氩气回收项目计划书

1、技术开发项目计划任务书项目名称氩气回收项目编号立项单位镇江荣德新能源科技有限公司内部订单号1、立项依据（任务来源；项目开发的目的与意义；本项目将达到的技术水平及市场前景）目前氩气供应比较紧张，氩气价格又高。从改善低碳环境的角度出发，氩气回收将成为未来发展中一件很有意义的工作。减少了硅片的制造成本，减少了氩气的排放，循环使用节省了从空气中分离氩气所需的能耗。目前国际上还没有成熟运行的此类项目，德国的专业气体公司和美国MEMC合作在马来西亚工厂在试验。2、开发内容和目标（项目主要内容、目标及关键技术；技术创新之处；主要技术指标或经济指标）与东方气体公司合作，其提供能同时回收三台铸锭炉的氩气回收设备

2、一套；在试验过程中派技术人员到现场服务和调试。我方提供三台铸锭炉的尾气以及必要的电、水和气；并将对回收纯化后的氩气进行采样并送上海测试中心进行分析。并负责管道改造的材料。氩气回收试验装置在荣德公司投入运行30天内，测量分析纯化后的氩气质量。验收标准及方法：序号验收项目验收标准验收方法1油含量0.1mg/m3取样分析2含碳量小于2ppm取样分析3含氧量0.5ppm取样分析4含氮量小于4ppm取样分析5含水量2ppm取样分析6含氢量1ppm取样分析3、开发试验方法及技术路线（或工艺路线）氩气回收装置采用的基本方法、主要能耗、回收标准：3.1 采用物理吸附及化学反应的方法来去除氩气中的杂质。物理吸附

3、，如采用冷冻、过滤、吸附方法。化学反应，根据杂质固有的特性，在催化剂或者吸附剂的作用下，将杂质反应掉，生成一种能被吸附剂吸收掉的物质，从而提纯氩气的纯度。3.2 回收一台铸锭炉电耗为1.5KW。3.3 回收氩气纯度符合新鲜氩的质量标准。符合国家标准GB/T4842-2006 氩气99.999%，H20.5ppm、O21.5ppm,N24ppm,甲烷（总碳）1ppm，水份3ppm。具体见附件4、现有开发条件和工作基础（人才、设施设备条件；已有的预试、小试成果等）铸锭炉排放的氩气采样，送中国上海测试中心（华东国家计量测试中心）监测。研发人员：秦福 （教授级高工、政府特殊津贴） 余刚 （高级工程师）

4、 闫永兵 （工程师） 顾兴升 （高级工程师）已经在试制氩气纯化设备。已经确定了有3台多晶铸锭炉用于回收试验。小试在积极准备中。详细进度见氩气回收计划进度表。5、计划进度项目实施期限： 2011 年 01 月 20 日至 2010 年 06 月 20 日时间进度安排和考核指标2011年度（第一季度）氩气管道改造法案，出具材料、试验辅材表我方采购部相关材料的采购氩气管道改造工程、水、电、气准备，试验辅材准备2011年度（第二季度）设备进厂、管路连接东方气体公司回收试验氩气检测试验评估和改进6、经费预算（参考附录B中的项目经费支出预算表） 单位：千元经费支出预算科 目预算数4月份5月份6月份新产品设

5、计费工艺规程制定费设备调试费10.00020.00020.000用于研究开发的原材料、半成品试制费100.000100.000100.000技术图书资料费1.0002.0001.000中间实验费50.00050.00050.000研究设备及设施折旧额30万元以下一次性进费用的用于研究开发的仪器和设备300.000研究人员工资20.00020.00020.000委托其他单位进行科研试制的费用200.000与技术开发有关的其他费用（检测费）30.00030.00030.000合计711.000222.000221.000总计1154.000项目财务负责人审查确认（签字/日期）：7、主要（大中型）设备清单名称单价数量总价氩气纯化设备1氧含量（一氧化碳、二氧化碳、氧气）在线监测设备1水分在线检测设备1氮气在线监测设备18、主要研究人员情况姓名部门专业职务本项目中承担工作闫永兵技术部应用化学工程师氩气纯化试验、全程进度跟踪，检测和评估秦福技术部高级工程师、教授氩气回用工艺试验。氩气回收方案评估余刚技术部冶金高级工程师氩气回用工艺试验。氩气回收方案评估顾兴升合作单位高级工程师氩气纯化工艺试验项目经费支出