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文档简介

掺质材料最新 1 掺质材料最新 2 圖3.1(a)完全鍵結的矽，(b)摻入硼成為p-Si，(c)摻入砷成為n-Si 掺质材料最新 3 圖3.2磊晶在CMOS的例子 掺质材料最新 4 圖3.3磊晶晶片 掺质材料最新 5 掺质材料最新 6 掺质材料最新 7 掺质材料最新 8 圖3.4三種形式的擴散源 掺质材料最新 9 (續)圖3.4三種形式的擴散源 掺质材料最新 10 圖3.5各種摻質在矽中的固態溶解度 掺质材料最新 11 掺质材料最新 12 圖3.6離子植入機的概略圖(德州大學之400 KeV機器) 掺质材料最新 13 圖3.7三氟化硼解離後的譜圖 掺质材料最新 14 圖3.8(a)退火(anneal)後使矽晶再結晶 掺质材料最新 15 (續)圖3.8 (b)退火後硼植入的濃度側繪圖 掺质材料最新 16 掺质材料最新 17 圖3.9通道效應 掺质材料最新 18 圖3.10(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應 掺质材料最新 19 圖3.11質流控制器(a)概略結構圖，(b)測溫電路 掺质材料最新 20 圖3.12氣體儲櫃的外觀 掺质材料最新 21 掺质材料最新 22 圖3.13氣體連鎖系統 掺质材料最新 23 掺质材料最新 24 掺质材料最新 25 圖3.14電子簇射器 掺质材料最新 26 圖3.15斜角研磨 掺质材料最新 27 圖3.16電容電壓圖 掺质材料

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