HELIOT20101029

1、Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTDHELIOT介绍介绍-ULVAC(SHANGHAI) Co.LtdUltimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD流量単位流量単位由于气体的体积和压力相关，体积乘以绝对压力由于气体的体积和压力相关，体积乘以绝对压力有压力变化的场合，用最初和最后的压力平均有压力变化的场合，用最初和最后的压力平均单单位位时间时间内内变变化的气体体化的气体体积积帕斯卡.立方米/秒1 1 PaPa m3/s = 10 mbarm3/s = 10 mbar l/

2、s = 7.5 Torrl/s = 7.5 Torr l/sl/s其他其他单单位的位的换换算算泄率的泄率的检查值标检查值标准准（ （一般用一般用* *. .* *E-E-* * Pa Pa m3/secm3/sec 表示表示） ）泄漏率(Pa m3/sec)E-4E-6E-10E-12用途举例配管空調汽车部品真空配管部品 原子能宇宙适用于检漏模式适用于检漏模式 大漏模式大漏模式 中漏模式中漏模式 微漏模式微漏模式 超微漏模式超微漏模式漏率单位漏率单位Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD泄漏的计算泄漏的计算Pa m3/sec的意

3、义的意义1L1L的容器，真空度从的容器，真空度从1Pa1Pa上升到上升到0.20.2大气压需要多少时间？大气压需要多少时间？Q (Q (PaPa m m3 3/ /secsec) = ) = P P V V/ /T T T=PT=P V/Q (sec)V/Q (sec)真空真空0.20.2気圧気圧 P P： ：容器内压力的变化容器内压力的变化 V V： ：体积体积1L1L Q Q： ：漏率漏率 T T： ：時間時間 P P： ：0.20.2気圧気圧=0.2=0.2101300(101300(Pa)=20260(Pa)Pa)=20260(Pa) V V： ：1L=0.001m1L=0.001m3

4、 3 Q Q任意代入任意代入Q(Pam3/sec)時間1E-456hr1E-523日1E-6233日1E-76年5月1E-864年1E-9639年1E-106393年1E-1163927年(1(1大气压大气压= =101300101300PaPa） ）Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD由销售的第一代检漏仪由销售的第一代检漏仪HELIOT300HELIOT300演变而来的。演变而来的。300300系列采用了专利排气系统，是最初的全自动检漏仪，系列采用了专利排气系统，是最初的全自动检漏仪，并赢得了日本杰出设计大奖，改变了以往的检

5、漏仪的概念。并赢得了日本杰出设计大奖，改变了以往的检漏仪的概念。20032003年开始生产的年开始生产的700700系列也是以全自动，系列也是以全自动，简单操作作为主流的检漏仪，主要以重视人性化操作，高性能的检漏仪为目标而开发的。简单操作作为主流的检漏仪，主要以重视人性化操作，高性能的检漏仪为目标而开发的。新新710710系列，扩张了检漏仪的基本使用概念，针对不同客户的需要，提供了系列，扩张了检漏仪的基本使用概念，针对不同客户的需要，提供了PLUS ONEPLUS ONE方案。方案。/ 使用简易的追求使用简易的追求操作操作维护维护系统升级系统升级运用管理运用管理整合整合环境环境费用降低费用降低

6、信赖性信赖性710设计理念设计理念Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD型号型号A型型B型型检出气体检出气体He最小可检漏量最小可检漏量0.1E-8 Pa m3/sec0.1E-6 Pa m3/sec最大可检漏量最大可检漏量1.0E-3 Pa m3/sec1.0E-2 Pa m3/sec辅助泵辅助泵无无有有吸枪HELIOT710参数概要参数概要Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD选配选配 手柄控制器手柄控制器 各种校正漏孔各种校正漏孔 打印机打印机 PCPC通信

