电容式传感器原理及其应用

1、传感器原理及其应用传感器原理及其应用1 1 电容式传感器的工作原理及分类电容式传感器的工作原理及分类2 2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路3 3 电容式传感器的特点及设计改善措施电容式传感器的特点及设计改善措施4 4 电容式传感器的应用电容式传感器的应用 电容式传感器的工作原理及分类电容式传感器的工作原理及分类1.1 1.1 工作原理及结构形式工作原理及结构形式电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电容量的变化，再经过测量电路将电容量传感元件电容量的变化，再经过测量电路将电容量的变化转换成电信号输出。的变化转换成电信号输出

2、。电容式传感器实际上是一个可变参数的电容器。电容式传感器实际上是一个可变参数的电容器。电容式传感器工作原理图电容式传感器工作原理图 平板电容器电容量表达式为：平板电容器电容量表达式为： 三个参数都直接影响着三个参数都直接影响着电容量的大小。如果保持其中两个参数不变，而电容量的大小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容量就将发生变化。使另外一个参数改变，则电容量就将发生变化。如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系，如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系，那么电容量的变化可以直接反映被测量的变化情那么电容量的变化可以直接反映被测量的变化情况，再通过测量电路将电容量的变化转

3、换为电量况，再通过测量电路将电容量的变化转换为电量输出，就可以达到测量的目的。输出，就可以达到测量的目的。 电容式传感器通常可以分为三种类型：电容式传感器通常可以分为三种类型：改变极板面积的变面积式；改变极板距离的变间改变极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式；改变介电常数的变介电常数式。隙式；改变介电常数的变介电常数式。2.1 2.1 变面积式电容传感器变面积式电容传感器变面积式电容式传感器通常分为线位移型和角位移变面积式电容式传感器通常分为线位移型和角位移型两大类。型两大类。（1 1）线位移变面积型）线位移变面积型常用的线位移变面积型电容式传感器可分为平面线常用的线位移变面积型电容式传

4、感器可分为平面线位移型和柱面线位移型两种结构。位移型和柱面线位移型两种结构。 对于平板状结构，在图对于平板状结构，在图4-24-2（a a）中，两极）中，两极板有效覆盖面积就发生变化，电容量也随板有效覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为：之改变，其值为： 式中，式中， ，为初始电容值。，为初始电容值。对于柱状结构，在图对于柱状结构，在图4-24-2（b b）中，覆盖面）中，覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值积就发生变化，电容量也随之改变，其值为：为：式中，式中， ，为初始电容，为初始电容值。值。 dabC0)/ln(200rRhC（2 2）角位移型角位移型 角位移型是变面积式电

5、容传感器的派生形式，其派角位移型是变面积式电容传感器的派生形式，其派生形式种类较多，如图所示。生形式种类较多，如图所示。（a）角位移型；（）角位移型；（b）齿形极板型；（）齿形极板型；（c）圆筒型；（）圆筒型；（d）扇型）扇型图图4-3 变面积式电容传感器的派生型变面积式电容传感器的派生型 在图在图4-3（a）中，当动极板有一个角位移）中，当动极板有一个角位移 时，它时，它与定极板之间的有效覆盖面积就会发生变化，从而导致与定极板之间的有效覆盖面积就会发生变化，从而导致电容量的变化，电容值可表示为：电容量的变化，电容值可表示为：2.3 2.3 变间隙式电容传感器变间隙式电容传感器 当电容式传感器

6、的面积和介电常数固定当电容式传感器的面积和介电常数固定不变，只改变极板间距离时，称为变间隙式电容传不变，只改变极板间距离时，称为变间隙式电容传感器，其结构原理如图所示。图中，活动极板与被感器，其结构原理如图所示。图中，活动极板与被测对象相连。测对象相连。当活动极板因被测参数的改变而引起移动时，电容当活动极板因被测参数的改变而引起移动时，电容量随着两极板间的距离的变化而变化，当活动极板量随着两极板间的距离的变化而变化，当活动极板移动后，其电容量为：移动后，其电容量为：这类传感器一般用来对微小位移量进行测量，正常这类传感器一般用来对微小位移量进行测量，正常工作在微米到几毫米的线位移。同时，变间隙式

