控制软件操作(扩散炉带机械手).doc

DS-300A扩散炉控制软件操作一、系统设置1. 画面2. 各部分功能2.01 温控方式设置2.01.01 根据温控表类型，若是山武的温控表，则选择“SDC串级控制”；若是RKC HA900的温控表，则选择“HA900串级控制”。安装机器时设定 2.01.02 若勾选【启用工艺运行升降温斜率跟踪】，则在勾选此项之后的时间内，可生成温度随时间向设定温度变化的曲线2.01.03 因扩散炉正常使用时所使用的温度在8001050 oC，则在“最大温度设置”中设置1100。安装机器时设定2.02 流量设置12.02.01 【大氮流量计初始化】 将大氮流量计信号初始化。在和流量计连接均正常的时候，点击此按钮，则无论是哪个流量计，均将此流量计的通讯地址初始化为大氮流量计。流量计通讯紊乱时使用 2.02.02 【小氮流量计初始化】 参照上述【大氮流量计初始化】。流量计通讯紊乱时使用 2.02.03 【小氧流量计初始化】 参照上述【大氮流量计初始化】。流量计通讯紊乱时使用 2.02.04 注意事项 2.02.04.01 在N（N=3）个流量计的电源线和通讯线均未断开的情况下，错误点击某个流量计（M流量计）初始化按钮，则将此N个流量计均初始化为M流量计 2.02.04.02 点击工控机上的流量计初始化按钮时只能有其对应的流量计的通讯线接上。当流量计通讯紊乱时，需要将流量计初始化时，先将所有的流量计断电，并将通讯线断开，然后将所有流量计上电，待流量计预热完成（依次亮灯：红-黄-红-黄），然后将某个流量计的通讯线接上，点击工控机上对应的流量计初始化，接着拆掉此流量计的通讯线，接另外一个流量计的通讯线，并点击其对应的流量计初始化按钮，依次类推。当各个流量计分别初始化通讯正常后再将所有流量计的通讯线接上。2.03 舟位置设置 2.03.01 【舟平移起点】 设置推舟的平移原点位置。当推舟处于平移原点位置时，炉口传感器不能检测到有舟（即PLC的X31始终显示有信号输入）。设置“0”。调软着陆时设定 2.03.02 【舟平移终点】 在浆上有石英舟的情况下，当浆进入炉管，且电极头能与石英舟的电极孔接触良好（电极头插入电极孔最长距离）时，推舟距离平移原点的位置。设置在“2060”左右（当浆的安装位置和平移原点位置不同时有偏差）。调软着陆时设定 2.03.03 【舟上升位置】 在浆上有石英舟，且浆能正常进入炉管时，此时推舟距离上下原点的位置。设置在“25”左右（在定位和安装炉管时不能确保所有机器一致，因此会存在偏差）。调软着陆时设定 2.03.04 【舟下降位置】 设置推舟的上下原点位置。设置“0”“0.2”。 调软着陆时设定 2.03.05 【实际舟后位置判断】 在所设置位置上下偏差30mm的范围，如果炉口传感器没有检测到浆上有舟，则认为浆上舟状态有误，禁止继续运动（出片出浆和进片进浆时，认为有拖舟状况） 2.03.06 【复位平移原点】 点击此按钮，则推舟以300的速度从靠近炉口向工控机方向运行，当到达原点光电开关时，停止运动 2.03.07 【复位上下原点】 点击此按钮，则推舟以50的速度从上往下运行，当到达下限位光电开关时，停止运动 2.03.05 注意事项 2.03.05.01 调软着陆时，可以将平移马达和推舟断开，手动将石英舟推入炉管，并同时调节平移行程。 2.03.05.02 【复位平移原点】和【复位上下原点】时，若原点光电开关损坏，则推舟会一直运行，因此，必须将机械限位的限位块安装好。禁止推舟撞到机械限位时电机继续长时间运转，因为长时间运行会导致损坏电机2.04 报警设置 2.04.01 【流量偏差报警】 设定百分比数值N，和流量延时报警配合起作用。当要求的流量和流量计检测到的实际流量的差值超过设定的N，则会出现报警。设置“5”。 