单晶操作事故预防条例

1、单晶操作事故预防管理条例1:防止硅液泄漏具体措施及方法(1石英坩埚检查符合检查标准，应力检查合格，且了解该类产品受热承受时间。(2升降坩埚的时机要恰当,大块料的塌陷导致石英坩埚破损漏硅。(3装料要按要求装，防止造成砸锅，硅液渗漏。(4化料的埚位要得当，避免高温加热时底部破裂造成硅液渗漏。(5料的形状及内部结构(如料内有夹层，或空心处，加热使气体 膨胀所造成的跳 硅或渗硅现象 硅料是否经过酸洗超声处理导致料内 有杂质或其他成分所造成的渗 硅现象。2:防止石墨三瓣坩埚破裂的具体措施及方法。(1检查石墨坩埚表面是否氧化严重及有内部缺失或表面凹凸不平，避免其所造成的破裂。(2石墨坩埚内部垫石墨纸可以保

2、护坩埚，使使用寿命延长。(3石墨坩埚是否久置为使用造成内部缺矢，且未空烧直接使用造成破裂。(4石墨三瓣坩埚材料及其a角剩余厚度是否正确。3:防止二次加料所引起的事故的具体方法(1二次加料所引起的坩埚破裂(加料器下端的石墨伞坠落掉入硅 液或坩埚外沿 处,石墨伞直接浸入液面，加料器偏心加料及加 料器碰触炉内壁所引起的坩埚破裂(2不得强拉硬拽，致使钢丝绳断裂，造成加料器坠落(3二次加料器要擦拭干净，加料时料完全倒出，以免翻板阀密封圈上粘附碎末 或灰尘，致使密圭寸失效。4:加热器打火所引起事故的原因及处理注意事项(1石英护套损坏导致加热器打火，预防措施检查石英护套的完整。(2加热器螺栓要求固定紧，以免

3、加热器左右晃动引起打火。(3小心装料，锅边不宜有料伸出，以免在成装料不慎把料掉入炉 内或加热过程 中滚落入炉引起打火。(4底部碳毡要求清理干净(5硅液泄漏导致加热器电极打火。(6石墨护套过高引起加热器电极打火。(7检查炉底压片是否干净，松紧适宜,高度合适,以免膨胀后上 升致使加热器打 火。5:导致水管堵塞的原因及处理方法(1进出水压力不稳，或水质太差浑浊不干净，冷却水内有堵塞物没有及时排出, 导致水管循环受阻。6:炉内硅液结晶太厉害，钢丝绳断裂的原因及处理(1降温速率太快，或降温太低导致液面温度太低结晶。(2加热功率失常造成液面温度太低导致结晶。(3料的纯度太低杂质太多导致原料融沸点变化很大。

4、(4使用炉数太长没有及时更换钢丝绳或有毛刺，与重锤接口处松 落，炉体用行 时间太长超出钢丝绳使用极限，钢丝绳承载量超过规定极限导致断裂。(5钢丝用转未按要求在每炉开炉前检查是否正常运转导致断裂。7:导流筒掉落或偏离的原因及其处理。(1盖板有裂纹，导流筒支撑环破裂导致导流筒掉落；加强检查。(2大盖未装严实，盖板滑移，致使导流筒偏离。(3化料后期塌料时，料与导流筒接触打翻或移动导流筒，预防办法:根据炉内状 况，及时停掉埚转。8:主副泵油位的检查及注意事项。(1每次开主泵前检查油位(观察油是否洁净有无泡沫，不得低于 蛮油的三分之 二，副泵不低于五分之三其他同上9:主泵主阀及副泵副阀操作及注意事项。(

5、1以上各阀泵都应先开泵后开阀，开泵听声音是否有异常，无异常则可开阀，有 异常查找原因，(一般连续开两到三次，观察是否正常，不按以上操作会反气(空气逆 流。10:取光孔(测温孔对正。(1每次装热肠都要对好取光孔(测温孔用手电直到看不见碳毡 为准。11:升降坩埚及籽晶注意事项升降坩埚及籽晶必须时刻盯着所升降的东西，直到升降到指定的 位置。12:锅升电源开启(炉台运行时锅升电源在等晶的状态下才开启，其他情况均不 开锅升13:装料的注意事项及石英坩埚的检查。(1每次装料前都要检查石英坩埚确保正常合格方可使用，首先裁开包装袋取出 坩埚观察坩埚里表面无划伤和触摸痕迹,无杂质点,无破损、裂纹,底部圆点及壁上

6、 存在毛刺、上沿直径收拢的石英坩埚不能使用(2装入石英坩埚后用无尘纸由坩埚底部从下自上察试干净，随时用干净面察试 (换面察试，确保干净无污然后穿上装料服(包括口罩,头套，纯棉手套，一次性手套，白 大褂等底部先装掺杂剂，然后锅底碎料铺好以后再装大块料，摆放平整三分之二以上 不可由面接触坩埚内壁，需点接触防止挂边现象，不可挤压硬塞,以便融化膨胀使坩 埚破裂造成漏液，装料使要时刻更换一次性手套确保料的洁净。 14:检漏标准及其注 意事项(1检漏分为冷检和热检，冷检标准时10分钟前后压力不超过2帕热检则10分 钟不超过1帕(检漏必须在主阀主泵氩气关闭下 进行的,用来测试炉内是否有漏气 现象发生,冷检是加热以前，热检是加热完毕，停炉后开炉前所做的工作。 如果不通 过强行开炉长毛，及晶棒现彩色等。15:翻板、倒气易发事故及预防(1主付室压力不均匀，硬开翻板,致使气流倒流，硅液溅射。(2籽晶或晶体未升至