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文档简介

1、2020/8/6,LED良率計算說明,製造系統課 吳海舟,2,目錄:, 良率計算類別說明 1、時間類別 2、 物料類別 良率項目計算定義說明,3,良率計算類別說明,1、時間類別 以時間為條件來計算該時間區間內的良率(以2014年為例) 日報:每日8:00:00到次日8:00:00 2014/01/01日良率:2014/01/01 08:00:002014/01/02 08:00:00 週報:每週五8:00:00到下週五8:00:00 2014第一周良率:2014/01/03 08:00:002014/01/10 08:00:00 月報:每月1號8:00:00到次月1號8:00:00 20141

2、月良率:2014/01/01 08:00:002014/02/01 08:00:00 季報: 三個月為一季 半年報: 1月至6月為半年 年報: 1月至12月為一年,4,良率計算類別說明,1、時間類別 日報為每日良率 週報、月報、季報、半年報、年報為累計良率: 每天都會計算,若這三項良率計算的結束日期還未到,計算結果為開始日期到系統當前天的累計良率,5,良率計算類別說明,2、物料類別 將線上產品根據其產出料號類型來分別計算其良率 P P料號在所計算週期內的良率 E E料號在所計算週期內的良率 P+E P+E料號在所計算週期內的良率,6,良率項目計算定義說明,7,良率項目計算定義說明(在某計算時間

3、區間內),1、EPI下線率: 計算時間點:片子入到半成品倉后才納入計算範圍 分子: 入EPI(SEMI倉+QBANK倉)片數 分母: 入EPI(SEMI倉+QBANK倉+DG倉+SCRP倉)片數 說明:分子包含從WIP倉正常入庫的,SAP從別的倉調撥的,轉倉的數量 2、EPI產出良率: 計算時間點:片子入到EPI-WIP倉后納入計算範圍 分子:根據EPI段外觀、量測數據判斷OK的片數 分母:EPI段全部產出片數(即做完入到WIP倉的片數) 說明:產出數量判斷的依據是是否已經做完EPI段,入到WIP倉,8,良率項目計算定義說明(在某計算時間區間內),3、COW入庫良率: 計算時間點:片子入到CO

4、W半成品倉后才納入計算範圍 分子: 入COW(SEMI倉+LifeBANK倉)片數 分母: 入COW(SEMI倉+ LifeBANK倉+DG倉+SCRP倉)片數 說明:分子包含從WIP倉正常入庫的,SAP從別的倉調撥的,轉倉的數量 4、COW產出良率: 計算時間點:片子入到COW-WIP倉后納入計算範圍 分子:根據COW抽測數據判斷OK的片數 分母:COW段全部產出片數(即做完入到WIP倉的片數) 說明:產出數量判斷的依據是是否已經做完COW段,入到WIP倉,9,良率項目計算定義說明(在某計算時間區間內),5、COT入庫良率 計算時間點:片子入到COT半成品倉后才納入計算範圍 分子: 入COT

5、 SEMI倉片數 分母: 入COT(SEMI倉+DG倉+SCRP倉)片數 說明:分子包含從WIP倉正常入庫的,SAP從別的倉調撥的,轉倉的數量 6、全點測掃描良率 計算時間點:上拋完點測資料的wafer納入計算範圍 分子: 所有wafer點測測試顆粒數之和 分母: 所有wafer理論產出顆粒數之和,抓glossdie顆數 說明:wafer測試顆粒數在點測資料內有,10,良率項目計算定義說明(在某計算時間區間內),7、全點套Bin率 計算時間點:wafer轉檔完成后即納入計算範圍 分子: 所有wafer點測后套Bin表符合Bin表規格的顆粒數之和 分母:所有wafer點測測試顆粒數之和 說明:也

6、就是所有wafer點測測試顆粒數之和-落入Bin100的顆粒數之和,這個良率主要看Match Bin的比例 8、Sorter良率 計算時間點:生產批出分類站及納入計算範圍 分子: 出分類站后所有SortPage顆粒數之和 分母:套Bin完後落入Bin表規格的顆粒數之和 說明:可能Sort機在分類過程中有晶粒脫落之類,這個良率主要看Sorter過程中的損失,11,良率項目計算定義說明(在某計算時間區間內),8、PI良率 計算時間點:生產批入COB成品倉及納入計算範圍 分子: 入COB SEMI倉的顆粒數之和 分母:入到所有倉的sortpage在過PI站之前的顆粒數之和 說明:入到所有倉不包括COB-RWK-CHIP倉,此倉位是整片因例外原因而不入SEMI的片子的特定倉別。PI良率主要體現PI站挑出的損失部份和PI過後直接入DG倉的損失。 COB良率:全點測套Bin率*Sorter良率*PI良率 製程總良率:EPI下線率*COW入庫良率*COT入庫良率*COB良率,12,良率項目計算定義說明(在某計算時間區間內),正規率 計算範圍:特定時間區段內COB-FP-CHIP倉的SortPage進行正規率比例計算,13,良率項目計算定義說明(在某計算時間區間內),正規率 計算說明: 良品DG-WLD2=(良品DG-WLD2(447.5450)+(良品DG-WLD2(460462.5)+(

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