2.04.02 【源量使用次数报警】 设定数值N，自动累积的磷源使用次数达到设定值N时，在 的黄灯报警中出现【源瓶工艺过次数（提示）】报警。每次工艺结束，则系统自动将石英管使用次数和磷源使用次数自动加“1” 2.04.03 【炉管使用次数报警】 参照【源量使用次数报警】 2.04.04 【平衡压力偏差】 检测到的炉管内的压力和所设定的压力之间的偏差值不能超过设定的此数值 2.04.05 注意事项 2.04.05.01 当流量偏差报警设置“0”时，默认为关闭“流量偏差报警”，此时，无论要求的流量和流量计检测到的实际流量偏差多大，均无流量偏差报警 2.05 舟初始运动 2.05.01 【舟到平移起点】 使推舟运动到设定的平移原点数值位置处 2.05.02 【舟到平移终点】 参照上述【舟到平移起点】 2.05.03 【舟到上下上位】 参照上述【舟到平移起点】 2.05.04 【舟到上下下位】 参照上述【舟到平移起点】 2.05.05 注意事项 2.05.05.01 使用“舟初始运动”中的操作时，当编码器计数值到达各个设定数值，无论推舟有没有到光电开关检测到的位置，推舟运行均结束2.06 流量设置 2.06.01 【大氮量程】 设置N2流量计的量程。检查气源柜处N2流量计上标注的量程，设置的数值和标注的数值一致。安装机器时设定 2.06.02 【小氮量程】 参照【大氮量程】 2.06.03 【大氧量程】 参照【大氮量程】 2.06.04 【小氧量程】 参照【大氮量程】2.06.05 【恢复流量计流速单位+设置软启动】 2.06.05 【小氮流量积累清零并重新开始累积】 2.06.06 注意事项 2.06.06.01 设置的各个流量计的量程和实际流量计上标注的量程必须一致，否则会出现流量计流量计量不准确的情况 2.07 机械手选择 当勾选【允许脱离上下舟机械手】时，控制软件可作为单独系统运行（相当于不带机械手的扩散炉，此时需要桨上舟检测光电开关均检测到桨上有舟）。使用此功能的情况多为：当机械手故障，需要做工艺时，手动将石英舟放置于桨上 2.08按钮2.08.01 【管理员登陆设置】 用于修改密码2.08.02 【管理员锁】 将屏幕锁定，除运行工艺按钮（Run Select），其余动作均禁止2.08.03 【舟状态确认】 更改当前石英舟在浆上和炉管内的状态2.08.04 【手动弹起按钮】 当某个按钮按下后不弹起时可用2.08.06 【系统设置保存】 保存数据2.08.07 注意事项 2.08.07.01 更改当前石英舟状态（管内是否有舟、浆上是否有舟）时，必须打开炉门确认炉管内是否有舟 2.08.07.02 若一段时间不使用机器，禁止将石英舟放入炉管2.08.07.03 长时间未使用的炉管，在使用之前，必须打开炉门，确认炉管内是否有石英舟2.08.07.04 在 中更改了参数之后，必须点【系统设置保存】，否则，更改的参数不起作用二、手动控制1. 画面2. 各部分功能 2.01 手动设置2.01.01 【温度设置】 工控机上的5个温度设定和5个温控表以及炉体的5个温区是一一对应的（即左手机和右手机在工控机上的5个温度是相反的）2.01.02 【阀门与流量设置】 控制各个气动阀的打开与关闭，和 画面中的【阀门设置】对应 2.01.02.01 【大氮】 勾选此处，则打开【大氮】气动阀。在其下方输入流量，并点击【单项输出】，则可以打开大氮流量计 2.01.02.02 【扩散氮】 参照上述【大氮】 2.01.02.03 【清洗氮】 当向炉管内输入【扩散氮】的同时有相同流量的【清洗氮】送入 2.01.02.04 【大氧】 参照上述【大氮】 2.01.02.05 【小氧】 参照上述【大氮】 2.01.02.06 【吹扫】 勾选此处，则向炉管内送入N2，吹扫管道 2.01.02.07 【开炉门】 打开炉门。