7、电工作在微米到几毫米的线位移。同时，变间隙式电容传感器要提高灵敏度，应减小极板间的初始间距。容传感器要提高灵敏度，应减小极板间的初始间距。为了改善这种情况，一般是在极板间放置云母、塑为了改善这种情况，一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数较高的介质。料膜等介电常数较高的介质。 2.4 2.4 变介电常数式电容传感器变介电常数式电容传感器 根据前面的分析可知，介质的介电常数根据前面的分析可知，介质的介电常数也是影响电容式传感器电容量的一个因素。通常情也是影响电容式传感器电容量的一个因素。通常情况下，不同介质的介电常数各不相同。况下，不同介质的介电常数各不相同。当电容式传感器的电介质改变时，其介

8、电常数变化，当电容式传感器的电介质改变时，其介电常数变化，也会引起电容量发生变化。也会引起电容量发生变化。变介电常数式电容传感器就是通过介质的改变来实变介电常数式电容传感器就是通过介质的改变来实现对被测量的检测，并通过传感器的电容量的变化现对被测量的检测，并通过传感器的电容量的变化反映出来。它通常可以分为柱式和平板式两种，如反映出来。它通常可以分为柱式和平板式两种，如图所示。图所示。（a）柱式）柱式 （b）平板式）平板式 变介电常数式电容传感器变介电常数式电容传感器变介电常数式电容传感器的两极板间若存在导电物变介电常数式电容传感器的两极板间若存在导电物质，还应该在极板表面涂上绝缘层，防止极板短

9、路，质，还应该在极板表面涂上绝缘层，防止极板短路，如涂上聚四氟乙烯薄膜。如涂上聚四氟乙烯薄膜。变介电常数式电容传感器除了可以测量液位和位移变介电常数式电容传感器除了可以测量液位和位移之外，还可以用于测量电介质的厚度、物位，并可之外，还可以用于测量电介质的厚度、物位，并可以根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量以根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量的变化而变化来测量温度、湿度、容量等参数。的变化而变化来测量温度、湿度、容量等参数。(a)测介质厚度；测介质厚度；(b)测量位移；测量位移；(c)测量液位；测量液位；(d)测温度、湿度测温度、湿度图图4-6 常见变介电常数式电容传感器常见变介

10、电常数式电容传感器2 2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路电容式传感器输出电容量以及电容变化量都非常微电容式传感器输出电容量以及电容变化量都非常微小，这样微小的电容量目前还不能直接被显示仪表小，这样微小的电容量目前还不能直接被显示仪表所显示，无法由记录仪进行记录，亦不便于传输。所显示，无法由记录仪进行记录，亦不便于传输。借助测量电路检出微小的电容变化量，并转换成与借助测量电路检出微小的电容变化量，并转换成与其成正比的电压、电流或者频率信号，才能进行显其成正比的电压、电流或者频率信号，才能进行显示、记录和传输。示、记录和传输。用于电容式传感器的测量电路很多，常见的电路有：用于电容式传

11、感器的测量电路很多，常见的电路有：普通交流电桥、变压器电桥、双普通交流电桥、变压器电桥、双T T形电桥电路、紧形电桥电路、紧耦合电感臂电桥、运算放大器式测量电路、调频电耦合电感臂电桥、运算放大器式测量电路、调频电路、脉冲宽度调制电路等。路、脉冲宽度调制电路等。 2.1 2.1 普通交流电桥电路普通交流电桥电路 普通交流电桥测量电路如图普通交流电桥测量电路如图4-74-7所示，所示， 为传感器电容，为传感器电容， 为等效配接阻抗，为等效配接阻抗， 和和 分别为固定电容和固定阻抗。分别为固定电容和固定阻抗。xCZ0CZ传感器工作前，先将电桥初始状态调至平衡。传感器工作前，先将电桥初始状态调至平衡。

