已阅读5页，还剩12页未读， 继续免费阅读
版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
1,镀膜机简介,富森钛金 迪通恒业科技 联合出品,2,真空镀膜机的结构,3,蒸发镀膜(法拉第，1857),加热方式： 电阻法 电子束 高频感应,4,5,离子镀膜(麦托克斯,1963),将气体的辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜结合起来 真空蒸发与阴极溅射技术的结合,6,溅射镀膜(1870年),辉光放电是溅射技术的基础。,辉光放电：真空度为10-110-2 Torr，两电极间加高压，产生辉光放电。电流电压之间不是线性关系，不服从欧姆定律。,7,8,蒸发、溅射和离子镀特点比较,9,溅射与蒸镀法的原理及特性比较,10,溅射与蒸镀法的原理及特性比较,11,溅射镀膜的特点总结,相对于真空镀膜，溅射镀膜具有如下特点： 对于任何待镀材料，只要能作成靶材，就可实现溅射； 溅射所获得的薄膜与基片结合较好； 溅射所获得的薄膜纯度好，致密性好； 溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜； 缺点是：沉积速率低，基片会受到等离子体的辐照等作用而产生温升。,12,薄膜溅射法的分类,直流溅射（即二极溅射） 三极、四极溅射 磁控溅射 射频溅射 偏压溅射 反应溅射 中频孪生靶溅射和脉冲溅射,靶材：可以是纯金属、合金以及各种化合物,13,一般溅射方法的两大缺点： 溅射沉积薄膜的速率较低 溅射所需的气压较高，否则放电现象不易维持 两者导致污染几率增加，溅射效率低,磁控溅射方法,解决的办法：磁控溅射,14,磁控溅射,自从20世纪70年代初磁控溅射技术诞生以来，磁控溅射技术在高速率沉积金属、半导体和介电薄膜方面已取得了巨大进步。 与真空蒸发、传统溅射镀膜相比，磁控溅射除了可以在较低压强下得到较高的沉积率以外，它也可以在较低的基片温度下获得高质量薄膜。,15,磁控溅射 磁控溅射的原理示意图,16,磁控溅射的特点： (a) 二次电子以园滚线的形式在靶上循环运动，路程足够长，电子使原子电离的机会增加。 (b) 提高了电离效率，工作气压可降低到10-310-4 Torr，减少了工作气体与溅射原子的散射作用，提高了沉积速率。 (c) 高密度等离子体被电磁场束缚在靶面附近，不与基片接触。这样，电离产生的正离子能有效地轰击靶面；基片又免受等离子体地轰击，制膜过程中温升较小。,有效地解决了直流溅射中基片温升高和溅射速率低两大难题,17,存在的问题： 不能实现强磁性材料的低温高速溅射 用绝缘材料的靶会使基板温度上升 靶子的利用率低(10%-3
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 北信科马原试题及答案
- 自考广告与视觉传播试题及答案
- 2025年家装工程合同样本
- 专科汽修考试试题及答案
- 2025设备采购租赁合同范文合同范本
- 厦门医院招聘事业单位专业技术人员考试真题2024
- 数学中考选择试题及答案
- 保障房提取住房公积金流程
- 2025年版标准门面房租赁合同模板
- 区块链供应链金融信用评估行业深度调研及发展战略咨询报告
- 2025年河南省高校毕业生“三支一扶”招募1100人高频重点模拟试卷提升（共500题附带答案详解）
- 关于“地舒单抗”治疗骨质疏松的认识
- 2025年国家林业局西北林业调查规划设计院招聘4人历年高频重点模拟试卷提升（共500题附带答案详解）
- 桥梁检测报告模板
- 现代护理管理新理念
- 2025年浪潮数字企业技术有限公司招聘笔试参考题库含答案解析
- 《二维纳米材料》课件
- 课时精讲14-物质的聚集状态与晶体的常识(学生版)
- 2025年江西省建材集团有限公司招聘笔试参考题库含答案解析
- 防溺水安全教育主题班会
- 2025年全国普通话水平测试题标准试卷（共三十五套）
评论
0/150
提交评论