上海先进的汽车电子芯片制造平台PPT课件

1、上海先进的汽车电子芯片上海先进的汽车电子芯片制造平台制造平台王庆宇 博士 总 裁2013年6月4日2大纲Co-develpmentn中国汽车销量情况中国汽车销量情况 n汽车电子应用汽车电子应用 n上海先进的汽车电子芯片制上海先进的汽车电子芯片制造平台介绍造平台介绍n上海先进的上海先进的MEMSMEMS工艺及其在工艺及其在汽车电子的应用汽车电子的应用汽车上的电子系统ASMC娱乐、舒适娱乐、舒适动力动力安全安全车身车身导航导航通讯通讯音频音频蓝牙蓝牙 多媒体多媒体 收音机收音机TPMSESPABS气囊气囊雷达雷达行车系统行车系统车灯车灯停车辅助停车辅助空调控制空调控制引擎控制引擎控制点火系统点火系

2、统转向机转向机定速巡航定速巡航速度传感器速度传感器总线总线4汽车电子开发55公司简介Overviewn上海先进半导体制造股份有限公司成上海先进半导体制造股份有限公司成立于立于19881988年（上海飞利浦半导体）年（上海飞利浦半导体）n是国内是国内最早最早从事汽车电子芯片、从事汽车电子芯片、 IGBTIGBT、 MEMSMEMS代工的半导体制造企业；代工的半导体制造企业；n是领先的专注于模拟器件、功率器件是领先的专注于模拟器件、功率器件及传感器及传感器(MEMS)(MEMS)工艺的半导体代工厂工艺的半导体代工厂n20062006年在香港联交所主板上市年在香港联交所主板上市( (股票代股票代码码

3、: 3355): 3355)；n在上海拥有在上海拥有5”, 6” ,8”5”, 6” ,8”及及MEMSMEMS的晶的晶圆生产线各一条。圆生产线各一条。6业务领域AutoElectronicsMEMSPower7ASMC技术发展路线图(* 汽车级工艺汽车级工艺)BipolarBiCMOSBCD/CDEmbedded NVMSpecialtyComplementary 18V Bipolar(4.0um)HVMOS 3.3V/15V(0.35um)OTP (0.35um)EEPROM(0.35um)(licensed)HVMOS 3.3V/140V (0.35um)Bipolar18V/40V/

4、55V(4.0um)HVMOS 1.8V/20V(0.18um)VHV BCD700V BCD(4.0um)700V BCD(1.2um)700V BCD(0.35um)EEPROM(0.8um)20101Q2Q3Q4Q1Q2Q3Q4QEmbeddedFlash(0.18um)Bipolar40V(2.0um)BCD5V/15V(0.35um)BiCMOS5V/20V(0.8um)BCD 1.8V/40V(0.18um)BiCMOS5V/40V(1.2um)2011Bipolar15V/18V/24V(2um)Bipolar60V(2.0um)BCD5V/40V(0.35um)BCD5V/60

5、V(0.35um)TVSIPDMCM3-axisGYROMix-signal5V CMOS 2P3M(0.5um)3.3V CMOS 2P3M(0.35um)*IGBT1200VIGBT33000VIGBT6500VIGBTTPMSMEMS稳固而多元化的客户体系IDMFabless客户高度定制客户高度定制化化注重高附加值注重高附加值强大强大IP结盟及结盟及保护保护IDMFabless客户高度定制客户高度定制化化注重高附加值注重高附加值强大强大IP结盟及结盟及保护保护n上海先进是国内上海先进是国内最早最早从事汽车电子芯片生产的企业；从事汽车电子芯片生产的企业；n有完善的汽车芯片制造质量保证体系和

