切割裂片基础工艺及技术精选

1、Confidential,報告單位,BEOL BU/SENG/BSPSE,指導主管,林仕農,報,告,人,惠,偉,報告日期,2009,年,2,月,21,日,Prepared,惠偉,康傳華,TFTBG,玻璃切割技術研討會報告,切割裂片基礎工藝及技術研究,Content,切割裂片原理介紹,斷裂機理,切割原理,裂片原理,切割裂片基礎工藝研究,切割條件的選擇,裂片條件的選擇,切割刀輪的選定及使用壽命的評估,刀輪的選擇,切割刀輪使用壽命的評估,鐳射切割技術,鐳射切割原理,鐳射發展現況,Content,切割裂片原理介紹,斷裂機理,切割原理,裂片原理,切割裂片基礎工藝研究,切割條件的選擇,裂片條件的選擇,切割

2、刀輪的選定及使用壽命的評估,刀輪的選擇,切割刀輪使用壽命的評估,鐳射切割技術,鐳射切割原理,鐳射發展現況,斷裂機理,微裂紋理論,Griffith,微裂紋理論,发生脆性變形的材料,在拉出後會自動形成一些微裂紋，而這些微裂紋,的端部正是應力集中的地方,其邻近所贮藏的應变能逐步變成斷裂表面能,而使微裂紋進一步扩展,造成材料強度的降低,更進一步的會導致材料的,斷裂,材料的斷裂分为两个過程,一是微裂紋的產生,二是裂紋的擴展,斷裂過程,切割方式,对于玻璃的微裂紋的产生,有发现玻璃表面结合着极微小的脏粒子,而它和玻璃的,弹性模量或热膨胀性能不同,或者粒子受到腐蚀,裂纹常常就从这些粒子中触发出来,目前切割製程

3、對玻璃斷裂的實現方式,斷裂機理,微裂紋理論,Inglis,微裂紋端部應力集中理論,不论裂紋是圓、椭圓或其他形状,其端部的應力是有裂纹的長度,和,端部曲率半径,决定的,得出关系式如下,当外力较小时,裂紋很快达到理论强度,就使裂紋擴展,使,增长，響應系,数又增大,如此恶性循环,導致材料斷裂,c,2,2,1,m,c,2,1,上式中,是裂紋尖端处的最大應力,是外施的應力,称为應力集中系数,它的大小表明外力施於材料时,裂紋尖端應力增加的倍数,由,和,决定,m,m,c,c,切割原理,在切割时,对刀輪施加一定的切割壓力,使刀輪能在刀座的引導,下在玻璃表面劃出一道连续的劃痕,即切割線,Scribing lin

4、e,目的是为了使玻璃表面產生一定的微裂紋，同時使得產生的微裂紋在外,加壓力的作用下，沿着垂直於玻璃表面的方向擴展,切割線,Scribing line,可以等效认为是由很多的微裂紋组成,每个微裂紋,的長度沿着刀輪切割的方向,由於刀輪在高速旋轉狀態下对玻璃造成的各種破坏現象可以用微裂紋理,论来解释,切割线,切割线等效圖,切割原理,玻璃在切割時,會產生,Median Crack,和,Lateral Crack,Median crack,分斷的必須條件,因為玻璃厚度,製造過程影響,產生的,Median crack,也不一樣,Lateral crack,分斷中,最不需要產生的,卻是無法避免,因作用力與反

5、作用,力,所以必然會產生,切割應使其減小到最低,切割时玻璃的实际状况,median crack,和,lateral crack,不同的刀輪在切割時產生,Median Crack,和,Lateral Crack,的狀況,切割原理,Median crack,的產生,Median crack,的產生,刀輪切入玻璃深度,25um,在玻璃表面產生許多微裂紋,刀輪对與玻璃有擠壓作用,會在刀輪的下方形成深为,510,um,的破坏,区域,由於微裂紋的端部是應力集中的地方,刀輪与玻璃间作用產生的微裂紋,就会沿着玻璃的厚度方向擴展,由於切割壓力的存在，使微裂紋端部的應力增大，裂紋很快達到理论,强度，向玻璃的厚度方