12、当传感器工作时，电容当传感器工作时，电容 发生变化，电发生变化，电桥失去平衡，从而输出交流电压信号。桥失去平衡，从而输出交流电压信号。此信号先经过交流放大器将电压进行放大，此信号先经过交流放大器将电压进行放大，再经过相敏检波器和低通滤波器检出直流电再经过相敏检波器和低通滤波器检出直流电压、并滤掉交流分量，最后得到直流电压输压、并滤掉交流分量，最后得到直流电压输出信号，它的幅值随着电容的变化而变化。出信号，它的幅值随着电容的变化而变化。电桥的输出电压为：电桥的输出电压为：xC2.2 2.2 变压器电桥电路变压器电桥电路 电容式传感器接入变压器电桥测量电路如图所示，电容式传感器接入变压器电桥测量电

13、路如图所示，它可分为单臂接法和差动接法两种。它可分为单臂接法和差动接法两种。（a）单臂接法）单臂接法 （b）差动接法）差动接法（1 1）单臂接法）单臂接法图图4-8(a)4-8(a)所示为单臂接法的变压器桥式测量所示为单臂接法的变压器桥式测量电路，高频电源经变压器接到电容桥的一个电路，高频电源经变压器接到电容桥的一个对角线上，电容对角线上，电容 构成电桥的四个臂，其中构成电桥的四个臂，其中 为电容传感器。为电容传感器。当传感器未工作时，交流电桥处于平衡状态，当传感器未工作时，交流电桥处于平衡状态，有：有：此时，电桥输出电压此时，电桥输出电压 。 当当 改变时，改变时， ，电桥有输出，电桥有输出

14、电压，从而可测得电容的变化值。电压，从而可测得电容的变化值。xC00UxC00U（2 2）差动接法）差动接法变压器电桥测量电路一般采用差动接法，如变压器电桥测量电路一般采用差动接法，如图图4-8(b)4-8(b)所示。所示。 以差动形式接以差动形式接入相邻两个桥臂，另外两个桥臂为次级线圈。入相邻两个桥臂，另外两个桥臂为次级线圈。在交流电路中，在交流电路中， 的阻抗分别的阻抗分别为：为：则有，则有，故，当输出为开路时，电桥空载输出电压为故，当输出为开路时，电桥空载输出电压为21ZZUI2.3 2.3 双双T T形电桥电路形电桥电路 双双T T形电桥电路如图所示，高频电源形电桥电路如图所示，高频电

15、源u u提供幅值为提供幅值为U U的方波。的方波。 双双T型电桥连接型电桥连接 正半周正半周 负半周负半周2.4 2.4 运算放大器式测量电路运算放大器式测量电路 运算放大器式测量电路的原理图如图所示。电容式运算放大器式测量电路的原理图如图所示。电容式传感器跨接在高增益运算放大器的输入端与输出端传感器跨接在高增益运算放大器的输入端与输出端之间。之间。由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗很高，可认为是一个理想运算放大器。则输出电压很高，可认为是一个理想运算放大器。则输出电压 为：为：0u可见，运算放大器的输出电压可见，运算放大器的输出电压 与极

16、板间距离与极板间距离 成线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间成线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，但要求运算放大距离式电容传感器的非线性问题，但要求运算放大器的开环放大倍数和输入阻抗都足够大。器的开环放大倍数和输入阻抗都足够大。理想运算放大器的开环放大倍数理想运算放大器的开环放大倍数 ，且输入阻抗且输入阻抗 。为保证仪器精度，还。为保证仪器精度，还要求电源电压的幅值和固定电容要求电源电压的幅值和固定电容 值稳定。值稳定。0udAiZ0C2.5 2.5 调频电路调频电路调频电路是将电容式传感器的电容与电感元件构成调频电路是将电容式传感器的电容与电感元件构

17、成振荡器的谐振回路。其测量电路原理框图如图所示。振荡器的谐振回路。其测量电路原理框图如图所示。当电容工作时，电容变化导致振荡频率发生相应的当电容工作时，电容变化导致振荡频率发生相应的变化，再通过鉴频电路把频率的变化转换为振幅的变化，再通过鉴频电路把频率的变化转换为振幅的变化，经放大后输出，即可进行显示和记录，这种变化，经放大后输出，即可进行显示和记录，这种方法称为调频法。方法称为调频法。当传感器未工作时，振荡频率为：当传感器未工作时，振荡频率为：用调频电路作为电容式传感器的测量电路具有下列用调频电路作为电容式传感器的测量电路具有下列特点：特点：（1 1）抗干扰能力强，稳定性好；）抗干扰能力强，

