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文档简介

T/EJCCCSEXXX—20241Glasswafer混酸喷淋蚀刻机本文件规定了glasswafer混酸喷淋蚀刻机（以下简称蚀刻机）的术语和定义、基本要求、技术本文件适用于通过化学反应对12英寸及以下玻璃晶园工件表面进行腐蚀加工的蚀刻机的制造和检GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技3.13.24,1原材料应有产品合格证书并经进厂验收合格后方可入库使用。4.3清洗剂及保养用化学品应与金属、塑料等材料相容。T/EJCCCSEXXX—20242////底盘采用A3钢型材，清洗篮采用NPP板材HF+HCL+H2SO4+纯水蚀刻机安装现场1.5米范围内应配有:T/EJCCCSEXXX—202439正常工作条件a)环境温度：-20℃~40℃;b)环境相对湿度：≤90%；10.1外观质量10.2整机质量T/EJCCCSEXXX—2024410.4安全防护10.5环境安全10.6空载噪声10.7可靠性11.2整机质量11.4安全防护11.5环境安全11.6空载噪声11.7可靠性T/EJCCCSEXXX—20245可靠性用平均无故障工作时间进行评定,平均无故障工作时间按式t＝……………….(1)0一累计工作时间，单位为小时（h412.2组批12.4型式试验a)新产品试制或老产品转厂生产时的定型鉴定时；b)正式生产后，当产品的结构、材料、工艺有较大改变，影响产品性能时；12.4.4型式检验项目全部合格判型T/EJCCCSEXXX—2024613.1.1每台蚀刻机均应在显著位置牢固地b)蚀刻机型号、序列号或制造编号；13.2包装13.2.1包装应符合G

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