数控单多晶硅专用平面磨床技术规格书

1、技术规格书 无锡上机磨床有限公司技术规格书目录一、设备名称和型号二、设备概述三、工艺流程四、设备技术参数五、设备使用条件六、设备主要零部件及元器件品牌七、系统清单八、吸雾装置九、本机床平面布置图十、机床的验收十一、质量保证、培训及售后服务 一、设备名称：数控单/多晶硅专用平面磨床型号： WSK011A本机型在同行业累计已销售350多台，市场占有率为95%以上 （业绩用户附后）二 设备概述：本机床参照国外多晶硅及单晶硅平面磨床的结构基础上进行技术上优化设计、改进而成的新一代硅棒平面磨床，具有效率高，精度好。适用于太阳能行业，多晶硅，单晶硅长方体四平面的加工，对原来线剖方后的长方体的四边垂直度起到

2、修正功能。经金刚石毛刷表面抛光（镜面）磨削后，起到减少硅片内应力、边缘缺角、崩边功能。2-1、本机床为多工位组合形式：分为上料工件，机械手自动装夹对中气缸精密定位自动压紧毛坯检测（合格毛坯进行下一步加工，不合格毛坯退出加工区）粗磨平面工位精磨平面工位（可根据用户表面质量要求可更换金刚石毛刷型抛轮进行超精镜面抛光）退出工件进入检测区（检验磨削后的工件最终尺寸）自动松开工件。2-2、本机床共有四个端磨砂轮架。粗磨平面工位及精磨平面工位均采用双端面磨削方式。配置两只精磨砂轮和两只抛光砂轮。2-3、砂轮架进给系统采用德国西门子伺服电机控制，具有很高的定位精度。保证两对面平面间尺寸误差。2-4、工作台移

3、动采用伺服电机控制。本机床采用德国西门子控制系统。 2-5、机床配备进口机械手进行自动装夹，以使工件处于机床中心位置，保证两端面的磨削量均匀一致，材料损耗最少。进口机械手自动对中装置自动压紧装置2-6、机床配备自动压紧装置，其在工件完成自动对中功能后，自动压紧工件，从而提高了工作效率，压紧的质量也得到了保证。2-7、机床配备日本基恩士自动激光测量系统，可以准确的测量出工件在磨削前后的尺寸大小，并在显示屏上反馈，自动均匀或不等量分配左右平面磨削余量。单晶、多晶硅块长度可磨500mm日本基恩士激光位移传感器日本基恩士激光位移传感器左右侧护板可整体打开易于更换砂轮，减少人员钻至机床内部维修不方便。机

4、床两侧护板抛光磨头精磨磨头WSK011更换砂轮的状态，打开磨床左右护板的状态。砂轮具有内出水功能，使磨削工件表面精度高，优于传统冷却砂轮具有内出水功能，使磨削工件表面精度高，优于传统冷却金刚石精磨砂轮金刚毛刷抛光砂轮整体宽拖板刚性高左右拖板上均装有四根进口直线导轨精磨、抛光砂轮架上、下拖板上均装有四根进口淬火直线导轨，使其在磨削中刚性更强、表面光洁度高，减少左右让刀。一般用户的磨架上、下拖板上只装有二根直线导轨，其刚性差。采用德国西门子802DSL数控系统2-8、冷却液自动控制，实现大流量充分冷却磨削。三、工艺流程： 一次装夹，自动对中，激光测量，自动压紧，粗精磨二个平面自动加工完成。四、设备

5、技术参数:4-1、 精度等级：尺寸，误差 0.2mm粗糙度 0.1m生产节拍： 约20 分/块连续工作时间： 24小时4-2、主要规格参数： 4-2-1、适用磨削最大长度 500mm4-2-2、两砂轮架，磨头砂轮之间最大距离 200mm4-2-3、加工工件横截面尺寸 125×125156×156mm4-2-4、床身底面至工件的距离 距地面1072mm4-2-5、工作台移动速度 0.14000mm/min4-2-6、工作台最小脉冲当量 0.001mm4-2-7、精磨端磨砂轮架最大移动量 50mm4-2-8、精磨端磨砂轮架进给速度 0.14000m/min4-2-9、精磨端磨砂