7、软件通信软件 油雾过滤器油雾过滤器 试验腔体试验腔体 Bombing tank 运送用专用箱运送用专用箱 L L型手动阀门型手动阀门 各种变换配管各种变换配管World wide World wide 组成组成 对应海外插头，规格对应海外插头，规格 不同电压不同电压2 2种型号（种型号（W1W1以外）以外）安全性安全性泵的组成泵的组成 油旋片泵油旋片泵 30L/min30L/min 油旋片泵油旋片泵 135L/min135L/min 小型干泵小型干泵 20L/min20L/min 干式涡旋泵干式涡旋泵 90L/90L/n n 干式涡旋泵干式涡旋泵 250L/min250L/min吸枪组成吸枪组

8、成 高感度型号（高感度型号（ASAS） 大流量型号大流量型号三种三种（，）（，）组成组成Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTDHELIOT 各系排气能力各系排气能力 D型优点：型优点：无油，适合无尘室，不需要换油。无油，适合无尘室，不需要换油。W型优点：型优点：B.G稳定，性价比高。稳定，性价比高。Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD排气系统排气系统曲线表示曲线表示仪表仪表数值数值 在进行检测过程中可以通过触摸图标部分来切换在进行检测过程中可以通过触摸图标部分来

9、切换测试画面测试画面Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 英文英文 日文日文 韩文韩文 德文德文 中文（简体中文（简体/ /繁体）繁体） 各种语言搭载语音提示各种语言搭载语音提示 可以从开机画面上选择切换可以从开机画面上选择切换多国语言多国语言Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 选用选用的理由的理由H2要求浓度小于要求浓度小于4%Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 内部圧力内部圧力1010

10、-3-3PaPa以下以下Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTDHeHe检漏仪（检漏仪（HLDHLD）分析管主要）分析管主要分析对进入检漏仪氦分析对进入检漏仪氦气量的气量的測定。測定。检测氦气数量的漏率标准检测氦气数量的漏率标准（校正（校正漏孔漏孔）根据漏孔换根据漏孔换算流量单位算流量单位。根据测试口压力的不同，通过测试阀的开关控制分根据测试口压力的不同，通过测试阀的开关控制分析管的氦气进入析管的氦气进入（三通道设计是三通道设计是ULVACULVAC的特别专利）的特别专利）ANA分析管FP前级泵TV2中漏检测阀CLV校正漏孔阀MP

11、主排气泵TP测试口TV3大漏检测阀VV测试口放气阀FV前级阀TV1微漏检测阀CL校正漏孔PiG皮拉尼真空計ULVACULVACHELIOT710HELIOT710系列排气系统图系列排气系统图检漏仪的排气系统由前级油泵和分子泵组成；检漏仪的排气系统由前级油泵和分子泵组成；油泵完成对分子泵、分析管和其他管道的粗抽粗抽；分子泵在进行精抽精抽。排气图排气图Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD涡轮分子泵涡轮分子泵牵引分子泵牵引分子泵复合分子泵复合分子泵吸気口吸気口排気口排気口回転翼固定翼回转翼固定翼(高速旋转）（高速旋转)回転翼固定翼回

12、转翼固定翼碰撞到腔壁飞溅出来的气体分子碰撞到叶片飞溅出来的气体分子吸気口（以下）测试口测试口TV3(排気口排気口)（以下）（以下）测试口测试口TV1（以下）以下）测试口测试口TV2（以下以下） ）马达马达马达H2H2进入分子泵后只有一小部分进入分析管。进入分子泵后只有一小部分进入分析管。接续可能接续可能圧力：圧力：到达分析管的到达分析管的H2H2比例比例：复合分子泵和逆扩散复合分子泵和逆扩散Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD振幅的计算：振幅的计算：例例)range変化変化的的場合：（）場合：（）0%100%50%20%10%

