无尘室等级标准3页

1、半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘室内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。 所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金

2、属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。 依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2

3、µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。 为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级(含)以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩，下表为无尘室清洁度的定义： 尘粒数立方英 级数 0.1m 0.2m 0.3m 0.4m 0.5m 1 35 7.5 3 1 N/A 10 350 75 30 10 N/A 100 N/A 7

4、50 300 100 N/A 1000 N/A N/A N/A 1000 7 10000 N/A N/A N/A 10000 70 100000 N/A N/A N/A 100000 700 4.1 環境介紹及溫溼度條件: 4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範，外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um微粒為100K級。 4.1.2 無塵室溫度規定22±2，濕度規定55±5%。由溫濕度記錄儀記錄,各現場單位負責更換記錄紙和保存資料.其精確度由品保部定期校驗. 4.1.3 無塵室內部保持正壓,出風口

5、風速0.3-0.5m/s,防止外面空氣進入無塵室. 4.1.4 10K級無塵室0.5um的微粒不大於10000顆/ ft3,5um微粒不大於70顆/ ft 100K級無塵室0.5um的微粒不大於100000顆/ ft3,5um微粒不大於700顆/ ft 4.1 環境介紹及溫溼度條件: 4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範，外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um微粒為100K級。 4.1.2 無塵室溫度規定22±2，濕度規定55±5%。由溫濕度記錄儀記錄,各現場單位負責更換記錄紙和保存資料.其精

6、確度由品保部定期校驗. 4.1.3 無塵室內部保持正壓,出風口風速0.3-0.5m/s,防止外面空氣進入無塵室. 4.1.4 10K級無塵室0.5um的微粒不大於10000顆/ ft3,5um微粒不大於70顆/ ft 100K級無塵室0.5um的微粒不大於100000顆/ ft3,5um微粒不大於700顆/ ft 4.3 操作注意事項： 4.3.1 人員進入無塵室，一律穿著連身式無塵衣，並換無塵鞋。 4.3.2 無塵衣穿著一律在更衣室進行。 4.3.3 嚴禁操作人員戴戒指、手錶等手飾.。 4.3.4 在無塵室內嚴禁脫掉無塵衣，或捲起衣袖，脫帽。 4.3.6 無塵室作業人員接觸pcb時一律佩帶手套,每週一四更換,作業過程中如有損壞或污染立即更換。 4.4 進出物的管制及要求: 4.4.1 嚴禁攜帶食物、飲料及私入紙類進入無塵室。 4.4.2 基板的拿取，操作人員要戴無塵手套。 4.4.3 自冷藏室取出的乾膜置於