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文档简介

1、什么是场发射扫描电子显微镜及低真空扫描电子显微镜？有何区别？,PPT作者：马腾,场发射电子显微镜,该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。,场发射扫描电子显微镜是当代扫描电子显微镜更新换代的主流。目前场发射扫描电子显微镜的分辨率已达到0.6nm（加速电压30kV）和2.2nm(加速电压1kV),促使高分辨扫描电子显微镜和低能扫描电子显微镜得到了很大的发展。,S-4800场发射扫描电子显微镜,场发射扫描电子显微镜仪器技术的发展主要在如

2、下几个方面：,进一步提高电子束照明源的工作稳定性，减小其闪烁噪声。 进一步提高在低加速电压下对大试样观察和分析的分辨率。 开拓同低能扫描电子显微术有关功能的新仪器技术。,场发射扫描电子显微镜的新技术,扫描电子显微镜中使用的场发射电子枪，曾采用（310）钨单晶做冷阴极（工作温度为室温）和采用（100）钨单晶做热阴极（工作温度为1800K），但这两种场致发射电子枪的闪烁噪声很大。今年研制出一种以ZrO/W(100)单晶作肖特基式阴极的场致发射电子枪可以保证在1800K的工作温度下电子发射稳定。,发射枪工作示意图,场发射枪扫描电子显微镜既可以进行形貌结构观察。又能进行成分等分析，因此，现在已广泛应用

3、于各个领域的分析测试，特别是在如今的纳米结构研究领域，更是不可缺少的研究工具。,应用范围广,低真空扫描电子显微镜,低真空扫描电镜包括环境扫描电镜（后者缩写为ESEM）。低真高扫描电镜是指其样品室处于低真高状态下，气压可接近3kPa。,低真空扫描电镜成像原理基本上与普通扫描电镜一样，只不过普通扫描电镜样品上的电子由导电层引走；而低真空扫描电镜样品上的电子被样品室内的残余气体离子中和，因而即使样品不导电也不会出现充电现象。,低真空扫描电镜的机械构造除样品室的真空系统和光阑外，也和普通扫描电镜相差无几。,低真空扫描电镜的显著特点,可在气相或液相存在的环境中观察样品，避免干燥损伤和真空损伤。 可连续观察材料反应动力学过程。,因此，低真空扫描电镜除了可以按常规方法观察固体材料表面形貌及结构外，还特别适用于对不经表面处理的含水样品（生物、化学等）及非导体样品（塑料、陶瓷、玻璃、水泥等）的观察与测试。,XL-30-ESEM环境扫描电镜,主要区别,场发射扫描电子显微镜的放大倍数高于低真空扫描电镜 场发射扫描电子显微镜的试样需要进行干燥处理，并消除

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