关于CLEAN ROOM.ppt

1、关于 CLEAN ROOM,制造部,是区分洁净室的等级的基准。 以美联邦规格（FED-STD-209C）作为标准使用， 长、宽、高各为1Feet(30.48cm)体积内的空气中， 包含的一定大小以上的灰尘数。,所谓CLEAN-CLASS?,比0.5大的灰尘会有几个呢？?,1FT=30.48cm,1FT=30.48cm,1FT=30.48cm, CLEAN-ROOM 等级 划分,所谓灰尘（PARTICLE DUST）? 存在于空气或GAS、液体上的固体性物质。 比1 大的称为微粒子（DUST）， 比1 小的称为灰尘（PARTICLE）, 但我们出于便利，通用为灰尘（ PARTICLE ）。,作为

2、我们管理对象的粒子的大小呢？,0.5 粒子太小，用廓大镜都难看到 真是！ 这可怎么找啊？,100 ,？,（0.5 ）,烟雾 （1.0 ）,微细Spray的 最小粒子（1.0 ）,头发 （100）, 清洁管理 4大原则,各位知道我们管理0.5的粒子的理由吗？ 那是因为，第一,对洁净室等级的规格 是按照美联邦规格基准适用的评价基准， 第二，灰尘（PARTICLE）测定方法中， 光散射式记数法粒子基准在0.5的粒子 的评价的信赖性最高 想必各位应该知道吧?,管理0.5的粒子的理由?, AIR-SHOWER 实际去除的灰尘数?,(实验值),去除灰尘的比较,感应器(SENSOR)是为了AIR-SHOWE

3、R自动动作,感应人进入到风淋室的机能。,预滤器(PRE-FILTER)是AIR-SHOWER动作中, 去除从人的身体或衣服上掉下来的大灰尘给 HEPA- FILTER影响的机能。,进入AIR-SHOWER 时,要在有SENSOR地方等待,HEPA-FILTER的寿命在于对PRE-FILTER的管理,HEPA-FILTER的寿命在于PRE-FILTER的管理,预滤器（PRE-FILTER）的清扫方法？ 第一.每周清扫一次. 清扫用真空清扫器去除FILTER上沾上的灰尘. 第二.隔周清扫（2周1次） 中性洗涤（5）与水（95）混合后， 将FILTER浸泡在里面，左右10次、上下10次 晃动之后，在

4、纯水中清洗， 最后在通风良好的地方干燥，清扫 即OK!, AIR-SHOWER(风淋)的机能简述的话！, AIR-SHOWER的目的.！, AIR-SHOWER去除出入洁净室人的衣服上 或身上附着的灰尘 形成洁净室的 AIR LOCK.,(AIR-LOCK)？ 设置出入口两扇门， 不让两扇门同时开起， 来切断空气的机能.,在AIR-SHOWER去除灰尘的效率.？,AIR-SHOWE?,将清净化的强风对人进行吹袭，来去除人身上或衣服上附着的灰尘的洁净室的辅助设备。 风力一般为20M/Sec(初速20M),接近于 B级型台风的风速。,从HEPA-FILTER出来的Air supply的风速 给气流

5、带来怎样的影响?,风速与气流的关系?, HEPA-FILTER （高效微粒空气过滤器）风速差异多发生情况,如上图中，产生向风速弱的地方倾斜的倾向. 这样的现象称为偏流现象。, HEPA-FILTER（高效微粒空气过滤器）风速低的情况时,如上图中，因风速弱，空气向两个壁面的通风口漏出去. 因此DEAD ZONE的空间将变宽。, HEPA-FILTER （高效微粒空气过滤器）风速高的情况时,如上图中，风速冲击到洁净室地面或生产设备产生逆流上升的现象。 洁净室地面以及设备上的异物（灰尘）与气流一同飞散污染洁净室中央。 另外严重发生涡流现象。,风速: 1.5M/S,风速: 1.5M/S,DEAD ZONE,DEAD ZONE,有关风速与气流 器具的风速差异大时， 产生偏流现象， 风速快时，有涡流现象， 风速慢时，污染地方多。 太有难度了！,风速与气流有怎样的关系？,从洁净室地面测定的风速要 选定为0.1M/S20% 程度。,洁净室内通风口的风