6、向擴展,產生肋紋,Rib Mark,狀,Median crack,Median crack,的產生示意圖,切割原理,Lateral crack,的產生,Lateral crack,的產生,当微裂紋長度大於臨界尺寸後,微裂紋擴展力和释放出的弹性應變能,愈来愈大,微裂紋增殖產生分支,形成更多新表面,並使表面粗糙呈波紋贝壳狀,高低不平,为了能夠吸收更多的弹性應變能,在玻璃表面附近就形成,Lateral,crack,Lateral,crack,的產生示意圖,新形成的表面,在切割完后或裂片製程完后,因为玻璃内部應力的原因，在切割線,周围就会以玻璃屑的形式弹出,裂片原理,通過在玻璃基板的切割線背面施加一定

7、的壓力,使得在切割後在玻璃厚度,方向上形成的,Median crack,擴展到玻璃底部,達到使玻璃分离的目的,由,Griffith,的微裂紋理論可知,玻璃基板在斷裂时,在切割时形成的,Median,crack,下方就会形成一个光滑的镜面区,若切割和裂片的條件合适,玻璃基板裂开后就会形成一个近似垂直于玻璃表面,的光滑的斷面,当裂片时施加的裂片壓力没有完全施加在玻璃的切割線背面时,就会发生裂片,歪斜的狀況,影响,LCD,的品質,严重时还会造成相鄰的,cell,产生報廢,裂片及玻璃斷裂示意圖,裂,片,檯,面,M,e,d,i,a,n,C,r,a,c,k,引,張,應,力,彎,曲,應,力,裂,片,檯,面,

8、局,部,彎,曲,變,形,Scribe line,Break bar,Twist hackle,兩種情況,1.Breaking bar,的安,裝於裂片,stage,不平,行,2.Breaking bar,與,score crack,不重合,Content,切割裂片原理介紹,斷裂機理,切割原理,裂片原理,切割裂片基礎工藝研究,切割條件的選擇,裂片條件的選擇,切割刀輪的選定及使用壽命的評估,刀輪的選擇,切割刀輪使用壽命的評估,鐳射切割技術,鐳射切割原理,鐳射發展現況,切割裂片工藝,切割,裂片的目的,將已加工好的大尺寸的基板分离成为我们所需要的尺寸,以进行后段的液晶灌,注等製程,455mm,365mm

9、,66pcs 2.2,單個,panel,切割,裂片的流程,目前的切割,裂片流程大致分為四種,具體流程的選擇主要依據使用刀輪的種類,玻璃的厚度,產品的品質要求而確定,劃线法是用定壓,定深之刀輪,具有一定宽度且硬度大于玻璃硬度,施以玻璃定量之應力以造成穩定之垂直裂痕,Median crack,切割工藝,切割方向,切割线,切割刀轮,玻璃表面,刀座,切割压力,施加方向,劃線法切割示意圖,劃線法切割斷面,劃线法切割方式,Out-Out (outside) cutting method,ECP : Edge-Crush Process,優點,1,入刀時矯正刀輪的滑行方向,2,下刀時會減小刀軸在垂直方,向受

10、到的衝擊力,缺點,刀輪接觸到玻璃邊緣時,會增加,玻璃屑的產生,改善方法,減小下刀壓力或設為,0,從,而減小刀輪對玻璃邊緣的壓力,適用範圍,適用鑽石和碳化鎢等,normal,刀輪的切割,劃线法是用定壓,定深之刀輪,具有一定宽度且硬度大于玻璃硬度,施以玻璃定量之應力以造成穩定之垂直裂痕,Median crack,切割工藝,切割方向,切割线,劃線法切割示意圖,劃線法切割斷面,優點,1,避免刀輪與玻璃邊緣撞擊產生的玻,璃屑,2,邊緣,dummy,較長,有利於產能提升,缺點,1,小片二次切割剛入刀時容易出現偏移,產,生凸緣,2,刀軸在垂直方向受到較大衝擊力,磨損較,快,改善方法,1,增加刀輪的下刀壓力,

11、減小切割,偏移的距離,2,定義每班開班點檢刀軸,適用範圍,1,適用,penett,刀輪切割,2,中片,layout,混版設計和,stick,切割時適用,劃线法切割方式,IN-IN (inside) cutting method,SDP : Set-Down Process,切割刀轮,玻璃表面,刀座,切割压力,施加方向,切割工藝參數,切割製程中,刀輪在玻璃上形成的破壞主要为,Median crack,和,Lateral crack,當切割完后,在玻璃厚度方向上形成的垂直裂縫,Median crack,足够大,Maximum,在玻璃表面產生的,Lateral crack,足够少,Minimize,

