E8握手流程中文版

1、E84-握手流程（中文版）标准化文件发布号：（9456-EUATWKMWUB-WUNNINNULDDQTYKII配布先-COPY計SUM承認APP3神鋼電機株式会社ouTkiizrx ci UErac cc i tf iAnaki7変更来歴Rev日付内容承認作成000.11.2初版藤原SSG佐野Translated by Don Lee/ASTW/Training Center1 背景目的62 E84E23之不同點63 限制44 機器構成65 用語說明86 控制信號之種類67 Intel lock Timeout 138 通信程序981裝載移載98.2卸載移載119 1291移載動作開始前之異

2、常129 2移載動作中之異常139 3異常移載動作後之異常149.4 GO 信號=OFF 變化229 5異常之復舊1510注意事項1511 Connector及各信號之分配 1612 電路圖 Sensor Unit 尺寸261 背景目的半導體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之擴大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統(AMHS)的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV (台車)藉由使 用Photo I/O之通信、來取得LoadAJnload之同步。此Photo I/O通信係藉由SEMI規格來定 義、製造裝置及0HV需進行遵守此規格的通信控制。SEMI規格中、雖定義E2

3、3作為上述Photo I/O通信規格、但於99年以E23為基本而重新 定義了功能強化之E84、此E84規格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規格之概要。又， 本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導體製造裝置間之介面相關的設計/管理。2 E84 L E23之不同點追加/變更於E84之項目如下。連續 Handoff Sequence同時 Handoff Sequence追加HO_AVBL信號、ES信號 Timer之規定改訂Connector pin之分配3 限制本書僅記述導入於OHT系統之E84規格。因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛。連續 Handoff/同時 Handoff Sequen

4、ce使用於連續Handoff之Timer4 機器構成圖4.1顯示本規格之E84 I/O Interface的適用例。図4.1 E84I/O介面例5 用語説明表5.1顯示本書使用之用語。表5.1用語説明用語解説Active裝置具備移載機構之裝置。遵循SEMI E23規格 （OHT系統中、OHV屬於Active裝置。）Passive 裝置藉由Active裝置來進行移載之裝置。遵循SEMI E23規格 Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。本書中、Passive裝置係與裝置同義。AMHS裝置 (=Automated Material Handling System)具有可在Passive

5、裝置間搬送載體之功能的裝置。RGV: Rail Guided Vehicles / AGV: Automated Guided Vehicles / OHT: Overhead Hoist Transports if oAuto Access ModeAMHS裝置以自動方式進行Handoff之模式。Manual AccessModeOperator以手動方式進行Handoff之模式。載體卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。 遵循SEMI E 1.9規格Handoff表示藉由Active裝置對Passive裝置進行裝載及卸載之移載動作。 本書中、係與裝載/卸載移載同義

6、。Handoff干涉區域Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。Handoff - Interlock 異常Handoff中Passive裝置檢測到異常之狀態。Active裝置之載體與Passive 裝置之載體、有可能在Handoff干涉區域衝突衝突。無法Handoff利用狀態Passive裝置無法進行Handoff之狀態。Loadport加工裝B/Stocker 等之 Interface Port。遵循 SEMI E15 規格Load從Act i ve裝置往Pass i ve裝置之卸載移載。Unload從Pass i ve裝置往Act i ve裝置之

7、裝載移載。控制信號之種類使用於E84通信之各信號的種類如表6.1所示。 關於通信方向:A二Active裝置.P二Passive裝置。表6.1信號之名稱及功用信號名稱通信方向信號之說明CS_O ( = Carrier Stage0)A=P指定使用於載體Handoff之Loadporto ON :使用於載體Handoffo OFF :不使用。CS_1( = Carrier Stage 1)A=P指定使用於載體Handoff之Loadport。ON :使用於載體Handoffo OFF :不使用。盯系統中、由於各Loadport設置有Photo I/O （1 Photo 1/0/1 LoadPort

8、）.因此不使用本信號。VALID ( = Indicates that the signal transition i s active and selected.)可以通信A=P表示Act i ve裝置oPass ive裝置間之通信為有效。 0N :通信為有效。OFF 涌信為甸效cAct i ve裝置在施余信號0N之前、需以CS_0信號或CS_1信號（或兩者）來指定移載對象之Loadporto 探OHT系統中、僅使用CS 0L REQ ( = Load Request) 要求裝載PnA表示Loadport被指定為載體之裝載（Active裝置之卸 載）。0N : Loadpoll被指定為載體之

