《硅片过程检验培训》PPT课件.ppt

1 硅片过程检验培训 2 目录： 1.引言 2.电池片过程检验标准 3.过程检验作业指导书 3 硅片检验主要分为三类： 1.硅片来料检验 2.电池片生产过程检验 3.电池片出货检验 引言 4 硅片来料检验设备： 引言 5 硅片来料检验设备： 引言 6 硅片来料检验目的： 保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格 品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的 产品提供给生产部门) 引言 7 硅片来料检验主要项目： 1.电学部分： 厚度/电阻率测试 少子寿命测试 引言 8 2.光学部分： 几何尺寸 垂直性 硅片破裂（包括崩边、裂痕、V型缺口） 表面脏污 空洞和隐裂 引言 9 相关硅片实例： 引言 10 电池片生产过程检验目的： 防止过程中出现批次性问题，避免不合格品流入 下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程 均满足规范要求，保证生产的稳定性及规范性， 保证产品效率及成品率。 引言 11 电池片生产主要过程介绍： 引言 12 电池片生产过程检验主要相关设备： 引言 13 主要分为以下几个控制点： 1.前期准备工作检查 2.制绒清洗后； 3.扩散后； 4.等离子刻蚀后； 5.去磷硅玻璃清洗后； 6.PECVD后； 7.丝网烧结后； 8.电池片性能测试分档后。 电池片过程检验标准 14 前期准备工作检查： 设备开机检查，填写巡检记录单； 工艺参数监控：设备各参数达到工艺要求后进行 生产。 电池片过程检验标准 15 各工序关键工艺参数： 制绒清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液浓度， 溶液温度等。 扩散：扩散温度，气体流量等。 等离子刻蚀：射频功率，气体流量等。 电池片过程检验标准 16 去磷硅玻璃：HF溶液浓度等。 PECVD：气体流量，微波源功率，沉积压力，工 艺温度等。 丝网烧结：印刷压力，印刷速度，印刷网板间距 ，印刷方式，烧结各加热区温度等。 电池片过程检验标准 17 制绒清洗后： 制绒后硅片外观：硅片表面制绒均匀，无点状亮 点 硅片称重：清洗前后重量差在0.60.7g 电池片过程检验标准 18 扩散后： 方块电阻：测量范围在405/ 方阻均匀性：均匀性误差不大于5% 电池片过程检验标准 19 等离子刻蚀后： 边缘电阻测量：测量范围在3010k 刻蚀痕迹（目测） 电池片过程检验标准 20 去磷硅玻璃清洗后： 电池片外观：扩散面无明显发暗 扩散面疏水性（目测） 电池片过程检验标准 21 PECVD后： 工艺后外观检测：硅片镀膜面呈均匀蓝色（目测 ） 氮化硅膜的厚度、反射率、折射率 片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性：不大于 5% 电池片过程检验标准 22 丝网烧结后： 印刷重量：正银为0.10 g 0.02 g； 背银为0.12 g 0.02 g； 背铝为0.8 g 0.2 g； 电池片外观：满足成品电池片外观分选标准 要求。 电池片过程检验标准 23 电池片性能测试分档后： 标准片校准 碎片记录 电池片过程检验标准 24 一、目的：防止制程中出现批次性问题， 避免不合格品流入下道工序。 二、范围：适用于产品生产过程有关的工序。 过程检验作业指导书 25 三、职责： 品控员负责对生产过程的监控，对生产工序的巡 查，将遇到的问题反馈给PQC工程师。 PQC工程师负责品控员监督、巡检统计表的汇总 报告，以及协调生产部，工艺部和设备部解决相 关问题。 过程检验作业指导书 26 四、工作内容: 品控员在每班开始生产前完成对各种测试设备的 校准工作，并填写测试设备校准记录单。 品控员每隔一小时检查各工序使用作业指导书 是否正确，操作员是否按照要求进行操作，并 填写巡检记录单。如发现问题需立即告知带 班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。 过程检验作业指导书 27 品控员每隔一小时检查产品流转情况，并填写 巡检记录单。如发现问题需立即告知带班班长 及PQC工程师，不允许擅自处理。 品控员每隔一小时检查各工序使用的设备和工装 是否符合作业指导书和设备操作规程， 并填写巡检记录单。如发现问题需立即告知 带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。 过程检验作业指导书 28 生产过程中有状态变更（包括工艺、设备和操作 人员等）后，品控员需对调整后的前3批产品质量 进行跟踪，并填写巡检记录单。 对于生产过程中不合格的原材料的处理，要填写 原材料异常反馈单，对不合格原材料的使用 情况进行处理并向技术质量部主管反馈。 过程检验作业指导书 29 品控员若发现制造产品过程略有偏离正常状态， 尚未造成质量问题时，应立即口头通知生产部带 班班长和PQC工程师，必要时通知生产部门经理 进行改善，并跟踪改善结果，若三次改善无效， 则填写质量信息反馈单经技术质量部及相关 部门确认后，按确认结果进行处理。 过程检验作业指导书 30 对于现场中出现的质量问题，品控员立即告知 PQC工程师及带班班长，带班班长要立即停产 。QC与生产、工艺人员（必要时请研发人员协 助）共同对事故原因进行分析，要立即发放纠 正与预防措施单，找出发生质量问题的真正原 因，制定纠正预防措施。并同时用电话或邮件通 知技术质量部主管和生产部主管。发现重大异常 立即向技术质量部经理和制造部经理报告。确认 是否造成质量事故，如造成质量事故，根据质 量事故的管理规定执行。 过程检验作业指导书 31 品控员每隔一小时需对各生产工序的成品监控点 进行抽检，并填写相关巡检记录单。 过程检验作业