电子洁净厂房的施工特点

1、电子洁净厂房的施工特点2009年10月16日,由工业和信息化部、江苏省人民政府指导，中国电子报社、无锡市经济贸易 委员会、电子工程标准定额站、无锡日报社承办的“2009中国（无锡）洁净工程高峰论坛暨电子工业洁净厂房设计规范GB 50472-2008解读”在无锡锡州花园酒店举办。图为中电二公司总工程师施红平在论坛上演讲。施红平：尊敬的各位领导、各位专家，我是无锡中电二公司的施红平，今天跟大家共同交流 一下关于电子洁净厂房的施工特点。这次主要针对半导体工厂一些特点跟大家交流一下，一共五 个部分来介绍，一个是厂房的结构特点，还有做这样的厂房关键的难点，第三部分跟大家介绍一 下洁净厂房事实供需流程，第

2、四个部分阐述一下洁净管制内容，第五个部分简单说一下我们在建 厂方面的特点和经验。洁净工程有它的特殊性，刚才陈总将洁净厂房规范的时候也提到了，对于这样的厂房它的特 点非常明显，第一个造价特点贵，随着半导体工程的发展，这样对于工厂的品质要求越来越高， TFT工厂也是一样，TFT工厂本身的玻璃基板的尺寸越来越大，从原来的一代线到现在的主流八代线，随着基本尺寸大造价越来越高。第二个特点是工期短，由于半导体工厂，TFT工厂的特点投资特点大，所有的建设方尽快短期进行生产，取得投资回报，作为施工单位来讲摆在面前的一个特点就是工期要求非常紧。第三 个特点是品质要求非常高，由于电子工厂它对厂房的依赖程度非常高，

3、建厂当中的事故直接导致 产品良品率的高低，第四个就是高复杂度，对于建厂来讲，专业技术问题是一个非常全面的，涵 盖了多专业、多行业的问题，同时还有管理的问题。第五个特点是高整合度，对于建厂来讲有这 样五个特点。这是典型的一个半导体工厂或者是TFT工厂的剖面图，我们可以看到他一般分成三个区，从页面上来讲是三个区，一个是下界层，还有一个核心区，所有的工程设备都在核心区里面，对于 这三个工作面来讲，对于施工的顺序和内容待会儿和大家简单的做一个介绍。我们看到这三个图 片，这上面反应有下技术夹层， 主要是管线的布置，工作层是防止设备的， 还有一个是静压层面。对于关键难点第一个是高空作业，这是非常明显的工作

4、特点，对于我们来讲安全、整个施工 的难度都相应非常大，我们采取分层作业的施工方式，我们先把地板层做起来，这样以地板层为 界面分为上下两个层面进行施工。第二个难题就是大面积精度控制，我们现在随着产业的发展，往大，往精细化发展，单位工 厂我们做得达到4万平方米，这对于精度是一个很大的挑战，如何进行精度的保证这对于我们实 施这样的项目来讲也是高难度的方面，我们的做法是配置专业的测量人员。在大面积的情况下把 精度控制在实施的要求范围之内。第三个难点就是全过程洁净施工控制，洁净厂房相对其他厂房一个最大的特点就是洁净的管 控，洁净的管控从建厂一开始到最后是全过程的控制，只有透过全过程的控制才能保证建岀来的

5、 厂房是合格的厂房。主要的实施供需给大家做一个介绍，对于建厂来讲，对于洁净工程施工来讲我们一般情况下 是根据洁净室的装修作为控制的主线来考虑，首先我们做得是工作面分析， 工作面我们要求封闭,整个厂房封闭以后才能作为洁净工程的开始，如果没有封闭的话，也要采用临时的封闭，保证我 们封闭施工作业。夹层地板安装完成这个工作面的完成标志着上下两个工作面可以同时展开施工 作业。上面的工作主要是完成风管的安装，支架的安装等等。下面的工作主要是工业管线的作业， 这样的做法在目前做大面积厂房主流的施工方式，这个施工方式证明也是非常成功的，可以有效 的解决安全问题，一个是高空掉落或者上下面的干扰。我们现在看到的这