6、轮架最小进给脉冲当量 0.0005mm4-2-10、端磨砂轮线速度 35m/s4-2-11、端磨砂轮电机功率 4×3KW4-2-12、金刚石砂轮尺寸 200×62×80 mm4-2-13、金刚石毛刷尺寸 200×62×80 mm4-2-14、数控轴 ：德国西门子数控 X轴：砂轮架进给 U轴：砂轮架进给Z轴：工作台进给4-2-15、进给速度（X轴、Z轴、U轴） 0.14000 mm/min4-2-16、进给行程 X轴：80 mm Z轴：2200 mm4-2-17、平面磨头回转精度 径向跳动0.004 mm 轴向窜动0.005 mm U轴：6N.m

7、 Z轴：11N.m4-3、CNC装置基本规格及功能：（SIEMENS802DSL系统） 4-3-1、绝对值编码器： 有4-3-2、最小设定单位： 0.001 mm4-3-3、显示器： 10.4LED显示器4-3-4、指示语言： 中文/英文4-3-5、功能： MDI运行方式各种参数设定显示功能程序保护功能具有坐标选择和伺服手轮进给率调整功能位置记忆功能自诊断错误报警显示功能异常经历显示反向间隙及螺距补偿零件坐标转换、坐标值公英制转换功能绝对/相对增量的控制功能五、设备使用条件：5-1、电源： 交流380V 50HZ5-2、相对湿度： 小于75%5-3、环境温度： 0355-4、振源： 周围无振源

8、 5-5、总功率： 约30KW5-6、最大耗水量： 10L/min5-7、最大耗气量： 60L/min5-8、机床重量： 约7000KG5-9、吸雾量（指机床在单位时间内需排除水雾的量） 1200m³/h5-10、水压： 0.250.3mpa5-11、气压： 0.6mpa5-12、基础要求： 水泥地坪300mm5-13、气源： 有（见示意图） 六、设备主要零部件及元器件品牌：厂家元件无锡上机磨床有限公司规 格 型 号生 产 厂 家气动三大件LFR-1/4-D-MINI德国费斯托（FESTO）消声器U-1/8德国费斯托（FESTO）电磁阀JMEBH-5/2-5.0-P-B德国费斯托（F

9、ESTO）单向节流阀GR-QS-8德国费斯托（FESTO）双作用气缸DSBA-F-40-700-CA德国费斯托（FESTO）压力表开关PEV-1/4-B德国费斯托（FESTO）传感器SME-8M-ZS-24V-K2.5-OE德国费斯托（FESTO）滚珠丝杠SFE3232-4DFC7-L2650P1日本THK或ABB、上银直线导轨润滑系统18101-23流遍公司或南京贝奇尔头架轴承7212ACP4;DBB/QBC洛研所电柜/康贝（威图）电气管拖链MS25×57R55+KA25×57日本（椿本）伺服电机SINAMICS S120德国西门子控制系统SINUMERIK 802D S

10、olution line德国西门子对中气缸PGN300/1进口机械手气缸(一套)ADVU-63-140-A-P-A德国费斯托（FESTO）压紧气缸(一套)DNC-80-40-PPV-A德国费斯托（FESTO）CCD激光位移传感器LK-G155/G3001PV日本Keyence厂家元件无锡上机磨床有限公司规 格 型 号生 产 厂 家数控系统SINUMERIK 802D Solution line 德国SIEMENS伺服驱动器SINAMICS S120 德国SIEMENS电源电抗器6SL3000-0CE21-0AA0 德国SIEMENS继电器模块FX-802D-16G/21 德国SIEMENS稳压

11、电源6EP1436-3BA00；DC24V，20A 德国SIEMENS伺服电机1FK7060-5AF71-1KG5；6Nm 德国SIEMENS伺服电机1FK7060-5AF71-1KG5；6Nm 德国SIEMENS伺服电机1FK7063-5AF71-1KH5；11Nm 德国SIEMENS接近开关Ni4-M12-AD4X德国TURCK接近开关Ni4-M12-RD4X德国TURCK激光位移传感器LK-G5001V日本KEYENCELK-G155日本KEYENCE电动机Y100L-2-B3；3kW德国SIEMENS电动机Y100L-2-B3；3kW德国SIEMENS电动机Y100L-2-B3；3kW