12、為不使,TFT,玻璃在切割完成之後在較短的時間内发生斷裂,傳統刀輪切割,一般选择合適的切割深度为玻璃厚度的,1/10 1/6,Penett,刀輪切割,一般选择合適的切割深度为玻璃厚度的,80% 100,影響切割的幾個主要因素,刀輪的種類、下壓量、切割壓力和,切割速度,由於在切割中,對於切割品质我们在意的是,Median crack,和,Lateral,crack,的狀況,以下就將以實驗的方法討論以上幾個因素对,Median crack,和,Lateral,crack,的影響,切割刀輪對,Median crack,的影響,將切割速度、切割壓力、刀輪下壓量進行確定,使用,125,0,115,0,两

13、种刀輪切,割同一種玻璃,Corning EAGLE2000,並使用顯微鏡对兩種不同刀輪的切割深,度進行量測,紀錄實驗數據,0,30,60,90,120,150,0.06,0.08,0.1,0.12,0.14,0.16,0.18,0.2,0.22,切割压力,MPa,切,割,深,度,m,125,115,切割深度與切割刀輪角度的關係,結論,在同樣的切割條件下,使用角度小的刀輪,其在玻璃表面形成的微裂紋端部的,應力就較大,其形成的微裂紋擴展而成的垂直裂缝的深度,Median crack,就較深,刀輪下壓量對,Median crack,的影響,將切割速度、切割壓力和使用的切割刀輪等條件确定,改變刀輪不同

14、的下壓,量,並使用顯微鏡量測設定的不同下壓量下的切割深度,切割深度與刀輪下壓量的關係,結論,當切割壓力一定的時候,随着刀輪下壓量的增加,刀輪的切割深度也會增加,因此,切割時,我们應選擇較大的下壓量,以獲得較深的切割深度,0,30,60,90,120,150,0.08,0.1,0.12,0.14,0.16,下压量/mm,切,割,深,度,m,切割深度,m,切割壓力對,Median crack,的影響,將切割速度、刀輪下壓量和使用的切割刀輪等條件确定,改變不同的切割壓,力,並量測不同切割壓力下的切割深度,切割深度與切割壓力的關係,結論,對於固定的下壓量,增大切割壓力時,切割深度也會随着增大,另外,選

15、擇切割壓力時,还需要考虑,Lateral crack,的產生情況,0,30,60,90,120,150,0.06,0.08,0.1,0.12,0.14,0.16,0.18,0.2,0.22,切割压力,MPa,切,割,深,度,m,115,切割速度對,Median crack,的影響,在切割壓力和刀輪下壓量一定的條件下,將切割速度由,50mm/sec,改變到,300mm/sec,並用顯微鏡量測切割深度,切割深度與切割速度的關係,結論,切割時,切割速度對於切割深度的影響不大,實際生產中为了保證效率,一般將切割速度設为,200mm/sec300mm/sec,之間,0,20,40,60,80,100,1

16、20,50,100,150,200,250,300,切割速度,mm/sec,切,割,深,度,m,切割深度,m,切割刀輪對,Lateral crack,的影響,選用,125,0,115,0,兩種不同角度的刀輪,在同样的切割條件下对,Corning,EAGLE2000,玻璃進行切割,觀察不同刀輪在玻璃表面產生,Lateral crack,的長,度占總的切割線長度的比率,Lateral crack,出現幾率與刀輪角度的關係,結論,在同樣的切割條件下,角度小的切割刀輪更容易產生,Lateral crack,0,20,40,60,80,100,0.06,0.08,0.1,0.12,0.14,0.16,0

17、.18,0.2,0.22,0.24,切割压力/MPa,l,a,t,e,r,a,l,c,r,a,c,k,l,e,n,g,t,h,s,c,r,i,b,i,n,g,l,i,n,e,l,e,n,g,t,h,125,115,刀輪下壓量對,Lateral crack,的影響,选取,115,0,的鑽石刀輪,將切割速度和切割壓力確定,同樣对,Corning,EAGLE2000,玻璃进行切割,改變切割刀輪的下壓量,觀察下壓量的變化对,Lateral crack,的產生有無影響,結論,改變切割的下壓量對,Lateral crack,出現的幾率没有影响,增大下壓量并不会,使,Lateral crack,惡化，而减少

