《半导体显示用高碱浓度负胶显影液》征求意见稿编制说明

CEMIA团体标准《半导体显示用高碱浓度负胶显影液》（征求意见稿）编制说明工作简况任务来源国内面板行业的崛起，推动国内湿电子化学品需求增长提速。近十年来，湿电子化学品也已成为我国化学工业中一个重要的独立分支和新增长点。虽然国家大力支持新型显示行业的发展，但是湿电子化学品的国产化率还有待提升，目前大多企业还是选择国外湿电子化学品。其原材料国外进口，价格高，在技术封锁和疫情等不确定因素下，有断供风险。而高碱浓度负胶显影液国产化解决了“卡脖子”问题。目前也有许多企业在进行高碱浓度负胶显影液的开发和生产，但是我国还没有高碱浓度负胶显影液的标准给企业的生产和质量的监督带来不便，为了提高产品质量，规范产品检测标准，保障企业生产人员的生命安全，促进行业安全有序发展，需要制定高碱浓度显影液产品行业标准。建立“高碱浓度显影液”团体标准，可以规范行业高碱浓度负胶显影液的生产标准，提高显影液的生产质量，满足湿电子化学品的高要求，加快了新型显示行业的发展进程。2022年9月19日，中国电子材料行业协会下发了《<有机发光二极管显示用有机材料轨道能级测试循环伏安法>等四项团体标准网上公示并公开征集参与单位的公告》（中电材协2022第11号）。下达项目中，福建省佑达环保材料有限公司（以下简称佑达）牵头承担团体标准项目《半导体显示用高碱浓度负胶显影液》，项目计划编号：CEMIA2022-1-03。参与该团体标准制修订工作的单位还有：福州大学、福建华佳彩有限公司。本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。目前已完成工作调研佑达于2022年1月开始收集国内外半导体显示用高碱浓度负胶显影液相关技术资料并进行对比分析，总结佑达长期以来对湿电子化学品，尤其是负胶显影液的实际技术和产品质量状况，了解国内外相关行业技术情况，为制定标准打下了良好基础。标准启动会2022年2月佑达组织本公司相关技术、生产、质量及销售人员召开了本标准的启动会议，标准启动会上相关人员介绍了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的国内外状况、行业发展动向，技术、质量和生产人员介绍了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的产品质量指标及其一般检测方法等。会议最终确定了本标准中编写确定的项目有：产品外观、主要成分、色度、理化性能、颗粒数、阴离子杂质含量和金属杂质含量等。起草标准草案2022年8月，佑达起草了本标准草案，并组织本单位及相关单位技术人员对标准草案进行了讨论。根据市场调研及实际情况分析，会议确定了本标准草案中编写的项目有半导体显示用高碱浓度负胶显影液的产品外观、主要成分、色度、理化性能、颗粒数、阴离子杂质含量和金属杂质含量等共计20余项。进行验证试验本标准工作组收集了行业内若干主要半导体显示用高碱浓度负胶显影液供应商在下游客户端的应用产品，采用本标准中所规定的方法进行该产品所有相关指标的验证。标准讨论稿标准工作组于2022年9月完成标准讨论稿，2022年9月中电材协组织相关技术人员对本标准内部讨论稿进行评审，评审确定本标准规定的范围、产品的具体技术要求及其具体检验方法、产品的检验规则，以及参考的国家标准和行业标准等内容。后续工作计划标准工作组计划于2023年6月完成征求意见稿，2023年7月完成送审稿，2023年8月完成报批稿。标准主要起草人及其所做的工作表1标准工作组姓名单位主要工作组长田博福建省佑达环保材料有限公司组织协调标准工作、起草制定、联络意见征集组员刘小勇福建省佑达环保材料有限公司参与调研、资料收集、讨论、汇总侯琳熙福州大学参与标准调研、讨论和技术支持姚慧君福建华佳彩有限公司参与标准调研、讨论和技术支持肖龙强福州大学参与标准调研、讨论和技术支持黄晓莉福建省佑达环保材料有限公司参与标准调研、讨论和技术支持黄子勗福建华佳彩有限公司参与标准调研、讨论和技术支持房龙翔福建省佑达环保材料有限公司参与标准调研、讨论和技术支持陈泽生福建省佑达环保材料有限公司参与调研和实验验证肖小江福建省佑达环保材料有限公司参与标准调研、讨论和技术支持邱小真福建省佑达环保材料有限公司参与调研和实验验证叶鑫煌福建省佑达环保材料有限公司参与调研和实验验证李丛香福建省佑达环保材料有限公司参与标准调研、讨论和技术支持吴玲玲福建省佑达环保材料有限公司参与调研和实验验证标准编制原则和确定标准主要内容编制原则本标准严格遵照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的有关规定起草。