12、德国SIEMENS电动机Y100L-2-B3；3kW德国SIEMENS工作灯JC37-2 220V；18W上海新华警示灯A01大禾仪表JD701-L01R024大禾仪表JD701-L01G024大禾仪表JD701-L01Y024大禾仪表B01大禾仪表S-1大禾仪表电箱热交换器CDJ-25康迪电源插座AC30DELIXI变压器JBK3-400；380V/110V，200VA；正泰 220V，200VA正泰断路器CDM1-63LZ/3310；63ADELIXI分励脱扣电压：AC380V；圆形短柄DELIXI接触器CJX1-16；AC110V正泰接触器CJX1-12；AC110V正泰接触器CJX1-

13、9；AC110V正泰断路器M611；10A正泰断路器M611；4.0A正泰断路器M611；2.5A正泰断路器RT18-32；2A正泰二极管1N5404；400V、3A正泰断路器DZ47-63/1P；6A正泰断路器DZ47-63/2P；6A正泰正泰断路器DZ47-63/1P；1A正泰断路器DZ47-63/1P；3A正泰断路器DZ47-63/1P；10A正泰断路器DZ47-63/3P；25A正泰干扰吸收器3TX1-12B02无锡明达干扰吸收器3TX1-31A03无锡明达七、系统清单激光测量数据采集系统内容描述数量量 量备 注DP/DP 耦合通讯模块1德国SIEMENSS7-300 CPU313C模

14、块1德国SIEMENS模拟量输入模块1德国SIEMENS20针前连接器1德国SIEMENS导轨 L=480mm1德国SIEMENS微型存储卡1德国SIEMENS40针前连接器1德国SIEMENS总线连接器3德国SIEMENSSIEMENS 802D sl数控系统内容描述数量 量备 注802D SL 系统主机 1德国SIEMENS机床操作面板及模拟量信号模块 MCPA 1德国SIEMENS输入/输出模块,PP72/481德国SIEMENSPROFIBUS 总线连接器2德国SIEMENS功率模块 PM340 3 phase 5.9A 2.2KW2德国SIEMENS功率模块 PM340 3 phas

15、e 10.2A 4KW1德国SIEMENS电抗器 3 phase 5.9A 2.2KW2德国SIEMENS电抗器 3 phase 10.2A 4KW1德国SIEMENS防护连接支架 FSB 2.2-4KW3德国SIEMENS抱闸电阻模块 FSB (2.2-4 Kw)1德国SIEMENS报闸继电器1德国SIEMENS控制单元适配器 CUA31 3德国SIEMENS伺服电机，6Nm，3000转、光轴、绝对值编码器2德国SIEMENS伺服电机，11Nm，3000转、光轴、抱闸、绝对值编码器1德国SIEMENS驱动信号电缆 0.6米3德国SIEMENSProFIBUS 总线电缆 1米10德国SIEME

16、NSSINUMERIK 802D sl/SINAMICS 安装说明书1德国SIEMENSSINUMERIK 802D sl 功能描述1德国SIEMENSSINUMERIK 802D sl 操作编程手册1德国SIEMENSDiagnose instruction1德国SIEMENS垂直键盘板1德国SIEMENS信号电缆 系统至驱动器 (10M)1德国SIEMENS伺服电机动力电缆,7M2德国SIEMENS伺服电机动力电缆,7M,报闸1德国SIEMENS信号电缆 电机至驱动器,7M, 3德国SIEMENS开关电源,20A1德国SIEMENSI/O端子排转换器（含继电器）3德国SIEMENS手持单元1日本NEMICON八、吸雾装置：见平面布置图吸雾量（指机床在单位时间内需排除水雾的量）1200m³/h九、本机床平面布置图十、机床的验收1、机床验收验收标准：按本技术规格书验收。十一、质量保证、培训及售后服务1、质量保证 供方设备到达需方并终验收合格后一年内，由于供方设计、制造、安装等原因，造成设备故障及损坏，供方实行免费三包服务。2、培训供方对需方操作人员和维修人员进行免费培训（食宿费用自理）。3、售后服务在设备发运前1周内