9、裝載 OFF : Loadport未被指定為載體之裝載。由Act i ve裝置以CS_0信號指定Loadport.當VALID二ON 時、Passive 裝置使本信號 ON。當 Passive 裝置確認到載體被放置到正確位置之後、即將本信號 0FFoU_REQ ( = UnloadRequest)要求卸載PnA表不Loadport被指定為載體之卸載（Act i ve裝置之裝 載）。0N : Loadpoll被指定為載體之卸載 OFF : Loadport未被指定為載體之卸載。由Act i ve裝置以CS_0信號指定Loadport.當VALID二ON 時、Passive 裝置即將本信號 ON。

10、Passive 裝置在載體被完全取走後、即將本信號OFF。TR_REQ ( = TransferRequest)要求 HandoffA=P對Pass i ve裝置要求HandoffoON :已提出Handoff要求。 OFF :未已提出Handoff要求。當BUSY信號OFF時、本信號亦OFF。READY ( = Ready for Transfer)準備 HandoffP=A表示Pass i ve裝置、已從Act i ve裝置收到TR_REQ信 號。ON : Passive裝置已做好Handoff之準備。OFF : Passive裝置尚未做好Handoff之準備。當確認到Act i ve裝置

11、之TR_REQ二ON後.Pass i ve裝置 即將本信號0No當確認到Handoff結束且Act ive裝置 之COMPTON後.Pass i ve裝置即將本信號0FFoBUSY ( = Busy for Transfer)Handoff進行中A=P表示Active裝置、正進行Handoff中。ON :正進行Handoff中。 OFF :非進行Handoff中。Pass ive裝置在READY二ON狀態、可開始進行Handoff 時、Active裝置將使本信號0No Handoff中Passive 裝置不可進行任何物理性動作。當Pass i ve裝置將 L_REQ （或 U_REQ）信號 O

12、FF、結束 Handoff時、Active 裝置即將本信號OFF。（此時、把持裝置需退出至干涉區域之外）COMPT (= Comp 1ete Transfer)Handoff 結束A=P表示Act i ve裝胃已結束Handoff操作。ON :已結束 Handoff。OFF :尚未結束Handoffo 當結束Handoff操作時（Active裝置將BUSY信號 OFF）、Active裝置即將本信號ON。Passive裝置在確 認到READY二OFF後、Active裝置即將本信號OFF。CONT ( = ContinuousHandoff)連續 HandoffA=P表示有連續Handoff。ON

13、 :表示連續Handoff持續中。OFF :無連續 Handoff。當有連續Handoff時、根據最初移載時Passive裝置之 BUSY二ON Act i ve裝置即將本信號ON、根據最後移載時 Passive裝置之BUSY二ON、Active裝置即將本信號 0FFo探OHT系統中、現在不使用本信號。HO.AVBL(=Handoff Available) 可 HandoffP=A表示Pass i ve裝置装置可進行Handoff。 又亦有表不Passive裝置存在某種異常之情形。ON :可配合 Handoff。OFF :存在某種異常無法配合Handoffo 本信號係在開始進行Handoff操

14、作前、向Act i ve裝置 表示Passive裝置之狀態。當Passive裝置正常時、 本信號為ON。當Passive裝置檢測到CS_0信號所指定 之Loadport存在某種異常時、藉由Active裝置將 VALID信號ON或TR_REQ信號ON、Passi ve裝置即將本 信號OFF。又當檢測到該Pass i ve裝置之其他Loadport 有異常時、本信號亦可能OFF。 所謂異常係指無正確地進行載體檢測。Passive裝置一直停留於Manual Mode。 Passive裝置無法配合Handoff之狀態。ES (二 Emergency Stop) 緊急停止PnA係要求緊急停止Act i

15、ve裝置之動作。ON :正常操作OFF :要求緊急停止當Pass i ve裝置判斷為危險狀況時、為立即停止 Handoff而將本信號OFF。所謂危險狀況係指恐傷及資源或製造物時。對作業工程會造成傷害之情形。發生Handoff-Interlock異常之情形。當按下Pass i ve裝置側之ES （或EMO）按鈕 時。通常、Active裝置在VALID ONOFF之間監測本信 號。197 Interlock TimeoutActive 裝置側之Timer (TA二Timer of Active equipment)及 Passive 裝置側之Timer (TP=Timer of Passive e

16、quipment)如表 7.1 及表 7. 2 所示。各Tinier.係以檢測裝載/卸載時Interlock之異常為目的。表7Active裝置所監視之TimerTimer監視Timer之期間範圍（秒）預設值（秒）TAIVALID ON L_REQ ON VALID ON U REQ ON1 - 9992TA2TR REQ ON READY ON1 - 9992TA3COMPT ON READY OFF1 - 9992表7.2 Passive裝置所監視之TimerTimer監視Timer之期間範圍（秒）預設值（秒）TP1L_REQ ON TR_REQ ON U REQ ON TR REQ ON1

