光检基本原则课件

1、 光源光源 目标目标 光学系统光学系统 探测器探测器 2.精度匹配精度匹配 在光电系统的精度设计中，光、机、电各部分的精在光电系统的精度设计中，光、机、电各部分的精 度一般应该和系统总精度相匹配，而系统总精度也应与度一般应该和系统总精度相匹配，而系统总精度也应与 使用要求相适应，无限制的提高系统的总精度不仅对检使用要求相适应，无限制的提高系统的总精度不仅对检 测无益，而且还会导致成本提高，稳定性下降。根据实测无益，而且还会导致成本提高，稳定性下降。根据实 际设计经验，拟出以下几条作为设计时参考：际设计经验，拟出以下几条作为设计时参考： 01. 010 瞄准显微镜瞄准显微镜 M1 M2 悬臂支架

2、悬臂支架 X Y Z a 标准件标准件 被测件被测件 图图1 并联型式并联型式 Y X Z M1 M2 M1 M2 1 标准件轴线标准件轴线 被测件轴线被测件轴线 Y X Z M1 M2 M1 M2 标准件轴线标准件轴线 被测件轴线被测件轴线 1=atg =a(+1/33+2/155+) a (一阶误差一阶误差, 即阿贝误差即阿贝误差) 例例: 令令a=100mm =10 秒化弧度系数秒化弧度系数: =2062652105 则则1=a10/=5m 图图1 窜联型式窜联型式 被测件被测件 标准件标准件 M1 M2 X Y Z C 图图2 串联型式串联型式 M1 . 悬臂支架沿悬臂支架沿X, Y,

3、 Z轴平移轴平移,两个显微镜作同样运动两个显微镜作同样运动,则则 对测量无影响。对测量无影响。(导轨有间隙的情况导轨有间隙的情况) .悬臂支架绕悬臂支架绕X轴转动轴转动, 显微镜离焦显微镜离焦,不影响测量。不影响测量。 . 绕绕Y轴转动轴转动, 对测量有影响对测量有影响 c M2 M1 M2 X Z 2 瞄准瞄准 c M2 M1 M1 Z Y H c2 瞄准瞄准 X O H C工件 M2M1 X Y Z 标准件 瞄准显微镜M1, M2 L全长 R 5 lLR 1 25. 1 200 505 L l L l aa 1 )( 1 102 1 206265 1 1 5 rad 角秒 2 N N 反射

4、镜反射镜 望远镜望远镜 R xi 2 f1 -f2 目镜目镜L2 物镜物镜L1 视场光栏视场光栏 测长机主要组成部分测长机主要组成部分 1.底座底座 2.头座微动装置头座微动装置 3.测量头座组测量头座组 4.万能工作台万能工作台 5.V型支架组型支架组 6.测量尾座测量尾座 5（床身）（床身） 6（毫米刻尺）（毫米刻尺） 4（头架）（头架） 3（读数显微镜）（读数显微镜） 2（光学计）（光学计） 1（被测件）被测件） 7（分米分划板）（分米分划板） 图图2-6 测长机示意图测长机示意图 8（尾架）（尾架） 100200 1000 900 800 l H 1 2 S(透镜焦点透镜焦点) S(透镜透镜2焦点焦点) S 测量轴线测量轴线 刻尺分划面（标准轴线）刻尺分划面（标准轴线） A A 工件长工件长a B D H S S f 0 100 透镜透镜1 透镜透镜2 2 C B mmm l 15. 000015. 0 2 205 102 15 2 2 5 2 2 2 )( l Hf 2 )(2 2 l Hf 2 2 )(