18、下壓量也不會明顯改善,Lateral crack,出現的狀況,0,0.2,0.4,0.6,0.8,1,0.06,0.08,0.1,0.12,0.14,0.16,下壓量,mm,L,a,t,e,r,a,l,c,r,a,c,k,出,現,幾,率,115,Lateral crack,出現幾率與切割下壓量的關係,切割壓力對,Lateral crack,的影響,從切割刀轮角度對於,Lateral crack,出現幾率的影響,可以明顯看出,對於確定,的刀輪,使,Lateral crack,的出現存在着一個臨界壓力值,從下圖中看出,對於,115,0,的刀輪,其產生,Lateral crack,的臨界壓力值为,0

19、.18MPa,0,20,40,60,80,100,0.06,0.08,0.1,0.12,0.14,0.16,0.18,0.2,0.22,0.24,切割压力/MPa,l,a,t,e,r,a,l,c,r,a,c,k,l,e,n,g,t,h,s,c,r,i,b,i,n,g,l,i,n,e,l,e,n,g,t,h,125,115,經過實驗證明,對於不同角度的刀輪,其出現,Lateral crack,的臨界壓力值分别如,下表所示,不同角度刀輪出現,Lateral crack,的臨界壓力值,結論,切割壓力是影響,Lateral crack,的主要因素,切割速度對,Lateral crack,的影響,將刀輪

20、下壓量和切割壓力確定,使用,115,0,刀輪進行切割,將切割速度由,50mm/sec,改變到,300mm/sec,觀察切割速度的變化对,Lateral crack,的產生,有無影響,Lateral crack,出現幾率與切割速度的關係,結論,切割時,切割速度對於,Lateral crack,的影響不大,實際生產中为了保證效率,一般將切割速度設为,200mm/sec300mm/sec,之間,0.2,0.4,0.6,0.8,1,50,100,150,200,250,300,切割速度/mm/s,L,a,t,e,r,a,l,c,r,a,c,k,出,現,幾,率,115,切割條件的選擇,綜合考慮不同的參數

21、对,Median crack,和,Lateral crack,的影響關係,才能獲,得合適的工藝條件,切割各参数对,Median crack,和,Lateral crack,的影响,为了獲得足夠的切割深度,理論上刀輪的下壓量越大越好,實際生產中,只要保證刀輪能切入玻璃,並在合適的切割壓力下,形成的切割線連續,並且可以避免產生斷片現象,一般选择合適的切割深度为玻璃厚度的,1/10 1/6,實際生產中切割參數的參考值,裂片條件的選擇,使設定的裂片壓力大於材料的斷裂強度,就能達到使玻璃分离,的目的,裂片壓力和裂片,Bar,的下壓量都會影響到裂片的效果,TFT,基板直接受到裂片,Bar,的衝擊，若壓力不

22、當，就會造成电极邊被裂,片,Bar,打掉，造成報廢,根據切割裂片實際的生產經驗,我们確定不同厚度的玻璃,其裂,片條件如下,Remark,裂片,Bar,的下壓量是指理論上裂片,Bar,从位移原點開始能下降的最大距離,在一定程度上會影響到裂片,Bar,對玻璃的擠壓作用,裂片,Bar,停留時間是指当裂片,Bar,和玻璃接觸後，對玻璃產生擠壓作用的時間,對裂片,Bar,停留時間與裂片效果閒的關係並不很清楚，再實際的生產中都設定為,0.3s,Content,切割裂片原理介紹,斷裂機理,切割原理,裂片原理,切割裂片基礎工藝研究,切割條件的選擇,裂片條件的選擇,切割刀輪的選定及使用壽命的評估,刀輪的選擇,切

23、割刀輪使用壽命的評估,鐳射切割技術,鐳射切割原理,鐳射發展現況,刀輪的選擇,切割刀輪概況,整個切割工藝中,最為重要的是直接與玻璃表面接觸的切割刀輪,Scribing wheel,在切割的經驗積累中,使用的切割刀輪也得到了不斷的,改進,刀輪的外觀及物理參數,由切割的方法可知,刀輪的材料硬度應大於玻璃硬度,因此製作刀輪的材,料有超硬合金,Coating diamond,和,Diamond,各種刀輪材料的硬度比較如下,Diamond Coating diamond,超硬合金,切割刀轮示意图,左圖表示了目前,LCD,產業切割用的刀輪的外形,及參數標識。其中,OD,刀輪的外徑,ID,刀輪的內徑,也即刀輪

