拉晶过程中的注意点.ppt

拉晶操作中注意点 1 热场安装中要注意六角螺丝拧法 石墨垫片 石墨螺丝拧法 反射板两边间隙 测温口位置等 E mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 反射板 JPG2 清扫时注意清扫排气护套 泄气阀 检查石墨中轴螺丝 加热器螺丝 检查籽晶是否破损 剪籽晶时小心弹力过大 等E mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 3 安全阀 JPGE mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 6 主阀 JPG3 装料时注意 不可用手直接接触 检查石英坩埚有无突刺 气泡 黑点 石英砂 液面以下以面接触 液面以上以点接触 4 中炉筒打开不可上下极限升降 连接上炉筒与隔离阀的螺丝一定要拧紧 E mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 8 中炉筒 JPGE mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 9 炉筒螺丝 JPG5 热屏安装与炉盖的间隙有一指厚度6 先开泵再开阀 先关阀再关泵 先开APC10至20度之间时再打开主阀 为了预防回油 7 每炉开炉之前必须确认参数是否正确 6 5inch 8inch BODY起始长度 8 参数不可随意调整 特注意原点位置不可更改 后果 9 子参数等径里的直径参数不可随意调整1mm1762000mm17610 参数保存与读入 自动状态下只可保存不可PLC读入 后果 读入新参数配方必须写入11 B段等径前期必须减温度5 6度12 相机位置 相机参数不可随意更改 需调整找班长E mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 引晶相机 JPGE mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 相机手柄 JPG 13 记录好日期 异常情况 14 空调不可对刚开炉的热场直吹 15 急停 按下急停之后 加热器 氩气 主阀 APC 晶转 埚转 籽晶拉速 埚随都会停止E mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 4 2 紧急停止 bmp16 扭曲file E my 20work 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 扭曲 doc17 指示灯含义18 压力计不可溅水 酒精19 驱动器E mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 5 驱动器 JPG 异常情况 1 无法进入自动a 配方没写b 上炉体 中炉筒限位没感应到c 到籽晶下限位置 D会显示黄色 查找故障简便方法 进入自动 点 开始 看那些是显示红色的 2 等径过程中直径突然变大或变小a 直径有没有改动b 有无埚随报警有到达坩埚限位无坩埚连轴器松c PLC参数有无写入d 相机有无调整 3 初始化 必须取下热屏挂钩 改参数 工序初始化重启改成以 1 中炉筒到下限 上炉筒到下限 关闭位置E mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 1 1限位 JPGE mywork 培训资料 九晶电子桌面截图 注意事项 1 初始化 bmp结束之后参数再改成 0 4 导气等径状况下 首先收尾 冷却4小时边冷却边上升 C R2rpm S R0rpm 升晶棒至上炉筒 关闭隔离阀 改氩气为炉盖进 上炉筒用氩气的旁路在快速充氩 取棒 合炉拧紧螺丝 开