时，使差压传感器所受压降超过10PS1D。逋常引起此间 题的原因，是流量计的前端管路快速启动电磁阀的开关，引起瞬时高压气体。由于过压引起 的损坏不在保修范围之内。质量流量、体积流量、压力或温度的显示闪烁并且显示"MOV” "VOV” "POV或“TOV” 流量计和控制器在传感器的测量值超出量程时，会显示报错信息（MQV=质量超量程，VQV= 体积超量程，POV=压力超量程，丁。¥=温度超量程）。当任何一项闪烁的时侯，则显示的

54、参 数和质量流量测量数值都是不精确的。减小指出报错的参数值，可使设备恢复到正常的操作 和精度。安装过后，发现无流量Alicat公司的体积质量流量控制器和质量流量控制器，通常情况下出厂时阀门是关闭的，需 要有一个设定点来开启它。检查你现在的设定点信号，并且是否有正确针口（PIN）连接， 同时，在设定点控制模式下是否在“Input”选项中，选择了正确的输入模式。同时检查地 线是否连接正确。流量延迟在设定点后确保足够的压力可以达到想要的流量。如果设定点输入信号线，或者设定点输出信号线相讨 较长，必须要提供更粗的电线（特别是地线），来取消长线所导致的电压衰减。如果D参数 数值相对'P参数数值较大，P1D控制的设置不当，也会引起此现象。流量计不可以和其他流量计使用一条线路一般体积流i计和控制器，不允许和另一个流量计，或控制器用在同一个管路中，因为它们 会受到压降的影响。体枳流量控制器不应跟质量流量控制器相比较。如果在两个流量计之间 没有泄漏，并且具有相同的标准温度和压力的情况下，质量流量计可以相互校正。在气体测 量时，两个两量计必须是校准的。AL1CAT质量流量计设置的标准温度是25SC,压力为14.696PSIAO注意：根据用户特定的标准条件可以定购特殊流量计。校准表中提供了每个流量计的标准条 件。控制器的流量显示相对于设定点的改变，显得缓慢或有时会来回摆动。