13、30%40%60%70%80%90%RANGE110100 100010000100000放大器输出放大器输出最小可检出量（感度）最小可检出量（感度） HLD最小可测量值最小可测量值（ （振幅为振幅为 range%时泄漏表示量时泄漏表示量） ） 最小检出量（感度）越小，越好。最小检出量（感度）越小，越好。DC-AMP输出输出Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD感度校正感度校正最小检知量（感度）最小检知量（感度） 校正漏孔值校正漏孔值振幅振幅CLV开开CLV关关上图中上图中、 、假设假设校正校正漏孔漏孔値：値：2.5E-8 Pa

14、 m3/sec, 振幅振幅：100R40% ,振幅振幅：100R1%最小最小检知量检知量 2.5E-8 (4000-100) 6.4E-12 Pa m3/secTV1,TV2,TV3的感度需要分别计算的感度需要分别计算。TV2TV3TV1CLVVVFVANAFPTP(Blank)PiGTMPCLTV2TV3TV1CLVVVFVANAFPTP(Blank)PiGTMPCL计算例计算例） ）感度校正感度校正Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTDHe检漏仪He 真空法真空法HeHeHe预抽真空泵Ultimate in Vacuum s

15、ince 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD实际漏率计算实际漏率计算 WorkWorkUltimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD保养项目零部件名称装载的机种 检查的部位 频率 型号 前前级级泵泵 油回转泵油回转泵701701W1W1 704W2704W2 7 702W102W1 702W702W2 2 换油换油 3 3个月个月/1/1次次 W1(W1(GHD-030GHD-030) ):R-:R-2 2W2(W2(GVD-136GVD-136) ):SMR-100:SMR-100 维修维修 1 1年年/1/1次次

16、 请咨询就近的服务点请咨询就近的服务点 干燥泵干燥泵D DISIS系列系列704704D2D2 704D3704D3 702D2702D2 702D702D3 3 维修维修 80008000小时小时/1/1次次或者或者1 1年年/1/1次次 请咨询就近的服务点请咨询就近的服务点 干燥泵干燥泵MV0.5MV0.5701D1701D1 702D1702D1 维修维修 80008000小时小时/1/1次次 请咨询就近的服务点请咨询就近的服务点 吸枪泵吸枪泵吸枪吸枪B B部件部件 维修维修 1 1年年/1/1次次 请咨询就近的服务点请咨询就近的服务点 复合分子泵复合分子泵全部机种全部机种 更换油毡更换

17、油毡 1 1年年/1/1次次 PM073PM073073-T073-T请咨询就请咨询就近的服务点近的服务点 更换轴承更换轴承 2 2年年/1/1次次 请咨询就近的服务点请咨询就近的服务点 皮拉尼测定子皮拉尼测定子: :全部机种全部机种 交换测定子交换测定子 断线时断线时 WP-01WP-01 离子源离子源: :全部机种全部机种 交换离子源交换离子源 断线、老化时断线、老化时 IS-BA1IS-BA1 吸枪探针的烧结过滤器吸枪探针的烧结过滤器: :吸枪吸枪A/BA/B部部件件 交换烧结过滤器交换烧结过滤器 老化、堵塞时老化、堵塞时 AN120-M3AN120-M3 微渗透器微渗透器: :吸枪吸枪

18、B B部件部件 交换微型分离器交换微型分离器 老化时老化时 MS-7MS-7 主体主体 阀座清洗，分析管阀座清洗，分析管GBB处理处理1 1年年/1/1次次 请咨询就近的服务点请咨询就近的服务点 Ultimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTDABUltimate in Vacuum since 1952ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD油回转泵的检查方法油回转泵的检查方法()检查部位 油量观察孔中是否装有的油。 油的清洁度油不得变色、不得混入杂物。 （）检查方法 在HELIOT的右侧面板下部，有观察孔。 通过观察孔，确认油量以及油的清洁度。()换油的方法 卸开后面板以及上盖板。 在放油口下放置受油容器，拔下放油口的塞子。在右侧面板上， 使用一字螺丝刀等拧开放油口（向左拧为打开）放油。这时，请 注意不要将油飞溅到地板上等。 完全放油之后，再拧紧放油口，盖上