18、稳定性好；（2 2）灵敏度高，可测量）灵敏度高，可测量 级的位移变化级的位移变化量；量；（3 3）能获得高电平的直流信号，可达伏特数量级；）能获得高电平的直流信号，可达伏特数量级；（4 4）由于输出为频率信号，易于用数字式仪器进行）由于输出为频率信号，易于用数字式仪器进行测量，并可以和计算机进行通信，可以发送、接收，测量，并可以和计算机进行通信，可以发送、接收，能达到遥测遥控的目的。能达到遥测遥控的目的。m01. 02.6 2.6 差动脉冲宽度调制电路差动脉冲宽度调制电路 差动脉冲宽度调制电路如图所示，它是利差动脉冲宽度调制电路如图所示，它是利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随用对传

19、感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量的变化而变化，再通过低通滤波器得传感器电容量的变化而变化，再通过低通滤波器得到相应被测量变化的直流信号。到相应被测量变化的直流信号。差动脉冲宽度调制电路产生的电路中各点电压波形差动脉冲宽度调制电路产生的电路中各点电压波形如图所示。如图所示。 电容式传感器的特点及设计改善措施电容式传感器的特点及设计改善措施 电容传感器的优缺点电容传感器的优缺点1 1电容式传感器的优点电容式传感器的优点（1 1）温度稳定性好：电容式传感器常用空气等气体作为绝缘）温度稳定性好：电容式传感器常用空气等气体作为绝缘介质，介质本身的发热量非常小，可忽略不计。因此，只需介质

20、，介质本身的发热量非常小，可忽略不计。因此，只需要从强度、温度系数等机械特性进行考虑，来合理选择材料要从强度、温度系数等机械特性进行考虑，来合理选择材料和几何尺寸。和几何尺寸。（2 2）阻抗高、功率小，需要输入的动作能量低：电容式传感）阻抗高、功率小，需要输入的动作能量低：电容式传感器由于带电极板间的静电吸引力极小，因此所需要的输入能器由于带电极板间的静电吸引力极小，因此所需要的输入能量也极小，特别适用于低能量输入的测量。量也极小，特别适用于低能量输入的测量。（3 3）动态响应好：电容式传感器由于它的可动部分可以做得）动态响应好：电容式传感器由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，其固有

21、频率很高，动态响应时间短，很小很薄，即质量很轻，其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。（4 4）结构简单，适应性强：电容式传感器结构简单，易于制）结构简单，适应性强：电容式传感器结构简单，易于制造；能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下造；能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强。工作，适应能力强。2 2电容式传感器的缺点电容式传感器的缺点（1 1）输出阻抗高，带负载能力差：电容的容抗大还）输出阻抗高，带负载能力差：电容的容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十兆欧以要求传感器绝

22、缘部分的电阻值极高（几十兆欧以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器的性能，为此要注意温度、湿度、清洁度等环境对的性能，为此要注意温度、湿度、清洁度等环境对绝缘材料绝缘性能的影响。绝缘材料绝缘性能的影响。（2 2）输出特性为非线性：虽可采用差动结构来改善，）输出特性为非线性：虽可采用差动结构来改善，但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略了电场的边缘效应时，输出特性才成线性，否则略了电场的边缘效应时，输出特性才成线性，否则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器电容量直边缘效应所产生的附加电容量将与

23、传感器电容量直接叠加，使输出特性非线性。接叠加，使输出特性非线性。（3 3）寄生电容影响大：电容式传感器的初始电容很）寄生电容影响大：电容式传感器的初始电容很小，而其引线电容、测量电路的杂散电容以及传感小，而其引线电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容寄生电容”却较却较大。例如，将信号处理电路安装在非常靠近极板的大。例如，将信号处理电路安装在非常靠近极板的地方可以削弱泄露电容的影响。地方可以削弱泄露电容的影响。3.2 3.2 电容式传感器的设计改善措施电容式传感器的设计改善措施 电容式传感器所具有的高灵敏度、高精度等独特的优点是与

