几种重要的微电子器件

1、主要内容主要内容?薄膜晶体管薄膜晶体管TFT?光电器件光电器件?电荷耦合器件电荷耦合器件薄膜晶体管薄膜晶体管?薄膜晶体管薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)通常是指利用半导体薄膜材料制通常是指利用半导体薄膜材料制成的绝缘栅场效应晶体管成的绝缘栅场效应晶体管非晶硅薄膜晶体管非晶硅薄膜晶体管(a-Si TFT)多晶硅薄膜晶体管多晶硅薄膜晶体管(poly-Si TFT)碳化硅薄膜晶体管碳化硅薄膜晶体管(SiC TFT)?TFT的结构的结构立体结构型立体结构型平面结构型平面结构型?TFT的应用领域的应用领域大面积平板显示大面积平板显示有源矩阵液晶显示有源矩阵液晶显示(Acti

2、ve Matrix Liquid Crystal Display, 缩写为缩写为AMLCD)电可擦除只读存储器电可擦除只读存储器(ROM)静态随机存储器静态随机存储器(SRAM)线阵或面阵型图像传感器驱动电路线阵或面阵型图像传感器驱动电路?液晶显示器液晶显示器驱动电压和功耗低、体积小、重量驱动电压和功耗低、体积小、重量轻、无轻、无X射线辐射等一系列优点射线辐射等一系列优点为了降低串扰，提高扫描线数，在为了降低串扰，提高扫描线数，在每个像素上配置一个开关器件，形每个像素上配置一个开关器件，形成有源矩阵液晶显示，消除了像素成有源矩阵液晶显示，消除了像素间的交叉串扰间的交叉串扰TFT有源矩阵的结构有

3、源矩阵的结构光电子器件光电子器件?光电子器件：光子担任主要角色的光电子器件：光子担任主要角色的电子器件电子器件发光器件：将电能转换为光能发光器件：将电能转换为光能发光二极管发光二极管(Light Emitting Diode，缩，缩写为写为LED)半导体激光器半导体激光器太阳能电池：将光能转换为电能太阳能电池：将光能转换为电能光电探测器：利用电子学方法检测光光电探测器：利用电子学方法检测光信号的信号的?辐射跃迁和辐射跃迁和光吸收：光吸收：在固体中，在固体中，光子和电子光子和电子之间的相互之间的相互作用有三种作用有三种基本过程：基本过程：吸收、自发吸收、自发发射和受激发射和受激发射发射两个能级之

4、间的三种基本跃迁过程两个能级之间的三种基本跃迁过程(a) 吸收吸收 (b) 自发发射自发发射 (c) 受激发射受激发射?发光器件发光器件发光二极管：靠注入载流子自发复发光二极管：靠注入载流子自发复合而引起的自发辐射；非相干光合而引起的自发辐射；非相干光半导体激光器则是在外界诱发的作半导体激光器则是在外界诱发的作用下促使注入载流子复合而引起的用下促使注入载流子复合而引起的受激辐射；相干光，具有单色性好、受激辐射；相干光，具有单色性好、方向性强、亮度高等特点方向性强、亮度高等特点?半导体电致发光有着悠久的历史半导体电致发光有着悠久的历史1907年观察到电流通过硅检波器时发黄光现象年观察到电流通过硅

5、检波器时发黄光现象1923年在碳化硅检波器中观察到类似的现象年在碳化硅检波器中观察到类似的现象1955年观察到年观察到III-V族化合物中的辐射族化合物中的辐射1961年观察到磷化镓年观察到磷化镓pn结的发光结的发光60年代初期年代初期GaAs晶体制备技术的显著发展晶体制备技术的显著发展1962年制成年制成GaAs发光二极管和发光二极管和GaAs半导体激光半导体激光器器异质结的发展对结型发光器件性能的提高也起异质结的发展对结型发光器件性能的提高也起了很大的推进作用了很大的推进作用?半导体发射激光，即要实现受激发射，半导体发射激光，即要实现受激发射，必须满足下面三个条件：必须满足下面三个条件：通

