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123456dblCr00dbllCCCr）（00lllllCC10dblClCSr007 结结构构型型传传感感器器 物物性性型型传传感感器器 特特性性 结结构构参参数数决决定定 物物质质性性质质决决定定 性性能能 稳稳定定 将将迅迅速速提提高高 成成本本 较较高高 将将大大大大降降低低 应应用用 广广泛泛 发发展展方方向向之之一一 89dACr00dACr01011BIKUHHBIdRH12dtdWeL1314151617 基基本本物物理理量量 派派生生物物理理量量 线线位位移移 长长度度、厚厚度度、应应变变、振振动动、磨磨损损、不不平平度度 位位移移 角角位位移移 旋旋转转角角、偏偏振振角角、角角振振动动 线线速速度度 速速度度、振振动动、流流量量、动动量量 速速度度 角角速速度度 转转速速、角角振振动动 线线加加速速度度 振振动动、冲冲击击、质质量量 加加速速度度 角角加加速速度度 角角振振动动、扭扭矩矩、转转动动惯惯量量 力力 压压力力 重重量量、应应力力、力力矩矩 时时间间 频频率率 周周期期、计计数数、统统计计分分布布 温温度度 热热容容量量、气气体体速速度度、涡涡流流 光

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