半导体制造厂紧急应变程序

1、ConfidentialSMIC紧急应变程序紧急应变程序Confidentialo 各紧急应变小组职责各紧急应变小组职责o 紧急应变救灾处理流程紧急应变救灾处理流程o 紧急应变疏散流程紧急应变疏散流程 紧急应变程序紧急应变程序Confidential紧急应变组织紧急应变组织 1. 1.若数种意外事故同时发生若数种意外事故同时发生, ,则依则依火灾火灾气体外泄气体外泄化学品泄漏化学品泄漏电力中断次序电力中断次序， 以较前者认定事故指挥官。以较前者认定事故指挥官。 2. 2.虚线框内表一、二级意外事故的最大应变组织；全图表示三、四级意外事故的最大应变组织。虚线框内表一、二级意外事故的最大应变组织；

2、全图表示三、四级意外事故的最大应变组织。 ( (健康中心健康中心) )急急 救救小小 组组( (保安人员保安人员) )(FAC)( (财务处财务处) )( (工安单位工安单位) )二级以下意外事件二级以下意外事件财务人员财务人员计划人员计划人员事故指挥官事故指挥官ERC救救 灾灾小小 组组厂厂 务务小小 组组疏疏 散散小小 组组管管 制制小小 组组公关人员公关人员总负责人总负责人(FAB区域区域:MFG部经理部经理)( (权责单位及支持权责单位及支持 单位工程人员单位工程人员) )( (工安环保单位及相关单位工安环保单位及相关单位) )( (指挥官直属主管指挥官直属主管) )( (事故责任区单

3、位主管事故责任区单位主管) )三、四级意外事件三、四级意外事件Confidential各组别职责各组别职责事故指挥官：事故指挥官：负责负责指挥灾害现场之应变处理指挥灾害现场之应变处理，包括了解，包括了解意外状况、拟定及执行适当的应变计划、意外状况、拟定及执行适当的应变计划、召集并指挥紧急应变小组、分派任务以控召集并指挥紧急应变小组、分派任务以控制意外事故。制意外事故。ERCERC：ERCERC的作用是三个中心：监控中心、应变的作用是三个中心：监控中心、应变中心、中心、 联络中心联络中心。负责全厂区。负责全厂区安全状况的安全状况的监控监控、 意外事件意外事件第一时间处理第一时间处理、紧急应变紧急

4、应变资料及器材资料及器材的保存与提供、的保存与提供、相关讯息相关讯息的收的收集与宣布等等。集与宣布等等。Confidential各组别职责各组别职责计划人员：计划人员： 在救灾过程中担任在救灾过程中担任咨询咨询者，提供涉及到其领域的建议。者，提供涉及到其领域的建议。由由工安人员及相关部门工安人员及相关部门担任。担任。救灾组的划分：救灾组的划分： 按救灾职责分为按救灾职责分为抢救组、搜寻组、支援组抢救组、搜寻组、支援组。各小组的体。各小组的体职责为：职责为： 抢救组抢救组：负责现场的：负责现场的救灾活动救灾活动，从灾情控制一直到现场，从灾情控制一直到现场 恢复；恢复； 搜寻组搜寻组：负责现场：负

5、责现场受难人员的搜寻及抢救受难人员的搜寻及抢救； 支援组支援组：协助上述二组：协助上述二组准备器材、防护具、管制暖热区准备器材、防护具、管制暖热区 人员进出、协助卸装、进行除污人员进出、协助卸装、进行除污等工作。等工作。厂务组：厂务组：由厂务设施人员担任，负责处理厂务设施参与救灾。由厂务设施人员担任，负责处理厂务设施参与救灾。Confidential各组别职责各组别职责总负责人：总负责人：三、四级意外事件三、四级意外事件时，由发生事故责任区域之高阶时，由发生事故责任区域之高阶 主管担任主管担任, ,于紧急应变时负责于紧急应变时负责综理全厂之紧急事故处综理全厂之紧急事故处 理重大决定，以及重要应

6、变行动之指示。理重大决定，以及重要应变行动之指示。公关人员：公关人员：三三/ /四级四级事件时由事件时由公关部人员公关部人员担任，负责对外消息担任，负责对外消息 的发布及谣言的澄清。的发布及谣言的澄清。财务人员：财务人员：三三/ /四级四级事件时由事件时由财务处人员财务处人员担任，负责财产的损担任，负责财产的损 失评估及与保险公司的理赔。失评估及与保险公司的理赔。急急 救救 组：组：三三/ /四级四级事件时由事件时由医护人员医护人员及制造部及制造部线上主管线上主管组成，组成， 负责对受伤人员的负责对受伤人员的急救并联络救护单位急救并联络救护单位。管管 制制 组：组：三三/ /四级四级事件时由事