6、过施加偏压等方法将电子从能量较低的价通过施加偏压等方法将电子从能量较低的价带激发到能量较高的导带，产生足够多的电带激发到能量较高的导带，产生足够多的电子空穴对，导致粒子数分布发生反转子空穴对，导致粒子数分布发生反转形成光谐振腔，使受激辐射光子增生，产生形成光谐振腔，使受激辐射光子增生，产生受激振荡，导致产生的激光沿谐振腔方向发受激振荡，导致产生的激光沿谐振腔方向发射射满足一定的阈值条件，使电子增益大于电子满足一定的阈值条件，使电子增益大于电子损耗，即激光器的电流密度必须大于产生受损耗，即激光器的电流密度必须大于产生受激发射的电流密度阈值激发射的电流密度阈值光电探测器光电探测器?光电探测器：对各

7、种光辐光电探测器：对各种光辐射进行接收和探测的器件射进行接收和探测的器件热探测器热探测器光子探测器光子探测器?热探测器：利用探测元吸收入射光热探测器：利用探测元吸收入射光(通常是红外光通常是红外光)产生热量，引起温度产生热量，引起温度上升，然后再借助各种物理效应把温上升，然后再借助各种物理效应把温度的变化转变成电学参量度的变化转变成电学参量?热探测器进行光电转换的过程：热探测器进行光电转换的过程：探测器吸收光辐射引起温度上升探测器吸收光辐射引起温度上升利用探测器的某些温度效应把温升转换利用探测器的某些温度效应把温升转换成电学参量成电学参量?光子探测器：利用入射光子与半导体光子探测器：利用入射光

8、子与半导体中处于束缚态的电子中处于束缚态的电子(或空穴或空穴)相互作用，相互作用，将它们激发为自由态，引起半导体的电将它们激发为自由态，引起半导体的电阻降低或者产生电动势阻降低或者产生电动势?光子探测器的三个基本过程：光子探测器的三个基本过程：光子入射到半导体中并产生载流子光子入射到半导体中并产生载流子载流子在半导体中输运并被某种电流增益载流子在半导体中输运并被某种电流增益机构倍增机构倍增产生的电流与外电路相互作用，形成输出产生的电流与外电路相互作用，形成输出信号，从而完成对光子的探测信号，从而完成对光子的探测?光敏电阻：光敏电阻通常由一块状或薄膜光敏电阻：光敏电阻通常由一块状或薄膜状半导体及

9、其两边的欧姆接触构成状半导体及其两边的欧姆接触构成?光电二极管：光电二极管实际上就是一个光电二极管：光电二极管实际上就是一个工作在反向偏置条件下的工作在反向偏置条件下的pn结，结，p-i-n光电光电二极管是最常用的光电探测器件二极管是最常用的光电探测器件?雪崩光电二极管：雪崩光电二极管是借助雪崩光电二极管：雪崩光电二极管是借助强电场作用产生载流子倍增效应强电场作用产生载流子倍增效应(即雪崩即雪崩倍增效应倍增效应)的一种高速光电器件的一种高速光电器件太阳能电池太阳能电池?吸收光辐射而产生电动势，它是半导体吸收光辐射而产生电动势，它是半导体太阳能电池实现光电转换的理论基础太阳能电池实现光电转换的理

10、论基础?产生光生伏特效应的两个基本条件：产生光生伏特效应的两个基本条件：半导体材料对一定波长的入射光有足够大半导体材料对一定波长的入射光有足够大的光吸收系数，即要求入射光子的能量的光吸收系数，即要求入射光子的能量h 大于或等于半导体的禁带宽度大于或等于半导体的禁带宽度Eg具有光生伏特结构，即有一个内建电场所具有光生伏特结构，即有一个内建电场所对应的势垒区对应的势垒区?影响太阳影响太阳能电池转能电池转换效率的换效率的主要因素主要因素有：表面有：表面太阳光的太阳光的反射、反射、pn结漏电流结漏电流和寄生串和寄生串联电阻等联电阻等CCD器件器件?电荷耦合器件电荷耦合器件(Charge Coupled Device，简称，简称CCD)：70年代初由美年代初由美国贝尔实验室研制成功的一种新型半国贝尔实验室研制成功的一种新型半导体器件导体器件?CCD器件不同于其他器件的突出特器件不同于其他器件的突出特点：以电荷作为信号，即信息用电荷点：以电荷作为信号，即信息用电荷量量(称为电荷包称为电荷包)代表，而其他器件则代表，而其他器件则都是以电压或电流作为信号的都是以电压或电流作为信号的?CCD器件的应用器件的应用广泛用于影像传感、数字存储和信广泛用于影像传感、数字存储和信息处理等三个领域，其