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文档简介

天马行空官方博客:/tmxk_docin ;QQ:1318241189;QQ群:175569632範例二 雷射二極體製程能力改善專題 作者簡介: 組員:吳志銘 莊志祥 宋國隆 郭澤綿 一、流程簡介說明 相關製程參數(P)1:CHIP POSITION ON SUB 2:PREHEATING TEMP.TIME TEMPPD POSITION ON HEADER PD SIZESUB. POSITION ON HEADERFORCE POWER TEMP流程順序1.CHIP ON SUB.2.RTA3.PD ON HEADER4.SUB. ON HEADER5.W/B相關品質特性(Q)PUSH FORCE BEAM PATTERNPUSH FORCEImBEAM PATTERNPULL FORCE最重要之QPUSH FORCEPUSH FORCEImBEAM PATTERNPULL FORCE 二、P/Q因果關係圖 P代號Q代號RTA TEMPRTA TIMECHIP POSITIONSUB. POSITIONPD POSITIONPD SIZEBONDIG FORCEBONDING POWERBONDING TIMEPUSH FORCEPULL FORCEBEAM PATTERNIm 密切相關:有相關性: 三、品質(Q)製程能力診斷表 製程:LASER DIODE PACKAGE 數據期間:2/24/983/5/98 品質 特性重要性取樣頻率平均值()標準差()上限下限CpCaCpk安全區管理改善區技術改善區Push Force130 pcs/week195.5675.2692001200.1950.8080.037Pull Force230 pcs/week9.911.0531160.7910.6370.345Im3125PCS/LOT41.384.88220016.7940.5922.757 四、直方圖分析 1.製程:LASER DIODE PACKAGE 2.品質特性:Im 3.直方圖 4. 分析: 近似常態分配型 不屬常態分配型 離島型雙峰型偏態型5.研判:屬於常態分配型,可進行製程能力分析。 五、直方圖分析 1.製程:LASER DIODE PACKAGE 2.品質特性:PUSHFORCE 3.直方圖 4. 分析: 近似常態分配型 不屬常態分配型 離島型雙峰型偏態型5.研判:經分析是屬於偏態型,除進行技術研究外,並擬同時作製程能力分析。 六、直方圖分析 1.製程:LASER DIODE PACKAGE 2.品質特性:PUSHFORCE 3.直方圖 4. 分析: 屬常態分配型 不屬常態分配型 離島型雙峰型偏態型5.研判: 1: 2 pcs (pull force=7.2gf) , 1 pcs (pull force=8.3 gf) 經證實是由chip表面污染導致 pull force 下降。 2:1 pcs (pull force=11.9)經分析是由於金線線徑過大所致(1.3 mil)。 七、製程能力研判與對策 1.品質特性之綜合研判 分類品質特性安全區 管理改善區技術改善區SHEAR FORCEPULL FORCEIm 2.安全區對策 2.1有關製程參數之對策 製程參數標準化愚巧法PD size4 14 1 mil2PD position使 HEADER 凹槽大小與PD大小近似。 2.2有關品質特性之對策 品質特性目前檢驗頻率建議檢驗頻率Im125 pcs/lot125 pcs/lot 3.管理改善區對策 品質特性質對策說明pull force1:加強人員訓練,減少由於 CHIP殘膠,殘蠟及由於OPR 在製造過程中 tray particle造成的CHIP SURFACE CONTAMINATION。 2:利用相關回歸分析找出P與Q的因果關係,將製程平均植往規格中心修正。push force利用相關回歸分析找出P與Q的因果關係,將製程平均植往規格中心修正。 八、結論 1.Im: 根據製程能力分析的結果(Cp=6.794;Ca=0.592)落在製程能力改善方向圖的安全區,我們將PD SIZE&PD POSITION標準化,並使用管制圖加以管制。 2.PULL FORCE: 根據製程能力分析的結果(Cp=0.791;Ca=0.637)落在製程能力改善方向圖的管理改善區,我們將利用相關回歸分析或DOE找出bonding time,temperature,power與PULL FORCE的定量關係,

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