勾选此处，PLC的输出端Y10有信号输出到炉门平移开电磁阀，当炉门平移开到位（即PLC的输入端X11有信号输入），PLC的输出端Y12有信号输出到炉门转动开电磁阀 2.01.02.08 【关炉门】 参照上述【开炉门】 2.01.02.09 【平衡氮】 选择是否打开“氮气补气阀”。勾选此处，当炉管内压力低于设置压力时，打开“氮气补气阀”，向炉管内送入氮气，使炉管内压力达到设定压力；当炉管内压力高于设置压力时，关闭“氮气补气阀”，使抽风将检测到的炉管内的压力抽至设定值2.01.03 上下电机设置 2.01.03.01 【速度】 设置推舟上下运行的速度，可设置50（即0.5mm/s） 2.01.03.02 【UD位置】 设置推舟上下运行的位置 2.01.03.03 【电机停止】 手动停止推舟上下运行的动作 2.01.03.04 【上下运行】 手动开始推舟上下运行的动作2.01.04 舟大架移动 2.01.04.01 【速度】 设置推舟平移运行的速度，可设置2800（即28mm/s），若推舟运行稳定（无明显抖动），可以适量的将速度增加 2.01.04.02 【舟位置】 设置推舟平移运行的位置 2.01.04.03 【平移停止】 手动停止推舟平移运行的动作 2.01.04.04 【平移运行】 手动开始推舟平移运行的动作 2.02 手动检测2.02.01 【管内温度检测】 通过内偶检测石英管管内5个温区的温度。2.02.02 【管壁温度检测】 通过炉体上的外偶检测靠近石英管管壁的5个温区的温度。2.02.03 【温度控制选择】 【外控】：依靠外热电偶控制温度；【内控】：依靠内热电偶控制温度2.02.04 【大氮】 显示从大氮流量计流过的气体流量，通过大氮流量计检测2.02.04 【扩散氮】 参照上述【大氮】2.02.05 【清洗氮】 和【扩散氮】流量显示同步，当有扩散氮流量输入时，也有相等流量的【清洗氮】输入。【扩散氮】和【清洗氮】通过同一个流量计输出流量2.02.06 【大氧】 参照上述【大氮】2.02.07 【小氧】 参照上述【大氮】2.02.08 【平衡压力】 依靠“压力传感器”检测到的炉管内的压力2.02.09 【净化风机】 同一台机器，勾选任何炉管的“净化风机”，均可启动净化风机2.02.10 【请求上舟】 送入“上舟”信号到机械手PLC，机械手自动将石英舟放置于桨上。勾选此处的条件：推舟处于“后限位”和“上限位”光电开关处，2个桨上舟检测光电开关均未检测到桨上有舟。机械手执行从片台取舟放到桨上动作的条件：推舟处于“后限位”和“上限位”光电开关处，2个桨上舟检测光电开关均未检测到桨上有石英舟，片台上有“待工艺舟”（系统自动逻辑识别的未做工艺的石英舟），机械手2轴和3轴均处于原点位置，机械手抓手上光电开关均未检测到有舟2.02.11 【请求下舟】 送入“下舟”信号到机械手PLC，机械手自动将桨上的石英舟取下，放置于片台。勾选此处的条件：推舟处于“后限位”光电开关处，2个桨上舟检测光电开关均检测到桨上有舟。机械手执行从桨上取舟放到片台上动作的条件：推舟处于“后限位”光电开关处，2个桨上舟检测光电开关均检测到桨上有石英舟，片台上“无舟”（片台左右检测开关均未检测到有舟：机械手PLC的输入端X46和X47均无信号输入），机械手2轴和3轴均处于原点位置，机械手抓手上光电开关均未检测到有舟2.05 红灯报警2.06.01 【平移驱动器数据错误】 2.06.02 【浆上舟状态异常】 当前舟状态和推舟所处位置不合适。出现此报警时，三色灯上有红灯和蜂鸣器，控制软件上有“红灯”和“”提示。可能原因：1、推舟处于上限位，但编码器计数为“0”，舟状态显示“浆上有舟”（为按下“急停”按钮所致：因按下“急停”按钮后，上下编码器和平移编码器的计数值均清零），此时，可先在 画面的【舟状态确认】中更改当前舟状态，为“管内无舟、浆上无舟”，然后点击【复位上下原点】，再将推舟运行到上限位，最后重新确认石英舟状态“浆上有舟、管内无舟”；2、推舟处于下限位，舟状态显示“浆上有舟”（在浆上有舟的情况下手动操作推舟运行到下限位所致），此时，可先在 画面的【舟状态确认】中更改当前舟状态，为“管内无舟、浆上无舟”，然后将推舟运行到上限位，再重新确认舟状态“浆上有舟、管内无舟”。