T-FJAS 003-2024 湿电子化学品 再生铝蚀刻液

CCSZ00T/FJASwetchemicalsregenerationaluminumEIT/FJAS003—2024 2规范性引用文件 3术语和定义 4技术要求 5试验方法 6检验规则 7标志、包装、运输、贮存 T/FJAS003—2024本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省标准化协会归口。本文件起草单位：福建中融科技有限公司、福建钰融科技有限公司、福建省化工建设工程质量技术服务中心、福建省石油和化工行业协会。本文件主要起草人：林秋玉、崔文涛、陈金亮、郭行然、沈军、赵俊飞、史郭涛、韩永霖、何碧芳、唐宪春、王慧芳、郭伟。1T/FJAS003—2024湿电子化学品再生铝蚀刻液本文件规定了再生铝蚀刻液的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本文件适用于以湿电子化学品行业含铝蚀刻液回收液为原料，经过提纯的铝蚀刻液再生产品(以下简称产品），主要用于显示面板制造行业等。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液配制GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T603化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T9728化学试剂硫酸盐测定通用方法GB/T9729化学试剂氯化物测定通用方法GB15603危险化学品仓库储存通则SJ/T11510液晶显示器用铝腐蚀液SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1湿电子化学品wetchemicals湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节）中使用的各种液体化工材料。3.2铝蚀刻液aluminumetch是指一种利用酸类腐蚀剂刻蚀铝及铝合金金属表面的液体材料，主要成分包括磷酸、硝酸、醋酸、水等。2T/FJAS003—20243.3回收液liquidrecycling主要成分是磷酸﹑硝酸、醋酸、水及少量的金属杂质等。4技术要求产品技术要求应符合表1的规定：表1技术要求磷酸w%醋酸w%硝酸w%注：由供需双方商定，含量允许偏差值满足合同规定。5试验方法5.1一般规定3T/FJAS003—2024本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603之规定制备；除特殊要求外，实验室用水应符合GB/T6682中三级水规格，实验用试剂均为分析纯。5.2纯度测定5.2.1仪器T5自动电位滴定仪；SC-111型铂电极。5.2.2药品四丁基氢氧化铵（TBAOH）10%水溶液（AR氢氧化钠（AR邻苯二甲酸氢钾（工作基准试剂无水乙醇（AR）。5.2.3试剂与样品的配置5.2.3.10.1mol/L的四丁基氢氧化铵标准滴定溶液。5.2.3.2配制：用量简量取26.3mL四丁基氢氧化铵（分析纯），将量简中的溶液用玻璃棒引流转移到1000mL容量瓶中。用适量无水乙醇洗涤量简内壁2次～3次，将洗涤液一并转移到容量瓶中，要用玻璃棒引流、振荡，加无水乙醇定容，先直接加无水乙醇到离刻度线1cm～2cm时改用胶头滴管加无水乙醇至刻度线，改好瓶塞，摇匀即可。5.2.3.3标定：用100mL烧杯称取邻苯二甲酸氢钾，称样完毕后加入无水乙醇溶液少许，将待测样品置于滴定台上，放下电机架，并调节合适的搅拌器速度，使用电位滴定仪进行滴定，根据滴定结果，按下式计算四丁基氢氧化铵标准滴定溶液的浓度，单位mol/L。.................................式中:M--邻苯二甲酸氢钾的质量的准确数值；v1--四丁基氢氧，铵溶液的体积；v2--空白试验四丁基氢氧化铵溶液的体积；M--邻苯二甲酸氢钾的摩尔质量。5.2.3.40.5mol/L氢氧化钠标准滴定溶液。5.2.3.5配制：称取110g氢氧化钠，溶于100mL无二氧化碳水中，摇匀，注入聚乙烯容器中，密闭放置至溶液清亮。用塑料管量取27mL上层清液，用无二氧化碳的水稀释至1000mL摇匀。5.2.3.6标定：称取于105℃~110℃电烘箱中干燥至恒重的工作基准试剂邻苯三甲酸氢钾3.6g，加无二氧化碳的水溶解，加2滴酚酞指示剂（10g/L），用配制好的氢氧化钠溶液滴定至溶液呈粉红色，并保持30s，同时做空白实验。5.2.3.7氢氧化钠标准溶液的浓度，数值以摩尔每升（mol/L）表示，按下式计算：......................................4T/FJAS003—2024式中：m--邻苯二甲酸氢钾的质量的准确数值；v1--氢氧化钠溶液的体积；v2--空白试验氢氧化钠溶液的体积；M--邻苯二甲酸氢钾的摩尔质量。5.3被测样品的制备取被测样品10mL到滴定杯中，加入10mL蒸馏水，每次测定需要同时准备两个相同的被测样品。5.4滴定分析过程滴定过程分为三步，第一步使用TBAOH先测定HNO3；第二步使用Na0H测定HN03和H3P04；第三步使用NaOH测定H2P042+和HAc。5.4.1测定混酸中的硝酸取被测样品10mL，加入蒸馏水10mL，用0.1mol/L的TBAOH通过电位滴定仪滴定混酸中的硝酸，有一个滴定终点（曲线图有六个突跃）:TBAOH+HNO3→NO3+TBN++H20测定混酸中的磷酸和醋酸0.5mo1/Na0H滴定混酸中磷酸和醋酸有两个滴定终点:HNO3+H3P04+20H-→NO3-+H2P04-+2H20H2P04-+HAC+20H-→HPO42-+Ac-+2H205.4.2结果计算硝酸质量百分含量计算式:...........................磷酸质量百分含量计算式：..................醋酸质量百分含量计算式：.....................上述三个计算公式中:C(TBAOH)--四丁基氢氧化铵标准滴定液的浓度；V1--四丁基氢氧化铵标准滴定液的消耗体积数；V2--第一次氢氧化钠标准滴定液消耗体积数；V3--第二次氢氧化钠标准滴定液消耗体积数；M--各物质的摩尔质量；10m1xP--10ml样品的质量。5T/FJAS003—20245.5颗粒的测定按SJ/T11510中5.4规定的方法测定。5.6氯化物按GB/T9729中规定的方法测定。5.7硫酸盐按GB/T9728中规定的方法测定。5.8金属元素的测定按SJ/T11637的规定进行测定。6检验规则6.1产品应由生产厂的质量检验部门进行检验，第4章规定的项目均为出厂检验项目。6.2以同等质量的均匀产品为一批。桶装产品以不大于100t为一批，或以一贮槽、一槽罐的产品量为一批。6.3采样方法按GB/T6680的规定执行，采样单元数应符合GB/T6678的规定。采样量不少于1000mL，混合均匀后，等量分装入两个清洁干燥、密封良好的细口瓶中，瓶上标签应注明产品名称、批号或生产日期、取样地点、取样人姓名、留样日期。一份供检验使用，另一份留样备查。6.4检验结果的判定按照GB/T8170中规定的修约值比较法进行。检验结果中如有一项指标不符合本文件要求时，应重新自两倍数量的包装单元中采样进行复验，重新检验的结果有一项指标不符合文件要求时，则整批产品应做不合格处理。7标志、包装、运输、贮存7.1标志产品包装容器上应有牢固的标志，标明产品名称、生产厂名称、厂址、生产批号、生产日期、净含量、本标准编号以及GB190中规定的“腐蚀品”和“方向标记”标志。7.