标准解读

《YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材》是一项针对溅射工艺中使用的钽靶材制定的标准，由中国有色金属工业协会提出并归口。该标准主要规定了用于薄膜制备过程中的溅射用钽靶材的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。

技术要求部分明确了钽靶材的化学成分、物理性能（如密度）、外观质量及尺寸偏差等具体指标。对于化学成分，标准给出了主要元素钽（Ta）的最低含量要求，并对杂质元素的最大允许量做了限定；物理性能方面，则是对密度设定了下限值；至于外观质量和尺寸偏差，也都有详细的规定以确保产品符合使用需求。

在试验方法章节里，列出了测定上述各项指标所需采用的方法与步骤，包括但不限于取样方式、样品处理、分析仪器的选择及其操作条件设定等内容。这些测试手段旨在为生产厂家提供一套统一且科学合理的评价体系，以便于控制产品质量。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-04-30 颁布
  • 2015-10-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7715099

H63..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T1024—2015

溅射用钽靶材

Tantalumsputteringtargets

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T1024—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位宁夏东方钽业股份有限公司有研亿金新材料有限公司宁波江丰电子材料股份

:、、

有限公司西安方科新材料科技有限公司

、。

本标准主要起草人钟景明李桂鹏汪凯李兆博姚力军熊晓东王莉宿康宁王小青杜铁路

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1024—2015

溅射用钽靶材

1范围

本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求试验方法检验规则及标志包装运输贮存

、、、、、、

质量证明书和订货单或合同内容

()。

本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料通过塑性加工热处理机械加工焊接等方法

,、、、

制造的溅射用钽靶材以下简称钽靶材

()。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T1804

金属材料维氏硬度试验第部分试验方法

GB/T4340.11:

金属平均晶粒度测定方法

GB/T6394

金属板材超声板波探伤方法

GB/T8651

钽铌化学分析方法碳量和硫量的测定

GB/T15076.8

钽铌化学分析方法钽中氮量的测定

GB/T15076.13

钽铌化学分析方法氧量的测定

GB/T15076.14

钽铌化学分析方法氢量的测定

GB/T15076.15

无损检测目视检测总则

GB/T20967—2007

溅射靶材背板结合质量超声波检验方法

YS/T837-

高纯钽化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

YS/T899

3要求

31产品分类

.

钽靶材按纯度分为三个级别

:3N5(99.95%)、4N(99.99%)、4N5(99.995%)。

32化学成分

.

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