更换PLC后，需要先将推舟复位上下原点！2.06.03 【温控仪连接障碍】 温控仪和工控机之间的通讯断开。可能原因：1、温控仪和工控机之间的通讯线断开（可检查是否有插头脱落）；2、温控仪参数设置错误（可参照说明检查温控仪参数设置）；3、温控仪损坏（可另换一个温控仪）2.06.04 【平移马达连接障碍】 平移马达和工控机之间的通讯断开。可能原因：1、平移马达和工控机之间的通讯线断开（可检查是否有插头脱落）；2、推舟遮光板挡住平移的极限开关导致平移马达断电；3、按下了“急停”按钮（此时会同时出现【急停报警】）2.06.05 【超温/断偶】 检测到的温度超过设定的温度（此时停止加热）。热偶和温控表之间断开（此时温控表上显示为数值“00000”闪烁）2.06.06 【马达缺相报警】 2.06.07 【PLC连接障碍】 PLC和工控机之间的通讯断开。可能原因：1、PLC和工控机之间的通讯线断开（可检查是否有插头脱落或者松动）；2、检查PLC是否已经打开（即PLC的指拨开关是否指向“RUN”而不是“STOP”）；3、工控机上USB转RS232所显示的COM口是否正确（应为COM5）2.06.08 【上下马达连接障碍】 上下马达和工控机之间的通讯断开。可能原因：1、上下马达和PLC之间的通讯线断开（可检查是否有插头脱落或者松动）；2、PLC和工控机之间的通讯断开（此种情况会出现【PLC连接障碍】报警、【浆上舟状态异常】报警）2.06.09 【急停报警】 按下了“急停”按钮。（此种情况会出现【平移马达连接障碍】报警，平移编码器计数值和上下编码器计数值均清零）2.06.10 【流量偏差报警】 流量计检测到的从流量计流过的气体流量和设置的气体流量两个之差超过 画面中【流量偏差报警】所设置的百分比。可能原因：1、外围送至机器的气体总量减少；2、流量计（或者单向阀）堵塞2.06.11 【流量计连接障碍】 流量计和工控机之间的通讯断开。可能原因：1、流量计和工控机之间的通讯线断开（可检查是否有插头脱落或者松动）；2、流量计通讯地址错误（不止一个流量计通讯线连接好的情况下错误点击某个流量计初始化，或者流量计和所点击的流量计初始化不一致）2.06.12 【CDA低压力报警】 CDA（压缩空气）压力不够。可能原因：1、外围送至机器的压缩空气不够；2、检测压缩空气的“数字流量开关”参数设置错误；3、某处气管脱落 数字流量开关参数设置：长按SET，设置PA，Sor，HyS，no，2.5，Man 按SET，设置P-1为330，H为0042.06.13 【源量低报警】 2.06.17 【炉门异常报警】 当前炉门状态和石英舟状态冲突。推舟未处于平移原点位置时，炉门需处于打开状态2.06 黄灯报警2.06.01 【源瓶工艺过次数（提示）】 系统自加（每次做完工艺，磷源使用次数在原有基础上增加“1”）的磷源使用次数超过 画面中【源量使用次数报警】所设置的数值2.06.02 【石英管过次数（提示）】 参照上述【源瓶工艺过次数（提示）】2.06.03 【进出片进浆-门未打开】 到炉管内放舟（或到炉管内取舟），在规定时间内，系统未检测到炉门打开。可能原因：1、推舟位置不正确（不在平移原点、进舟时不在上下上位、出舟时不在上下下位），禁止打开炉门；2、炉口传感光电开关检测有误（有信号送至PLC的输入端X31），禁止打开炉门；3、炉门打开到位检测开关检测有误（X11或X13）2.06.04 【进片出浆-起始位置未到】 将石英舟放到炉管内，在规定时间内，未检测到推舟到达平移原点（处于上下下位）。