17、 - 9992TP2READY ON BUSY ON1 - 9992TP3BUSY ON CARRIER DETECT （卸載移載開始= 至檢測到載體為止）BUSY ON CARRIER REMOVE（裝載移載開始n至取走載體為止）1 - 99960TP4L.REQ OFF BUSY OFF U REQ OFF BUSY OFF1 - 99960TP5READY OFF VALID OFF1 - 99928 通信餅81裝載移載裝載移載時Photo I/O之Timing Chart如圖8.1所示、Active裝置與Passive裝宜間之通信內容如表8.1所示。圖& 1裝載移載時之Timing C

18、hartStep信號名信號方向動作說明CS_0 ONA=P當Act i ve裝置到達要進行裝載移載之Pass i ve裝呂時、即使用CS_O信號來指定 移載對象之LoadportoVALID ONA=P表示可與以CS O信號所指定之Loadport進行通信。U_REQ ONPnA在完成從Passive裝旨之Loadport使POUP卸載（Active裝置進行裝載移載）之 準備時、即將U REQ信號ON。TR.REO ONAnPAct i ve裝鱼對Pass i ve裝宜側要求開始移載。READY ONP=APassive裝直側對Active裝豐表示已完成移載之準備。BUSY ONA=P開始移載

19、。U-REQ OFFP=A當從Loadport上FOUP被完全取走時、Pass i ve裝宜側即將U_REQ信號OFF。BUSY OFFA=P當結束移載操作且脫離與Pass ive裝遗側干涉之區域時、即將BUSY信號OFF。TR_REQ OFFA=P當BUSY信號OFF時、即將本信號OFF。COMPT ONA=P通血Passive裝呂已結束裝載移載。READY OFFPnA當確認到COMPT信號ON後、即將本信號OFF。COMPT 0阡當確認到READY信號OFF後、即將本信號0阡。VALID 0 阡AnP當確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。 此時、即結束Act i ve裝逻oP

20、ass i ve裝直之通信。CS_O OFF當確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。8. 2卸載移載卸載移載時Photo I/O之Timing Chart如圖8.2所示.Active裝宜與Passive裝萱間之通信內容如表8.2所示。圖8.2卸載移載時之Timing Chart信號名信號方向Timingcs_o/VALIDAct i ve裝置 Passive 裝 置:/o，TR.REQ； A(S)BUSY:： / i、!COMPTi n / /READY：；j :i:!: ；1 心仃1):L_REQ_ ;丨 1 : 1 :1111Passive 裝 置 Active 裝置!：:空：:

21、1111U_REQ：!;!I111:11：!：111111 ： 1 ! ! !11H0_AVBL| 1 1 1丨丨b111111:11ES丨i111111TimerActive 裝宣 TimerTAITA2 ATA3Passive 裝置 TimerTP1TP2TP3 TP4 TP5K-動作内容Active裝宜到逹? r一誠體正確地移至罰1 開始通信J .開始卸載移J 1上J,結束移載D 結束诵信表& 2卸載移載時之通信内容Step信號名信號方向動作說明CS_0 ONAnP當Active裝置到達要進行卸載移載之Passive裝置時、即使用CS_O信號來指定 移載對鉴之LoadportoVALID

22、 ONA=P表示可與以CS 0信號所指定之Loadport進行通信。L_REQ ONPnA自完成將FOUP從Pass i ve裝逝之Loadport裝載（Act i ve裝呂進行卸載移載）之 準備時、即將L REQ信號ON。TR.REQ ONA=PAct i ve裝呂對Pass i ve裝逻側要求開始移載。READY ONPnAPass i ve裝遗對Act i ve裝直表示已完成移載準備。BUSY ONA=P開始移載。L_REQ 0阡P=A當FOUPiE確地裝載於Loadport上時、Passive裝逻側即將L_REQ信號OFF。BUSY OFFA=P在結束移載操作且脫離與Pass i ve

23、裝遗側之干涉區域時、即將BUSY信號OFF。TR.REQ OFFA=P當BUSY信號OFF時、即將本信號OFF。COMPT ONA=P通知Passive裝置側已結束卸載移載。READY 0阡PnA當確認到COMPT信號ON後.即將本信號OFF。COMPT 0 阡AnP當確認到READY信號OFF後、即將本信號0阡。VALID OFFAnP當確認到READY信號0阡後、即將本信號0阡。 此時、即結束Active裝宜Passive裝总之通信。CS_0 OFF當確認到READY信號0阡後、即將本信號0阡。9異常檢測以卜-舉例說明OHT系統在Hnndoff中發生異常Z模式。91移載動作開始前之異常1）