6、个图就是分层作业面的 示意图，当我们活动地板完成以后，可以分成三个层面作业，可以保证工作有效的推进。第四个主要给大家介绍洁净管制方面的内容，刚才讲到过，对于洁净工程来说，相比其他的 洁净工程最大的区别就是要求全过程的洁净管控，洁净管控主要有五个方面控制，第一个方面就 是进入洁净室施工人员的管制，因为人是带入厂房里面主要的污染来源。第二是岀入洁净室管制 区服装的规定，第三个是进岀洁净室物料的管控，对于这个部分的控制和人的控制都是我们核心 需要控制的内容。第四个要介绍洁净室内施工管制，第五个部分就是人员和物料的动线，我们设 置一个人流的通道口，这个是唯一的，通过这个唯一的通道口进入洁净室。对于洁净

7、室管理我们公司对于高端的洁净厂房我们把它划分成五个阶段，第一个阶段是建筑 物施工完成，将建筑物进行封闭，如果施工单位没有封闭，我们会临时进行封闭，保证厂房是在 封闭的空间进行施工，这样的目的是减少灰尘带入洁净室。主要的施工内容是对所有产生灰尘的 作业都在这一阶段进行完成，包括地面的打磨，包括支架开孔的都会在第一阶段完成。第二部分是要对洁净室土建进行封闭，使混凝土地面不会再产生。第三个洁净室周围墙板施 工完成，最后一个是正压送风新风管安装完成，新风机安装完成。对于人员服装的管理要求，是要求所有进入洁净区的工作人员一定要进行培训，对于他们的 服装要求一般的工作服就可以，但是必须要干净，鞋子也是一样

8、。室内清扫管理上也是这样，作 业区作业以后必须要清扫，打扫完成以后才能离开，每周进行全面的清洁清扫。洁净管理的第二 阶段是洁净室的四周已经封闭完成，往里面进行正压送风，主要是控制厂房外面的灰尘进入到厂 房里面来。这个阶段主要的特点在服装上面要穿室内安全鞋。服装管理上面跟第一阶段一样要求 穿干净的工作服，清扫方面我们采用一般的吸尘器进行洗尘。第二阶段完成以后进入第三阶段，进入第三阶段以后相区别上面的阶段主要是要求在二层作 业的时候要穿专用的软底鞋。还有一个就是不允许电弧焊，只允许动用氩弧焊。第三阶段的服装 管理要求干净的工作服，二层要穿室内专用的软底鞋，作业结束后必须清洁干净，这个阶段的吸 尘器

9、是要求带高效过滤器的真空吸尘器。第三阶段完成以后会转入到第四阶段的施工作业，到第四阶段的施工作业来讲，相对于第三 阶段最大区别是我们要求进入洁净室工作人员要穿洁净服，这个阶段主要工作内容是完成高效过 滤器和FFU的安装和FFU的界限，下夹层动力设备的施工，电器设备的检查、各种报警的确认。 对于这个阶段来讲洁净服要求是非常严格的，对于清扫来讲使用不发尘的无尘布，专门清洁人员 用酒精或防静电清洁液擦洗，并采用高效过滤器进行清扫。最后一个阶段，这个阶段主要工作是对洁净室的环境进行测定，所有的施工工作在第四阶段 完成了，第五是对环境的测定，这个相对于第四阶段主要区别，对于洁净人员来讲不但是穿洁净 服和洁净鞋，另外还要戴洁净手套及口罩，清扫管理跟第四阶段一样。人员岀入口管制，刚才介绍过整个厂房里面设置一个人员的入口，我们会在这个管制口里面 设置这样一些区域，第一个区域是换鞋区。第二是更衣区。第三个区是登记区。进入这三个区以 后才能顺利进入洁净室进行施工。物料也是一样，我们也是要求物料进行清洁完以后进行检查， 检查以后进行登记最后才能进入洁净区。接下来简单把公司的情况做一个介绍，我们公司是一个专业做洁净厂房的公