可能原因：可能原因：1、进片步（一般为工艺第二步）的时间设置短（可设置300左右）；2、进片步（一般为工艺第二步）中平移速度设置小（可设置2800+）；3、推舟导轨上有杂质，加大推舟运行中的阻力，影响平移速度；4、平移马达程序错误；5、光电检测开关损坏2.06.05 【出片进浆-终点位置未到】 到炉管内取出石英舟，在规定时间内，未检测到推舟到达平移终点（处于上下下位）。可能原因：1、出片步（一般为工艺最后一步）的时间设置短（可设置300左右）；2、出片步（一般为工艺最后一步）中平移速度设置小（可设置2800+）；3、推舟导轨上有杂质，加大推舟运行中的阻力，影响平移速度；4、平移马达程序错误；5、光电检测开关损坏；6、在推舟到达平移终点前，导轨上的限位块卡死推舟2.06.06 【进片进浆-起始位置未到】 到炉管内放石英舟，在规定时间内，未在原点检测到推舟（处于上下上位）。 可能原因：1、将石英舟放到浆上时，放置位置不准确，对推舟有一个轻微的推力，将推舟推离原点；2、光电开关损坏2.06.07 【进出片出浆-门未关闭】 到炉管内放舟（或到炉管内取舟），在规定时间内，未检测到炉门关闭到位。可能原因：1、推舟位置不正确（不在平移原点、进舟时不在上下下位、出舟时不在上下上位），禁止关闭炉门；2、炉口传感光电开关检测有误（有信号送至PLC的输入端X31），禁止关闭炉门；3、炉门关闭到位检测开关检测有误（X12或X14）2.06.08 【出片出浆-起始位置未到】 到管内取石英舟，在规定时间内，未检测到推舟到达平移原点（处于上下上位）。可能原因：参照【进片出浆-起始位置未到】2.06.09 【进片进浆-终点位置未到】 将石英舟放到炉管内，在规定时间内，未检测到推舟到达平移终点（处于上下上位）。可能原因：参照【出片进浆-终点位置未到】2.06.10 【出片进浆-起始位置未到】 到炉管内取石英舟，在规定时间内，未在原点检测到推舟（处于上下下位）。 可能原因：参照【进片进浆-起始位置未到】2.06.11 【时间到-动作未完成等待】 在规定时间内，系统检测到未完成某个动作时出现（伴随需要检测动作执行的黄灯报警出现）。3炉管压力整定 3.01 设置质量流量计参数（见附录B） 3.02 打开炉门，调节Pb值到显示为500 3.02 关闭炉门，根据工艺压力要求设置压力（例如520） 3.03 观察炉管内压力变化，调节排废手动阀门，到检测到的炉管内的压力值和设定值相同4机械手调试5软着陆调试 4.01 输入步进驱动器（上下）程序（见附录D） 4.02 断开推舟和平移电机之间的连接，将平移和上下运行的机械限位的限位块松开 4.03 依靠机械手，将同一台机器的数根桨处于同一条直线上（其偏差不超过2mm）。使推舟处于下限位时，手动将桨推入炉管，需要桨和炉管处于平行位置。如下图所示：5mm石英管SiC桨 4.04 将推舟升至“上限位”（当桨上有石英舟时可以如下图所示情况进入炉管，定此时为“上限位”光电开关的位置，此时 画面的【上下动作检测】中的【位置】所显示数值为 画面中【舟上升位置】的数值），手动将石英舟放到桨上，将石英舟推入炉管。 10mm石英管石英挡板石英舟托SiC桨4.05 将推舟推至“前限位”光电开关处，使推舟运行至上述（4.04）“下限位”光电开关处 4.06 观察石英舟是否平稳的放置，且石英舟在炉管内处于水平位置。