6、汽车芯片制造专业资质；在有完善的汽车芯片制造质量保证体系和汽车芯片制造专业资质；在汽车电子芯片制造、管理方面积累了丰富经验；汽车电子芯片制造、管理方面积累了丰富经验；n汽车电子芯片产能汽车电子芯片产能: : 2011年达到10000片/月（6寸）芯片销量超过6万片； n20122012年实现销售额年实现销售额1.231.23人民币。人民币。n国家科技重大专项国家科技重大专项0202项目项目项目的牵项目的牵头单位头单位. . 上海先进的汽车电子平台10上海先进的汽车电子平台n工艺：掌握丰富的汽车电子芯片生产工艺和制造技术经验工艺：掌握丰富的汽车电子芯片生产工艺和制造技术经验n产品：产品： 199

7、51995年，开始生产用于汽车安全气囊的集成电路芯片；年，开始生产用于汽车安全气囊的集成电路芯片； 现有现有3939个个汽车芯片产品通过认证并正在量产汽车芯片产品通过认证并正在量产n应用：于引擎控制应用：于引擎控制/ /车载娱乐车载娱乐/ /驱动驱动/ /电压转换等领域电压转换等领域n客户：主要客户有大陆、德尔福、英飞凌、丰田、恩智浦客户：主要客户有大陆、德尔福、英飞凌、丰田、恩智浦 n质量质量 l第一个通过QS9000(北美三大汽车公司质量标准)论证的中国内地公司；l已通过ISO9002/ISO14001/BS7799/ISO/TS16949等质量认证体系l2009年11月，通过世界第一大汽

8、车零件供应商Continental(德国大陆公司)的VDA6.3体系审核，成为中国唯一汽车电子芯片“A”级供应商。11“先进” 芯片制造工艺nalog（模拟工艺、器件技术）（模拟工艺、器件技术）l在汽车电子产品中模拟IC市场份额最大；l主要应用于电源管理IC、放大器、比较器、AD/DA转换器、RF IC、显示驱动IC、各种开关电路、模拟接口IC等；l主要工艺技术：Bipolar，BiCMOS，HVCMOS，Mixed-signal，BCDower（功率工艺、器件技术）（功率工艺、器件技术）l主要应用于驱动IC；l主要工艺技术：高压MOSFET，IGBT，HVCMOS，TVS等；ensor（传感

9、器产品、工艺技术）（传感器产品、工艺技术）l普通家用轿车上大约安装几十到近百只传感器，豪华轿车上的传感器数量可多达二百余只 ；l主要应用于安全气囊，胎压监测，冷却液、进气/排气、燃油等温度传感器等；l主要工艺技术：表面微机械，体硅微机械 。12nASMC是国内唯一家通过是国内唯一家通过VDA6.3 A级标准的代工厂级标准的代工厂汽车电子VDA6.3质量控制，目标:0 PPM广泛而开放的产业合作联盟产业联盟: 完整的产业链架构和“产学研用”联盟汽车电子芯片设计l中科院上海微系统与信息技术研究所l北大微电子上海研究院l复旦微电子股份有限公司工艺研发及生产制造l上海先进半导体制造股份有限公司l中科院

10、上海微系统与信息技术研究所芯片应用/系统模块l航盛集团/上海航盛l同济大学汽车学院整车应用l上海汽车工业（集团）总公司广泛而开放的产业合作联盟n为实现上述的项目总体目标和产业化目标采用下面的技术方案路线为实现上述的项目总体目标和产业化目标采用下面的技术方案路线( (产业化联盟产业化联盟) )虚拟虚拟IDM芯片制造芯片制造ASMCGrace芯片设计芯片设计Qiming, SIMIT,FDU etc.封装测试封装测试HASE, PKU系统，模块，整车系统，模块，整车HASE, Visteon,SAIC, BYDIDM产品概念产品概念产品技术产品技术/ /知识产知识产权权产品设计产品设计芯片工艺与芯

11、片工艺与生产技术生产技术芯片制造芯片制造芯片封装芯片封装测试测试系统、模系统、模块块整车厂商整车厂商上海先进 MEMS代工n2009年，公司扩展代工范围，进入MEMS 制造领域，提供MEMS器件代工服务；nMEMS是一种具有独立的设计规则、工艺、制造设备及材料的专用器件；n已建立了一个新的MEMS Fab并继续战略性地提升MEMS产品的制造能力； MEMS 无处不在MEMS17全球汽车电子MEMS 销售预测上海先进的MEMS制造平台nMEMS Cleaning RoomlASMC MEMS 工艺包含前道和后道l前道工艺净化车间4300m2 l后道工艺净化车间300m2lMEMS Fab 目前产