24、安裝的承載物刀軸的外,徑,Thickness,刀輪的厚度,刀輪的角度,刀輪的分類,真圓刀,normal,刀輪,鋸齒刀,penett/mico penett/APIO,刀輪的選擇,Area contact,With glass,Median Crack,Median Crack,根據鋸齒刀齒的形狀又可以把鋸齒刀分為,“U,形凹槽,penett, micro,penett,和,V,形凹槽,APIO,刀輪,刀輪的壽命與成本,刀輪的選擇,剖面波浪起伏,剖面平整,且有週期節點,刀輪,SEM,與,EDX,分析,刀輪的選擇,Micro Penett,SHINHAN,APIO Type A,APIO Type

25、 C,刀輪表面,Pitch,um,17.47,19,33.65,34.17,刀鋒,凹槽比,1,1.15,3.25,4.88,齒輪深度,um,3.63,2.25,2.72,2.2,EDX,分析,組成成分,C, O, Co, W, Zr,C, O, Co, W, Zr,C, O, Co, W, Zr,Al,C, O, Co, W, Zr,Al,SHINHAN,刀輪在設計上仿照,Micro Penett,經由,EDX,分析得知,APIO,刀輪多出鋁元素,適合切割,STN,材質較軟的玻璃,各種刀輪切割強度對比,資料來源,Corning,真圓刀與,penett,刀輪,實驗面板,corning E2k,T

26、=0.63mm,單板,panel,刀輪的選擇,Penett,刀輪切割強度分布均勻,齒數越多強度越大,鑽石刀輪切割強度分布不均勻,容易出現超低與超高的點,不同的刀輪加工方式對,強度影響比較大,刀輪角度的選擇,刀輪的選擇,Summary,齒數越少切割深度越深,可切割面板的厚度越大,所選用的刀輪角度就應大一些,一般,micro penett,用來切割單板,T=0.4mm,以下的面板,BEOL,依據實際生產狀況,0.4T,面板使用,105,0,X360,齒刀輪,與廠商建議有點差異,3,p,o,in,t b,e,n,d,in,g,1,0,F,a,ilu,re,L,o,a,d,N,0,2,0,4,0,6,

27、0,8,0,1,0,0,1,2,0,0,1,0,0,0,2,0,0,0,3,0,0,0,4,0,0,0,5,0,0,0,S,c,rib,in,g,le,n,g,th,m,1,0,F,a,i,l,u,r,e,L,o,a,d,N,X,D,ir,Y,D,ir,切割刀輪使用壽命的評估,for SEC,Final Grade,S,Strongly,A,Recommended,B,Average,C,Required to improve,F,Prohibited,0,1,0,0,0,2,0,0,0,3,0,0,0,4,0,0,0,5,0,0,0,X,D,i,r,5,7,6,5,6,0,1,6,6,0,1

28、,6,5,8,4,2,5,0,7,5,5,8,5,5,Y,D,i,r,9,8,2,4,9,0,0,6,8,1,9,8,7,5,0,9,6,0,2,1,5,2,5,1,X,G,r,a,d,e,A,A,A,A,B,A,Y,G,r,a,d,e,S,S,A,A,B,C,隨著刀輪的磨耗,bending 10% failure load,有下降趨勢,刀輪長度達到,4000m,時,final grade,未達到客戶,Samsung,的要求,SS spec: final grade=A,Scribe quality monitor by scribing length,L,a,te,ra,l c,ra,c,k

29、,le,n,g,th,V,S,S,c,rib,in,g,le,n,g,th,6,3,8,7,3,5,6,1,3,7,2,5,7,8,3,5,1,9,6,8,3,5,1,8,6,7,8,5,3,6,6,4,9,6,7,2,6,7,8,6,5,9,1,0,0,2,4,6,8,1,0,1,2,0,1,0,0,0,2,0,0,0,3,0,0,0,4,0,0,0,5,0,0,0,6,0,0,0,7,0,0,0,S,c,rib,in,g,le,n,g,th,m,L,a,t,e,r,a,l,c,r,a,c,k,l,e,n,g,t,h,u,m,T,F,T,C,F,T,a,rg,e,t,The relation