若石英舟倾斜放置于炉管内，或未平稳将石英舟放置，则需要再次进行调节 4.07 手动将桨退出炉管，观察是否有擦脚（桨和石英舟的脚有摩擦）或刮舟（桨和石英舟底部有摩擦）现象 4.08 将推舟和平移点击连接，在“工控机”的 画面中操作桨进入炉管内取舟：在 画面的【舟大架移动】中的【速度】设置600，在 画面中设置【舟平移终点】为2100，然后在 画面的【舟大架移动】中的【舟位置】设置2100（对于已运行的机器，若 画面中已设置【舟平移终点】为 M ，则 画面的【舟大架移动】中的【舟位置】也设置为 M ） 4.09 点击 画面的【舟大架移动】中的【平移运行】，当推舟运动到上述（4.06）“前限位”光电开关处时，推舟会停止运动，观察此时 画面的【舟大架动作检测】中的【位置】显示数值N，将此时的N值“+ 2”作为 画面的【舟平移终点】的数值 4.10 在 画面的【上下电机设置】中的【速度】设置50，【UD位置】设置为上述（4.05）所定数值，点击 画面的【上下电机设置】中的【上下运行】，推舟运行到“上限位”光电开关处时推舟会停止运动 4.11 将 画面的【舟大架移动】中的【舟位置】设置“0”，点击 画面的【舟大架移动】中的【平移运行】，当推舟运行到平移原点（“后限位”光电开关处）时，停止平移运动。至此，手动取舟完成（手动放舟为4.09 4.10 4.11 4.12的逆动作） 4.12 注意事项4.12.01 当推舟运行到“前限位”光电开关处时，在 画面的【舟大架检测】中的【位置】显示数值为 X ，在 画面中的【舟平移位置】数值为 Y ，若Y X 5时，系统不会自动从“平移运行”状态转为“平移停止”状态，若在工艺进舟/出舟时，系统不会继续下一步动作4.12.02 上下运行参照上述（4.13.01），其中Y X 0.5时，系统不会自动从“上下运行”状态转换为“电机停止”状态5炉管升温 5.01 检查热偶是否放好且热偶线接好 5.02 检查温控仪参数设置是否正确（具体参数见附录A） 5.03 在工控机上设置温度，检查设置的五个温度和五块温控表上显示的温度是否一一对应5.04 检查炉体上L型铝块上的螺丝是否拧紧 5.05 检查接触器是否完好：在“工控机”旁边的“加热关”灯亮时，测量接触器输出端是否有电压，无电压为正常5.06 在断开炉体加热熔断器（100A熔断器）的情况下，按下“加热开”，观察是否无误（即无跳闸等异常情况），并检查接触器输出的3相电无缺相现象且电压稳定（两两之间电压均为交流380V，同时可检查是否有某相线和零线接错）。因此时处于强电状态作业，因此，必须注意安全、小心操作！ 5.07 按下“加热关”，将炉体加热熔断器接好 5.08 在“工控机”上设置五块温控表的温度（200oC），按下“加热开”，用钳流表测量加热导线上的电流，调节触发板上的电容，当电流达到5060A时即可 5.09 将5块温控表自整定（操作见附录A） 5.10 检查5个温区和5块温控仪是否一一对应。检验方法：观察温控表上用于指示电流的发光二极管亮灯情况（常亮则表示此通道的加热导线中一直有电流，闪烁则表示此通道的加热导线中有断断续续的电流），在“工控机”上将某块温控表温度 + 100，观察与其对应的触发板通道的电流指示灯是否显示常亮 5.11 在“工控机”上将5块温控仪的温度均设置为450oC（因正常做工艺时温度为450oC左右） 5.12 再次将5块温控表自整定 5.13 自整定完成后，炉管升温则完毕三、工艺编辑1. 画面2. 各部分功能 2.01 【使用倍行距】 改变工艺编辑画面中显示的工艺各步的行距大小。第一次打开控制软件，默认行距为“01”，可更改为“02”或“03” 2.02 【选择工艺曲线】 选择当前显示的工艺曲线数据2.02.01 【操作人员代号】 工艺曲线数据所在位置。