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3402Technicalcodeofpracticeforthereuseandtreatmentoffluorine-containingwastewaterI本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件主要起草人:郑建军、王伟、邵家满、徐娇、殷旬旬、王灿、王雨晨、李伟、高1含氟中水回用处理技术规程本文件适用于半导体玻璃面板行业通过氢氟酸蚀刻减薄工艺产生的含氟中水的回收GB18599一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准DB34/4294半导体行业水污染物排含氟中水fluorine-containingwa4.1含氟中水水质24.4未被回用水水质未被回用的含氟中水水质应不低于DB345.1处理流程5.3.1宜采用化学沉淀法除硬度,软化剂选择液碱、纯碱。5.4混凝沉淀5.4.2经软化后的含氟中水先添加聚合氯化铝充分混凝,再加入聚丙烯酰胺充分絮凝后,完成混凝沉35.4.3混凝沉淀后的含氟中水进入除盐5.5.4除去悬浮固体及胶体后的含氟中水进入反5.6压滤再生水水质指标应符合G
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