24、电容式传感器所具有的高灵敏度、高精度等独特的优点是与其正确设计、选材以及精细的加工工艺分不开的。其正确设计、选材以及精细的加工工艺分不开的。 （1 1）消除和减小边缘效应：边缘效应不仅使电容式传感器的）消除和减小边缘效应：边缘效应不仅使电容式传感器的灵敏度降低，而且在测量中会产生非线性误差，应尽量减小灵敏度降低，而且在测量中会产生非线性误差，应尽量减小或消除。或消除。适当减小电容式传感器的极板间距，可以减小边缘效应的影适当减小电容式传感器的极板间距，可以减小边缘效应的影响，但电容易被击穿且测量范围受到限制。响，但电容易被击穿且测量范围受到限制。一方面，可采取将电极做得很薄，使之远小于极板间距的

25、措一方面，可采取将电极做得很薄，使之远小于极板间距的措施来减小边缘效应的影响。另一方面，可在结构上增加等位施来减小边缘效应的影响。另一方面，可在结构上增加等位保护环的方法来消除边缘效应，如图保护环的方法来消除边缘效应，如图4-144-14所示。所示。（a）电容器的边缘效应）电容器的边缘效应 （b）带有等位环的平板式电容器）带有等位环的平板式电容器图图4-14 等位环消除电容边缘效应原理图等位环消除电容边缘效应原理图（2 2）保证绝缘材料的绝缘性能）保证绝缘材料的绝缘性能 温度、湿度等环境的变化是影响传感器中绝缘材温度、湿度等环境的变化是影响传感器中绝缘材料性能的主要因素。料性能的主要因素。传感

26、器的电极表面不便清洗，应加以密封，可防尘、传感器的电极表面不便清洗，应加以密封，可防尘、防潮。防潮。 尽量采用空气、云母等介电常数的温度系数几乎尽量采用空气、云母等介电常数的温度系数几乎为零的电介质作为电容式传感器的电介质。为零的电介质作为电容式传感器的电介质。 传感器内所有的零件应先进行清洗、烘干后再装传感器内所有的零件应先进行清洗、烘干后再装配。传感器要密封以防止水分侵入内部而引起电容配。传感器要密封以防止水分侵入内部而引起电容值变化和绝缘性能下降。壳体的刚性要好，以免安值变化和绝缘性能下降。壳体的刚性要好，以免安装时变形。装时变形。 传感器电极的支架要有一定的机械强度和稳定的传感器电极的

27、支架要有一定的机械强度和稳定的性能。应选用温度系数小、稳定性好，并具有高绝性能。应选用温度系数小、稳定性好，并具有高绝缘性能的材料，例如石英、云母、人造宝石及各种缘性能的材料，例如石英、云母、人造宝石及各种陶瓷等做支架。虽然这些材料较难加工，但性能远陶瓷等做支架。虽然这些材料较难加工，但性能远高于塑料、有机玻璃等。高于塑料、有机玻璃等。 （3 3）减小或消除寄生电容的影响）减小或消除寄生电容的影响 寄生电容可能比传感器的电容大几倍甚至几十倍，寄生电容可能比传感器的电容大几倍甚至几十倍，影响了传感器的灵敏度和输出特性，严重时会淹没影响了传感器的灵敏度和输出特性，严重时会淹没传感器的有用信号，使传

28、感器无法正常工作。因此，传感器的有用信号，使传感器无法正常工作。因此，减小或消除寄生电容的影响是设计电容传感器的关减小或消除寄生电容的影响是设计电容传感器的关键。通常可采用如下方法：键。通常可采用如下方法： 增加电容初始值：增加电容初始值可以减小寄生增加电容初始值：增加电容初始值可以减小寄生电容的影响。采用减小电容式传感器极板之间的距电容的影响。采用减小电容式传感器极板之间的距离，增大有效覆盖面积来增加初始电容值。离，增大有效覆盖面积来增加初始电容值。 采用驱动电缆技术：驱动电缆技术又叫双层屏蔽采用驱动电缆技术：驱动电缆技术又叫双层屏蔽等位传输技术，它实际上是一种等电位屏蔽法。等位传输技术，它