输入为“007*”，其中，前3位必须为“007”，后3位可以为任何字母和数字的组合2.02.02 【工艺号】 同一个工艺曲线名称中，可以有25条不同的工艺曲线数据 2.03 【插入步】 在当前工艺曲线数据中，增加某一步 2.04 【删除步】 在当前工艺曲线数据中，删除某一步 2.05 【工艺复制】 将某一条工艺曲线数据复制到另一条工艺曲线数据 2.06 【不保存返回】 若工艺曲线数据中更改的数据错误，在未点击【数据保存】前，点【不保存返回】，可使工艺曲线数据还原到更改前的状态 2.07 【数据保存】 将当前工艺数据保存 2.08 注意事项：对于正在运行的工艺，参数只可更改当前步之后各步的参数四、事件记录1 画面用于观察对于系统各部分执行了哪些操作和系统中哪个部分出现问题2【断点信息记录】 工艺运行中途停止时，自动记忆此时状态3【机械手状态信息】3.01 【放片完成】 机械手执行将小车或暂存区上的“待工艺舟”（即系统自动逻辑识别的未做过工艺的石英舟）自动放置于桨上的动作（需要机械手完整的执行：从小车或暂存区取“待工艺舟”，放置于桨上，其间无手动依靠触摸屏操作机械手运行），动作完成后，自动勾选【放片完成】。机械手未自动将石英舟放置于桨上，则无【放片完成】信号，此时，若未勾选 画面中的【允许脱离自动上下舟机械手】，则无法运行工艺3.02 【取片完成】 机械手执行将石英舟自动从桨上放置于小车或暂存区上的动作（需要机械手完整的执行：从桨上将石英舟放置于小车或暂存区上，其间无手动依靠触摸屏操作机械手运行），动作完成后，自动勾选【取片完成】。机械手未自动将石英舟放置于小车或暂存区上，则无【取片完成】信号，此时，若为工艺结束后的机械手自动取舟，则工艺不会自动结束（即工控机上的“Stop Recipe”状态不会自动切换至“Select Run”状态）3.03 【通信正常】 机械手PLC和管体PLC通讯状况3.04 【石英舟前检测】 依靠桨上舟检测光电开关检测到的桨上石英舟状态（靠近炉口，管体PLC的输入端X31）3.05 【石英舟后检测】 依靠桨上舟检测光电开关检测到的桨上石英舟状态（靠近炉口，管体PLC的输入端X32）3.06 【桨上有舟正常】 推舟所处位置和桨上舟检测光电开关检测到的石英舟状态一致：推舟处于“后限位”和“上限位”光电开关处，桨上舟检测光电开关均检测到有石英舟或均未检测到桨上有石英舟；推舟处于“后限位”和“下限位”光电开关处，桨上舟检测光电开关均未检测到桨上有石英舟3.07 【桨上有舟异常】 推舟所处位置和桨上舟检测光电开关检测到的石英舟状态存在逻辑错误：推舟处于“后限位”和“上限位”光电开关处，桨上舟检测光电开关只有一个检测到有舟；推舟处于“后限位”和距离“下限位”光电开关18mm以内处，桨上舟检测至少有一个检测到桨上有石英舟五、系统图况1、 画面 用于观察整个系统状态。2、 画面介绍2120191817161514131211109876 54321【1】 显示温度状况。温度检测值（通过热偶检测）显示在第一行，温度设置值显示在第二行，温度目标值（在做工艺时显示）显示在第三行【2】 冷却水的进出手动阀【3】 推舟平移运行设定值（红色）和推舟平移运行检测值（白色）【4】 推舟上下运行设定值（红色）和推舟上下运行检测值（白色）【5】 管体。中间的数值是系统自动累加的石英管使用次数（每次工艺结束，则数值在原有基础上自动增加“1”），其后的“重置”按钮，则在将石英管清洗安装好后点击【7】 扩散氮气动阀（左边）和清洗氮气动阀（右边）。【8】 大氮气动阀。【9】 氮气补气阀。【10】 小氧气动阀。【11】 炉管压力。【12】 小氮流量计【13】 大氮流量计【14】 小氧流量计【15】 炉门开气动阀（左边）和炉门关气动阀（右边）【16】 小氮手动阀【17】 大氮手动阀【18】 小氧手动阀【19】 压缩空气手动阀【20】 保护氮。当系统断电时，自动打开，向炉管内输入N2【21】 系统计时。