12、能为3000片/月nMEMs工艺的制程能力工艺的制程能力l前道工艺能力：双面光刻，DRIE，湿法（TMAH），HT炉管 和 IC foundry 标准制程能力l后道工艺能力：双面光刻，DRIE，湿法，金属溅射，Bonding，GrindernMEMs 的产品的产品Gyroscope，MEMS oscillator，Accelerometer，Pressure sensor，Bio-MEMS，Micro-fluidic-controller，Optical MEMS19nASMC 使用使用MEMS工艺代工喷墨头已有超过工艺代工喷墨头已有超过10年的历史；年的历史；nASMC 目前已具备生产目前已

13、具备生产3D gyro, accelerometer, flow sensor, optical MEMS等器件的技术等器件的技术.n现有产能现有产能: 3000片片/月月(Calculate base on 20 masks production with 6 DRIE step and 2 bonding step)n与中科院上海微系统所签订战略合作协议，与中科院上海微系统所签订战略合作协议，MEMS是合作的重点是合作的重点上海先进的MEMS制造平台20上海先进MEMS目前主要应用2013 Global MEMS Status ASMCs current focus21车用MEMS 传感器

14、n汽车电子主要用到的汽车电子主要用到的 MEMS MEMS传感器：传感器：l Top 4 MEMS in Auto (99%): Pressure, Accelerometer, Gyro, FS . Growth rate in past 5 years:3-12%. Micro bolometer the 5th largest amount in Auto MEMS field，the importance would be shown by quick jump of bight vision system from 2016.l By sales volume: ESC，AIR BA

15、G，MAP, TPMS, ROLLING DETECT.22ASMC胎压监测（TPMS）基本结构 TPMS Schematic DrawingASMC研发的几款产品n车载音频功放芯片nTPMS演示系统（SIP封装）n低功耗8位MCU芯片nMEMS压力&加速度传感器nRF射频发射芯片ASMC汽车电子产品及技术方案n车载娱乐芯片：以前期发改委项目为契机，配合合作伙伴的产品开发车载娱乐芯片：以前期发改委项目为契机，配合合作伙伴的产品开发, , 形成完备的车载娱乐芯片工艺门类形成完备的车载娱乐芯片工艺门类, , 支持从电源管理、调谐接收、支持从电源管理、调谐接收、 CD/DVDCD/DVD读写

16、头驱动、音读写头驱动、音/ /视频解码和信号处理、功率放大、显示驱动和视频解码和信号处理、功率放大、显示驱动和数据通讯等各种车载娱乐芯片对制造工艺的需求；数据通讯等各种车载娱乐芯片对制造工艺的需求；n车用车用8 8位位MCU: MCU: 以经信委以经信委TPMSTPMS项目为契机，进入车载项目为契机，进入车载MCUMCU代工领域，重代工领域，重点放在高可靠性点放在高可靠性8 8位位MCUMCU工艺和相关设计支持工艺和相关设计支持IPIP库的完善上，除满足国内库的完善上，除满足国内车厂对车用低端车厂对车用低端8 8位位MCUMCU需要外，还将努力实现带需要外，还将努力实现带CAN/LIN controllerCAN/LIN controller的的高端高端MCUMCU和相关总线收发器的片上集成；和相关总线收发器的片上集成；n车用传感器车用传感器: ASMC: ASMC目前已建成国内第一条专用目前已建成国内第一条专用MEMS MEMS 工艺线工艺线, , 主要产品主要产品包括微陀螺、加速度传感器和压力传感器等；包括微陀螺、加速度传感器和压力传感器等；n新能源汽车电控芯片：形成新能源汽车电控芯片：形成15V/30V/40V/50V/