29、实际上是一种等电位屏蔽法。驱动放大器是一个输入阻抗很高，具有容性负载，放大倍数驱动放大器是一个输入阻抗很高，具有容性负载，放大倍数为为1 1的同相放大器。该方法的难点在于要在很宽的频带上实的同相放大器。该方法的难点在于要在很宽的频带上实现放大倍数等于现放大倍数等于1 1，且输入输出的相移为零。，且输入输出的相移为零。由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压，因此由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压，因此称为称为“驱动电缆驱动电缆”。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。界电场的干扰。驱动电缆技术原理图驱动电缆技术原理图 采用运算

30、放大器法：运算放大器法的原理如图所示。采用运算放大器法：运算放大器法的原理如图所示。它利用运算放大器的虚地来减小引线电缆寄生电它利用运算放大器的虚地来减小引线电缆寄生电容容 。 PC 运算放大器法运算放大器法 电容传感器的一个电极经电缆芯线接运算放大器的电容传感器的一个电极经电缆芯线接运算放大器的虚地虚地点，电缆的屏蔽层接仪器地，这时与传感器点，电缆的屏蔽层接仪器地，这时与传感器电容相并联的为等效电缆电容电容相并联的为等效电缆电容 ， 为运算为运算放大器的开环放大倍数，因而大大减小了电缆电容放大器的开环放大倍数，因而大大减小了电缆电容的影响。的影响。)1/(ACPA4.4 4.4 电容式传感器

31、的应用电容式传感器的应用 电容式传感器的应用非常广泛，它可用来测量液位电容式传感器的应用非常广泛，它可用来测量液位和物位、压力、加速度、直线位移、角度和角位移、和物位、压力、加速度、直线位移、角度和角位移、厚度、振动和振幅、转速、温度、湿度及成分等参厚度、振动和振幅、转速、温度、湿度及成分等参数。数。4.4.1 4.4.1 电容式压力传感器电容式压力传感器图图4-174-17所示是典型的差动电容式压力传感器。其主所示是典型的差动电容式压力传感器。其主要结构为一个膜片动电极和两个在凹形玻璃上电镀要结构为一个膜片动电极和两个在凹形玻璃上电镀成的固定电极组成的差动电容器。成的固定电极组成的差动电容器

32、。当被测压力或压力差作用于膜片并使之产生位移时，当被测压力或压力差作用于膜片并使之产生位移时，形成的两个电容器的电容量，一个增大，一个减小。形成的两个电容器的电容量，一个增大，一个减小。该电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力差该电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力差相对应的电流或电压的变化。相对应的电流或电压的变化。差动电容式压力传感器差动电容式压力传感器电容式压力传感器常用来测量气体或液体的电容式压力传感器常用来测量气体或液体的压力，其外形结构如图所示。压力，其外形结构如图所示。4.4.2 4.4.2 电容式加速度传感器电容式加速度传感器差动电容式加速度传感器主要由两个固定极板（与差

33、动电容式加速度传感器主要由两个固定极板（与外壳绝缘）和一个质量块组成，中间的质量块采用外壳绝缘）和一个质量块组成，中间的质量块采用弹簧片来进行支撑，它的两个端面经过磨平抛光后弹簧片来进行支撑，它的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板。作为可动极板。4.4.3 4.4.3 电容式位移传感器电容式位移传感器图示为一种圆筒式变面积型电容式位移传感器。它采用差动图示为一种圆筒式变面积型电容式位移传感器。它采用差动式结构，其固定电极式结构，其固定电极3 3与外壳绝缘，其活动电极与外壳绝缘，其活动电极4 4与测杆与测杆1 1相相连并彼此绝缘。连并彼此绝缘。测量时，动电极随被测物发生轴向移动，从而改变活动电极