【步倒计时】：当前运行工艺的当前步的剩余运行时间，不可更改；【步设定时】：当前运行工艺的当前步的总时间，不可更改；【总倒计时】：当前运行工艺总剩余运行时间，通过更改 画面中“步时间”更改；【总设定时】：当前运行工艺总时间，通过更改 画面中“步时间”更改；【已运行时】：从工艺运行起，当前工艺已运行总时间，不可更改六、温控图况 用于观察温控表和工控机之间的通讯状态和温控表检测到的温度变化七、曲线图况 用于观察温度变化曲线状况八、历史曲线用于查找已运行工艺所记录的数据九、附录附录A：温控仪参数设置 A-1 RKC FB400温控表 A-1-1 按R/S，从“RUN”改为“STOP”（新温控表的出厂设置为“STOP”） A-1-2 按“SET”和“”，进入“F00”，到F21的Inp设置3（热电偶种类），PGSH设置1500，PGSL设置0；到F33的AO设置1，AHS设置1500，ASL设置0；到F41的ESI改为5 A-1-3 将“STOP”改为“RUN” A-1-4 按“SET”+“MODE”，按“SET”，到Pb（当拉恒温有温度偏差时修改），到Add1修改为“1 /（2）/（3）/（4）/（5）”，到bpsi设置9.6，到biti设置8E1（山武），到int1设置5。注意：若bpsi设置19.2，则biti需要设置8O1（brooks） A-1-5 按“SET”2s以上，设置报警温度 A-1-6 按“SET”，可设置温度 A-1-7 按“SET”2s，再按“SET”，将“ATU”设置1（自整定，可自动生成一组PID值） A-2 RKC CH402温控表 A-2-1 同时按“SET”和“”3s以上，进入“Cod”，按“SET”，到SL1设置0001（J型热偶）或设置1000（S型热偶），SL2设置0（单位为oC），SL3设置000（通道1选择），SL6设置0101（逆动作输出） A-2-2 按“SET”+“R/S”，Add设置1 /（2）/（3）/（4）/（5），bps设置3，biT设置1，InT设置5 A-2-3 按“SET”2s，设置报警温度 A-2-4 按“SET”，可设置温度 A-2-5 按“SET”2s，再按“SET”，将“ATU”设置1（自整定，可自动生成一组PID值） A-3 RKC HA900温控表 A-3-1 A/M：自动/手动切换；R/L：远程/本地切换；R/S：运行/停止切换；CH1：内热电偶；CH2：外热电偶 A-3-2 按“SET”3s以上，设置报警温度EV3 A-3-3 人工设置CH1通道的PID参数，参数设置见下表：RKC厂商自整定的PID参数表1（炉尾）表2表3表4表5（炉口）P10.30.50.50.50.411210201011表1（炉尾）表2表3表4表5（炉口）P132125I170240240240240D11560606060 A-3-4 按“SET”+“MODE”， 到Pb（当拉恒温时有温度偏差时修改），Add1设置1 /（2）/（3）/（4）/（5），LCK（密码设置），bps1设置19.2，biT1设置8O1，inT1设置5，1dF设置5，2dF设置5 A-3-5 按“R/S”，将“RUN”改为“STOP” A-3-6 同时按“SET”+“MODE”3s以上，到F10的Spch设置0，dE设置6，dEuT设置100；F11的Fn1设置3，Fn2设置1，Fn3设置1；F21的inp设置3（S型热电偶），UnIT设置0（温度单位oC），PGdP设置1（小数点以下1位），PGSL设置0（输入刻度下限值），PGSH设置1500（输入刻度上限值）；F22设置参照上述F21；F30的LoGC设置5（输出逻辑），OUT4对应EV3（报警温度），ALC1设置01111，RLC2设置00011；F43的ES3设置5（EV3的最大报警值，外热电偶断偶/超温报警），EVA3设置1（输入1事件报警，内热电偶断偶/超温报警OUT1）；F50的Pd设置0（热启动），CAM设置2（输入2的用途），级联控制CAr设置1（级联比率），CAb设置000（通道CH2附加偏置）F51的OS设置1（逆动作）F60的CmpS1设置0（RKC通讯协议），CmpS2设置0 A-3-7 按“SET”，设置SV1和SV2的温度 A-3-8 切换本地控制，升温时即将CH2自整定 A-3-9