30、 between lateral crack and scribing distance,Scribing Pressure(0,0,90,0,0.75/0.75Kgf/cm,2,Scribing Set depth,0.12mm,Scribing Speed(0,0,90,0,150/250mm/s,Scribing Pressure(0,0,90,0,0.80/0.80Kgf/cm,2,Scribing Set depth,0.12mm,Scribing Speed(0,0,90,0,150/250mm/s,Scribing Pressure(0,0,90,0,0.85/0.85Kgf/c

31、m,2,Scribing Set depth,0.12mm,Scribing Speed(0,0,90,0,150/250mm/s,切割刀輪使用壽命的評估,for SEC,實際生產過程中發現，隨著刀輪的磨耗,若保證產品直接完全切開，切割壓力,需要調整,刀輪的磨耗以及切割壓力的增大,surface crack,有逐漸惡化的趨勢,1.77” Scribing quality monitor for 1st 30K,Sampling 40pcs per 1000m,Criteria: bending grade=A , lateral crack 10 um,切割刀輪使用壽命的評估,for SEC,

32、1.77” Scribing quality monitor for 1st 30K,Sampling 40pcs per 1000m,切割刀輪使用壽命的評估,for SEC,依據,SEC,的,bending criteria,當刀輪長度達到,4000m,時，切割品質已經不能滿足客戶要求,為保證產品品質，取刀輪的切割壽命為,3000m,廠商建議為,5000m,Scribe quality monitor by s,cribing length for 1.79 Lobs,ter mas,s,production,8.4,7.2,13.4,8.9,10.6,9.4,6.5,6.5,6.5,6.5

33、,6.5,6.5,6.5,6.5,6.5,6.1,6.5,6.3,142.5,158,149.4,151.6,166,179.6,131.2,154.7,158.7,120,0,40,80,120,160,200,0m,1000m,2000m,3000m,4000m,5000m,6000m,7000m,8000m,0,2,4,6,8,10,12,14,16,隨著刀輪的磨耗,bending shape,值及,strength,值均有減小,刀輪實際切割長度,6000m,時,玻璃,failure load,的均勻性變差,不能滿足,Nokia,的要求,廠商建議此種刀輪的,life time,為,500

34、0m,與實際驗證結果較吻合,Scribe quality monitor by scribing length,刀,輪,長,度,0,m,1,0,0,0,m,2,0,0,0,m,3,0,0,0,m,4,0,0,0,m,5,0,0,0,m,6,0,0,0,m,7,0,0,0,m,8,0,0,0,m,8,4,7,2,1,3,4,8,9,1,0,6,9,4,6,5,6,3,6,1,s,t,r,e,n,g,t,h,1,5,8,7,1,5,4,7,1,3,1,2,1,7,9,6,1,6,6,1,5,1,6,1,4,9,4,1,5,8,1,4,2,5,T,a,r,g,e,t,6,5,6,5,6,5,6,5,

35、6,5,6,5,6,5,6,5,6,5,T,a,r,g,e,t,s,t,r,e,n,g,t,h,1,2,0,1,2,0,1,2,0,1,2,0,1,2,0,1,2,0,1,2,0,1,2,0,1,2,0,切割刀輪使用壽命的評估,for Nokia,The relation between lateral crack and scribing distance,Scribing Pressure(0,0,90,0,0.75/0.75Kgf/cm,2,Scribing Set depth,0.12mm,Scribing Speed(0,0,90,0,150/250mm/s,Scribing Pre

36、ssure(0,0,90,0,0.80/0.80Kgf/cm,2,Scribing Set depth,0.12mm,Scribing Speed(0,0,90,0,150/250mm/s,Scribing Pressure(0,0,90,0,0.85/0.85Kgf/cm,2,Scribing Set depth,0.12mm,Scribing Speed(0,0,90,0,150/250mm/s,L,a,te,ra,l c,ra,c,k,le,n,g,th,V,S,S,c,rib,in,g,d,is,ta,n,c,e,0,2,4,6,8,10,12,0m,1000m,2000m,3000m,4000m,5000m,6000m,7000m,8000m,S,crib,in,g,le,n,g,th,m,L,a,t,e,r,a,l,c,a,r,c,k,l,e,n,g,t,h,u,m,T,F,T,C,F,T,a,rg,e,t,刀,輪,長,度,0,m,1,0,0,0,m,2,0,0,0,m,3,0,0,0,m,4,0,0,0,m,5,0,0,0,m,6,0,0,0,m,7,0,0,0