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文档简介

1、CP 是把坏的 Die 挑出来,可以减少封装和测试的成本。可以更直接的知道 Wafer 的良率。FT 是把坏的 chip 挑出来;检验封装的良率。8 %现在对于一般的 wafer 工艺,很多公司多吧 CP 给省了;减少成本。CP对整片Wafer的每个Die来测试而FT则对封装好的Chip来测试。CP Pass 才会去封装。然后FT,确保封装后也Pass。WAT 是 Wafer Acceptance Test ,对专门的测试图形( test key )的测试,通过电参数来监 控各步工艺是否正常和稳定;CP 是 wafer level 的 chip probing ,是整个 wafer 工艺, 包

2、括 backgrinding 和 backmetal ( if needed ),对一些基本器件参数的测试,如 vt,Rdson,BVdss,Igss,Idss 等,一般测试机台 的电压和功率不会很高;FT 是 packaged chip level 的 Final Test ,主要是对于这个( CP passed ) IC 或 Device 芯 片应用方面的测试,有些甚至是待机测试;Pass FT 还不够,还需要作 process qual 和 product qualCP 测试对 Memory 来说还有一个非常重要的作用,那就是通过 MRA 计算出 chip level 的 Repair

3、address ,通过 Laser Repair 将 CP 测试中的 Repairable die 修补回来,这样保证了 yield 和 reliability 两方面的提升。CP 是对 wafer 进行测试 ,检查 fab 厂制造的工艺水平FT 是对 package 进行测试 ,检查封装厂制造的工艺水平对于测试项来说 ,有些测试项在 CP 时会进行测试 ,在 FT 时就不用再次进行测试了 ,节省了 FT 测试时间 ;但是有些测试项必须在 FT 时才进行测试 (不同的设计公司会有不同的要求)一般来说, CP 测试的项目比较多,比较全; FT 测的项目比较少,但都是关键项目,条件 严格。但也有很

4、多公司只做 FT 不做 CP( 如果 FT 和封装 yield 高的话, CP 就失去意义了 )。 在测试方面, CP 比较难的是探针卡的制作, 并行测试的干扰问题。 FT 相对来说简单一点。 还有一点, memory 测试的 CP 会更难,因为要做 redundancy analysis, 写程序很麻烦。CP 在整个制程中算是半成品测试,目的有 2 个,1 个是监控前道工艺良率,另 1 个是降低 后道成本(避免封装过多的坏芯片),其能够测试的项比 FT 要少些。最简单的一个例子, 碰到大电流测试项 CP 肯定是不测的 (探针容许的电流有限) ,这项只能在封装后的 FT 测。 不过许多项 CP

5、 测试后 FT 的时候就可以免掉不测了 (可以提高效率) ,所以有时会觉得 FT 的测试项比 CP 少很多。应该说 WAT的测试项目和 CP/FT是不同的。CP不是制造(FAB )测的L而CP的项目是从属于FT的(也就是说CP测的只会比FT少),项目是完全一样的;不同 的是卡的 SPEC 而已;因为封装都会导致参数漂移,所以 CP 测试 SPEC 收的要比 FT 更 紧以确保最终成品 FT 良率。还有相当多的 DH 把 wafer 做成几个系列通用的 die ,在 CP 时通过 trimming 来定向确定做成其系列中的某一款,这是解决相似电路节省光刻版的最佳 方案;所以除非你公司的 wafe

6、r 封装成 device 是唯一的,且 WAT 良率在 99% 左右,才会 盲封的。据我所知盲封的 DH 很少很少,风险实在太大,不容易受控。WAT:wafer level 的管芯或结构测试CP:wafer level 的电路测试含功能 .FT:device level 的电路测试含功能 .CP = chip probing.FT= FInal Test. , Y. A6 sCP 一般是在测试晶圆,封装之前 , 封装后都要 FT 的。不过 bump wafer 是在装上锡球, probing 后就没有 FT. ' s4 E$ r 1FT 是在封装之后,也叫 “终测 ”。意思是说测试完这

7、道就直接卖去做 application.CP 用 prober, probe card 。 FT 是 handler, socket.'CP比较常见的是 room temperature = 25 度,FT 可能一般就是 75或90度CP 没有 QA buy-off , FT 有CP 两方面1. 监控工艺 .所以呢,觉得 probe 实际属于 FAB 范畴2. 控制成本。financial g ate。我们知道FT封装和测试成本是芯片成本中比较大的一部分,所以把次品在 probe 中 reject 掉或者修复,最有利于控制成本FT:终测通常是测试项最多的测试了,有些客户还要求 3 温测

8、试,成本也最大。 至于测试项呢,1. 如果测试时间很长, CP 和 FT 又都可以测,像 trim 项,加在 probe 能显著降低时间成本,当然也看客户要求。2. 关于大电流测试呢, FT 多些, 但是我在 probe 也测过十几安培的功率 mosfet, 一个 PAD 上十多个 needle 。3. 有些 PAD 会封装到 DEVICE 内部,在 FT 是看不到的,所以有些测试项只能在 CP 直 接测,像功率管的 GATE 端漏电流测试 Igss 1 E+ TCP 测试主要是挑出坏 die ,修补 die ,然后保证 die 在基本的 spec 内, function well. 1 X* tFT 测试主要是 package 完后,保证 die 在严格的 spec 内能够 fu

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