24、 OHV雖已到達對象Port、但不開始進行移載而立即通過。原因：裝置尚未完成移載準備（Manual Mode等）或在異常狀態。信號變化：一直處於HO_AVBL=OFF或ES=OFF之狀態（亦可能兩者皆OFF）。信號名信號方向Timingcs_oOHV今裝置VALIDREADY裝置=0HV:1HO.AVBL1111 11 1ES111動作內容fOHV至茴厂冷|於HO.AVBL為OFF J1開始通信J 1故結束通信追記：若該Loadport未經Teaching亦會有同樣現象、而未執行E84 1/F即結束搬送。2）已到達對象Port、雖短暫待機但未開始進行移載即通過。原因：裝置尚未完成移載準備等。或

25、在READY=ON前HO_AVBL=OFFo信號變化：TA1或TA2發生Timeout後、使OHV側之信號全部OFF。（以下之 Timing Chart 中、為在 TA2 Timeout 時。）信號名信號方向TimingCS 0:0 VALID1 -: zTR RFQunvT董宜:#11_1匸匕:; /busy1丨：舄/ iI：17 : IREADY裝置=OHVL_REQU_REQ1 111HO.AVBL1111111ES11111TimerOHV TimerTAITA2裝置TimerTP1動作內容rOHV 到達1 r 等待 READY ON 1L開始通信J I TA2 Timeout Jl結

26、束通信9. 2移載動作中之異常1）在Gripper升降中或開閉中OHV變成異常狀態、而中止移載動作。a） OHV檢測到異常。原 因：在OHV發生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ON=OFF變 化等）。信號變化：使OHV側之信號全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFFob）裝置檢測到異常。原 因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO/在荷Sensor不一致等）。信號變化：H0_AVBL二OFF 或 ES二OFF。（亦有兩者皆OFF之情形、依裝置規格而不同。）信號名信號方向TimingCS.0lVALIDnut/! 2TTR_REQ:A1BUSYREADYU_

27、REQ站 LJ装宜=UHV:! I !：:HO.AVBL；：!L :ESHLT 1o19ITimerOHV TimerTAITA2裝宜Timer動作內容0HVL_REQnH0_AVBL-: ! ： ! :ES丨丨 TimerOHV Timer _ 1 : 1:TAI ；. TA2 !:裝 STimerJ:! TP1 ；! TP2 ： *TP3!*：動作內容OHV到達 j 一jpOUP已正確放呂/ 等待L REQ OnH通信開始 J创載移載開始JL 在Pn上 JL TP3 Timeout J9 3 移載動作後之異常1）結束裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開始移動。原因：裝置側未確認到0HV之移載

28、結束通知。或確認過遲。（COMPT-ON之後、超過指定時間亦未READY二OFF。）U_REQ1iii11HO.AVBL1 11 11 11 11 1ES111111111Ti tYiprOHV TimerTAITA2*TA3*11111U1裝迫TimerTP1TP2TP3 TP4 動作內容fOHV 减l 通信開妒1|r-UP 已不在 PortT待 READY OFF J、JJ l裝載移載開J l上JI TA3Timeout J l畀常結束J299 4 GO信號nOFF變化1）突然異常結束。 原因：Device破損、Sensor光遮斯、外部光之干涉等。信號變化：60信號產生ON=OFF變化、通

29、信中之所有信號皆被Reseto 其後即不再進行通信。探G0信號係用來確認光信號被正確地被接收的信號。 光信號受信時0N 光路遮斷時（非受信時）OFF9. 5異常之復舊 以下說明OHT系統之復舊方法。 收集OHV之Event Log以探尋異常原因。（最好從發生現狀及Log來判斷。） 找出異常模式後再進行復舊作業。OHV之復舊如以下所示。a）自ST停止後到等待READY-ON期間裝置若將HO_AVBL二OFF時、OHV即結束E84程序並自動進行復舊後再開始移動。TA3 Timeout發生後亦進行同樣之處理。（移載中若OFF時、即進行與b 相同之處理。）b）當移載動作中裝置將ES-OFF時、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工復舊作業。（將OHV Ret並進行再入線。）c）若以上述操作仍無法復舊時、由於有可能是Hard/Soft之問題因此須進行OHV及周邊機器之調查。探裝萱之異常