7、件时由警卫人员警卫人员担任，负责担任，负责暖冷区暖冷区人员人员 进出的管制。进出的管制。Confidential火灾报警火灾报警器侦知器侦知目击者告知目击者告知 火火 警警 讯讯 号号是是是否为误动作？是否为误动作？或已扑灭火灾？或已扑灭火灾？人为激活人为激活ERCERC通知厂务中控室及消防值班，要求消通知厂务中控室及消防值班，要求消防工程师于事件发生部门防工程师于事件发生部门ERTERT人员负责检人员负责检查发生源，同时广播现场人员查找原因查发生源，同时广播现场人员查找原因E R CE R C 广广播解除播解除否否ERCERC通知厂务中控室及消防通知厂务中控室及消防值班，要求消防工程师以及值

8、班，要求消防工程师以及发生区域人员负责第一时间发生区域人员负责第一时间控制火势控制火势任何最先发现者，有义务任何最先发现者，有义务在第一时间内尽力控制火在第一时间内尽力控制火势，同时立即通知势，同时立即通知ERCERCX X各类意外事件处理程序各类意外事件处理程序- -火灾火灾ConfidentialERCERC广播该区所有人员第一时间控制火势，广播该区所有人员第一时间控制火势，并召集并召集ERTERT成员至指定地点等待事故指挥官成员至指定地点等待事故指挥官进一步指示。进一步指示。ERCERC通知相关课经理级以上主管至指定地点通知相关课经理级以上主管至指定地点担任事故指挥官担任事故指挥官成立应

9、变指挥中心成立应变指挥中心急救小组救灾小组救灾小组ERTERT厂务小组紧急应变中心疏散小组管制小组X X各类意外事件处理程序各类意外事件处理程序- -火灾火灾Confidential确认灾区人员确认灾区人员均已疏散均已疏散手提式灭手提式灭火器灭火火器灭火火势易于控制火势易于控制抢救组人员抢救组人员大火或爆炸大火或爆炸与消防队共同与消防队共同成立指挥中心成立指挥中心协助消防队灭火协助消防队灭火完成灭火完成灭火抢救财物与抢救财物与复工事宜复工事宜事故调查事故调查搜寻组人员搜寻组人员准备消防准备消防衣、衣、SCBASCBA、收集灭收集灭火器等火器等否否是是结束结束救灾小组救灾小组ERTERT灾区灾区

10、管制管制支援组人员支援组人员协助进入现场之救协助进入现场之救灾人员着防护装备灾人员着防护装备协助出灾害现场协助出灾害现场人员除污与卸装人员除污与卸装各类意外事件处理程序各类意外事件处理程序- -火灾火灾Confidential各类意外事件处理程序各类意外事件处理程序- -气体泄漏气体泄漏气体外泄警报气体外泄警报是否是否由气体侦测器侦知由人员发现如异味任何最先发现者，有义务在第一时间内通知ERC参照SMIC无尘室异味处理流程处理气体侦测器侦知状况解除可根据压力、现场读值、可根据压力、现场读值、trend charttrend chart等讯息等讯息成立紧急应变指挥中心“C”是Confidenti

11、al协助进入现场之救灾人员着防护装备急救小组救灾组紧急应变中心厂务组疏散组控制空调、Exhaust 及Scrubber等安全系统加大热区相邻暖区所有之建筑物空调系统之风压“C”持续监控环境状况救护伤患引导厂内人员至安全地点支援组人搜寻人员抢救人员确认已关闭上游供应源并pump down相关gas line确认灾区人员均已疏散准备个人防护具、SCBA及手提式气体侦测器灾区管制确认防火门及防气体扩散设施已关闭是否有MDA供使用是否使用另外同种气体侦测器（一个或2个）测试现场环境与Exhaust，确认还有残留浓度使用手提式侦测器测试现场环境及使用同种气体侦测器（一个或两个）测试Exhaust确认还存

12、有残留浓度“D D”“E E”各类意外事件处理程序各类意外事件处理程序- -气体泄漏气体泄漏Confidential“D”环境点读值是否为零否进行持续抽风换气是ERC解除警报事故调查，管路测漏，寻找出泄漏点进行系统恢复和维修（须管路测漏达标）采取根除同类事故再发生措施并实施“E”管制ERT人员之SCBA读值和进出的时间灾区人员管制协助出灾害现场人员除污与卸装各类意外事件处理程序各类意外事件处理程序- -气体泄漏气体泄漏ConfidentialScrubber exhaust各类意外事件处理程序各类意外事件处理程序- -气体泄漏现场处理程序气体泄漏现场处理程序确认关闭上游供应源确认关闭上游供应源

13、, , 如如：关闭：关闭GCGC，关闭关闭VMBVMB之之手动阀手动阀及气动阀。及气动阀。使用使用 Detector Detector 现场确认现场确认: : 至至少侦测机台周围的三处读值少侦测机台周围的三处读值管路测漏，同时立即隔离泄漏管路测漏，同时立即隔离泄漏源源: :1 1、EE pumpdown gas lineEE pumpdown gas line2 2、checkcheck环境点是否还是持续环境点是否还是持续有读值有读值3 3、加大热区相邻暖区所有之建、加大热区相邻暖区所有之建筑物空调系统之风压筑物空调系统之风压使用使用portable detectorportable dete