34、测量时，动电极随被测物发生轴向移动，从而改变活动电极与两个固定电极之间的有效覆盖面积，使电容发生变化，电与两个固定电极之间的有效覆盖面积，使电容发生变化，电容的变化量与位移成正比。开槽弹簧片容的变化量与位移成正比。开槽弹簧片2 2为传感器的导向与为传感器的导向与支承，无机械摩擦，灵敏度高，但行程小，主要用于接触式支承，无机械摩擦，灵敏度高，但行程小，主要用于接触式测量。测量。电容式传感器还可以用于测量振动位移，以电容式传感器还可以用于测量振动位移，以及测量转轴的回转精度和轴心动态偏摆等，及测量转轴的回转精度和轴心动态偏摆等，属于动态非接触式测量，如图所示。属于动态非接触式测量，如图所示。 （a

35、）振幅测量）振幅测量 （b）轴的回转精度和轴心偏摆测量）轴的回转精度和轴心偏摆测量电容式传感器在振动位移测量中的应用电容式传感器在振动位移测量中的应用图（图（a a）中电容传感器和被测物体分别构成电容的）中电容传感器和被测物体分别构成电容的两个电极，当被测物发生振动时，电容两极板之间两个电极，当被测物发生振动时，电容两极板之间的距离发生变化，从而改变电容的大小，再经测量的距离发生变化，从而改变电容的大小，再经测量电路实现测量。电路实现测量。图（图（b b）所示电容传感器中，在旋转轴外侧相互垂）所示电容传感器中，在旋转轴外侧相互垂直的位置放置两个电容极板，作为定极板，被测旋直的位置放置两个电容极

36、板，作为定极板，被测旋转轴作为电容传感器的动极板。转轴作为电容传感器的动极板。测量时，首先调整好电容极板与被测旋转轴之间的测量时，首先调整好电容极板与被测旋转轴之间的原始间距，当轴旋转时因轴承间隙等原因产生径向原始间距，当轴旋转时因轴承间隙等原因产生径向位移和摆动时，定极板和动极板之间的距离发生变位移和摆动时，定极板和动极板之间的距离发生变化，传感器的电容量也相应的发生变化，再经过测化，传感器的电容量也相应的发生变化，再经过测量转换电路即可测得轴的回转精度和轴心的偏摆。量转换电路即可测得轴的回转精度和轴心的偏摆。4.4 4.4 电容式液位传感器电容式液位传感器电容式液位传感器的结构如图所示。测

37、定电极安装在容器的电容式液位传感器的结构如图所示。测定电极安装在容器的顶部，容器壁和测定电极之间构成了一个电容器。顶部，容器壁和测定电极之间构成了一个电容器。当容器内的被测物有一定液位高度时，由于被测物介电常数当容器内的被测物有一定液位高度时，由于被测物介电常数的影响，传感器的电容发生变化，电容的变化量与被测液位的影响，传感器的电容发生变化，电容的变化量与被测液位的高度成线性关系。只要通过测量转换电路检测出电容的变的高度成线性关系。只要通过测量转换电路检测出电容的变化量，就可以测出液位的高度。化量，就可以测出液位的高度。传感器的电容量可表示为：传感器的电容量可表示为：可见，电容器的电容量与被测

38、液位高度成线性关系，可见，电容器的电容量与被测液位高度成线性关系，且两种介质的介电常数相差越大、容器的内径与电且两种介质的介电常数相差越大、容器的内径与电极的直径相差越小，传感器的电容变化量就越大，极的直径相差越小，传感器的电容变化量就越大，灵敏度就越高。灵敏度就越高。由于被测对象的性质不一样，不同介质的导由于被测对象的性质不一样，不同介质的导电性能不相同，电容式液位传感器在不导电电性能不相同，电容式液位传感器在不导电液体和导电液体的液位测量过程中，其结构液体和导电液体的液位测量过程中，其结构也会有差别，如图所示。也会有差别，如图所示。 电容式液位传感器的结构电容式液位传感器的结构电容式液位传感器被广泛使用于工业测量中。几类电容式液位传感器被广泛使用于工业测量中。几类常见的电容式液位传感器如图所示。常见的电容式液位传感器如图所示。（a）棒式探极）棒式探极 （b）同轴探极）