14、ctor确定是否有真实泄露。确定是否有真实泄露。Step-3Step-3Step-4Step-4Step-1Step-1Step-2Step-2EquipmentFacility Gas CabinetE q u i p m e n t pumpD3 (Environment detector):D3 (Environment detector):SiH4, PH3, CO,AsH3CLF3, DCS, Cl2,F2/Ar/NeD2 (Tool D2 (Tool detector)detector)D1 (VMB D1 (VMB detector)detector)Pneumatic valv

15、eManual valveGas PanelConfidential疏散组Confidential疏散的目的疏散的目的避免意外事故所产生之避免意外事故所产生之危害因子危害因子影响到事影响到事 故区内或周遭利害相关者故区内或周遭利害相关者之之安全与健康安全与健康Confidential疏散组成员疏散组成员疏散组组长：疏散组组长：发生紧急意外事件时，整个疏散活发生紧急意外事件时，整个疏散活 动的协调指挥者，动的协调指挥者，负责整个疏散活动的指挥协调，负责整个疏散活动的指挥协调，待各部门协调人将人员清点结果回报后，再整合待各部门协调人将人员清点结果回报后，再整合向指挥官回报人员清点结果。向指挥官回报

16、人员清点结果。疏散组协调人：疏散组协调人：各部门疏散活动的协调负责人，各部门疏散活动的协调负责人，负责该部门的疏散活动的协调，并进行人员清点，负责该部门的疏散活动的协调，并进行人员清点，将清点结果及时回报疏散组组长。将清点结果及时回报疏散组组长。 Confidential疏散组组长人选疏散组组长人选1.1.单个单位疏散时，由该单位最高主管担任疏散组单个单位疏散时，由该单位最高主管担任疏散组长，该单位下辖各部门主管担任疏散协调人。长，该单位下辖各部门主管担任疏散协调人。2.2.若只涉及若只涉及FAB1FAB1、FAB2FAB2、FAB3BFAB3B单个厂内多部门的人单个厂内多部门的人员疏散，则分

17、别由员疏散，则分别由FAB1FAB1、FAB2FAB2、FAB3BFAB3B制造部主管担制造部主管担任疏散组组长；各部门的最高主管或其代理人该部任疏散组组长；各部门的最高主管或其代理人该部门的疏散协调人。门的疏散协调人。3.3.若涉及到多厂或单位的疏散，若涉及到多厂或单位的疏散，20052005年年由由FAB2 MFG(FAB2 MFG(每年轮流担任）每年轮流担任）主管担任疏散组组长，其他厂或单主管担任疏散组组长，其他厂或单位的最高主管担任疏散协调人。位的最高主管担任疏散协调人。Confidential意外事故疏散时机意外事故疏散时机-火灾火灾火灾：火灾：1.1.小范围冒烟起火或单一机台起火（

18、小范围冒烟起火或单一机台起火（二级状况）：二级状况）：事故现场人员立即进行灭火，事故现场人员立即进行灭火，热区内事故区域以外非救灾人热区内事故区域以外非救灾人员依员依ERCERC广播疏散到相应广播疏散到相应建筑物内指定安全区域建筑物内指定安全区域位置位置。2.2.发生大面积火灾（发生大面积火灾（三级以上状况）：三级以上状况）：该该建筑物内人员应尽快从建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，至建筑物逃生门离开建筑物，至各部各部门指定集合点进行人员清点门指定集合点进行人员清点。 Confidential意外事故疏散时机意外事故疏散时机-气体警报气体警报气体警报：气体警报：1.1.气体警报达到第

19、二阶段（气体警报达到第二阶段（二级状况）：二级状况）：发生意外事件区域人员发生意外事件区域人员依依ERCERC广播广播立即疏散到立即疏散到相相应应建筑物指定安全区域建筑物指定安全区域位置位置。2.2.有害气体管路松脱或断掉，造成大量泄漏有害气体管路松脱或断掉，造成大量泄漏（三级以上状况）三级以上状况）：该该建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，至至各部门指定集合点进行人员清点各部门指定集合点进行人员清点。Confidential意外事故疏散时机意外事故疏散时机-化学品泄漏化学品泄漏化学品泄漏：化学品泄漏：1.1.非易燃性化学品大量泄漏或强烈异味

20、导致人员不非易燃性化学品大量泄漏或强烈异味导致人员不能忍受能忍受 （二级状况）二级状况） ：发生意外事件区域人员发生意外事件区域人员依依ERCERC广播广播立即疏散到立即疏散到相应相应建筑物指建筑物指定安全区域定安全区域位置位置。 2.2.易燃性化学品管路松脱或断掉易燃性化学品管路松脱或断掉 （三级以上状况）三级以上状况）：该该建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，至建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，至各部各部门指定集合点进行人员清点门指定集合点进行人员清点。Confidential意外事故疏散时机意外事故疏散时机-其它意外事件其它意外事件其它意外事件其它意外事件（二级状况）：二级状况）：1.1.达到震度为四级的地震达到震度为四级的地震2.2.停电超过停电超过3 3秒钟以上