标准主要内容范围（1）本标准规定了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的术语和定义、缩略语、技术要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。术语和定义（2）本文件没有需要界定的术语和定义。缩略语（3）下列缩略语适用于本文件。HDPE：HighDensityPolyethylene，高密度聚乙烯外观及其检验（4.1）半导体显示用高碱浓度负胶显影液的外观将能够从直观角度对产品品质进行初步鉴定，根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定半导体显示用高碱浓度负胶显影液的外观为透明澄清液体，并采用于50mL具塞比色管中，加入样品，在自然光或日光灯下目测的方法进行外观检测。主要化学成分及其检验（4.2）半导体显示用高碱浓度负胶显影液需要达到高纯试剂的基础要求，根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定主要化学成分氢氧化钾的含量应控制在8.38±0.10%的范围内。本标准依据GB/T9725的规定进行检验半导体显示用高碱浓度负胶显影液中氢氧化钾的含量。色度及其检验（4.3）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定半导体显示用高碱浓度负胶显影液的色度应不大于50Hazen单位（Pt-Co色号）。本标准依据GB/T3143检验半导体显示用高碱浓度负胶显影液的色度。颗粒数及其检验（4.4）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定半导体显示用高碱浓度负胶显影液颗粒直径≥0.5μm的颗粒数应不大于100pcs/mL。具体颗粒数的管控指标可由供应商和客户协商决定。本标准依据SJ/T11638检验半导体显示用高碱浓度负胶显影液的颗粒数。阴离子杂质含量及其检验（4.5）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定半导体显示用高碱浓度负胶显影液中碳酸根含量≤50µg/g，氯离子含量≤1.0µg/g。具体阴离子杂质的管控指标可由供应商和客户协商决定。本标准碳酸根的检测方法依据SJ/T11635-2016的规定进行，氯离子的检测方法根据GB/T34672的规定进行。金属杂质含量及其检验（4.6）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定半导体显示用高碱浓度负胶显影液金属杂质含量应不大于1.0μg/g。具体金属杂质的管控指标可由供应商与客户协商决定本标准依据SJ/T11508-2015中5.6的规定检验半导体显示用高碱浓度负胶显影液的金属杂质含量。主要试验（或验证）的分析、综述报告，技术经济论证、预期的经济效果主要试验（或验证）的分析、综述报告本标准各项指标是根据市场供需情况总结出来的，并结合了从行业内各相关企业收集获得的技术资料，完全可以满足半导体显示用高碱浓度负胶显影液的应用要求。主要对半导体显示用高碱浓度负胶显影液的产品外观、主要成分、色度、理化性能、颗粒数、阴离子杂质含量和金属杂质含量等指标进行了试验。收集行业内主要半导体显示用高碱浓度负胶显影液供应商在下游客户端的应用产品，采用本标准中所规定的方法进行该产品所有相关指标的检验结果如下：表2半导体显示用高碱浓度负胶显影液样品的检验结果项目指标#1#2#3#4#5#6#7#8氢氧化钾，ω/（wt%）8.38±0.108.368.378.368.368.408.398.388.37色度/Hazen单位（Pt-Co色号）≤50<50<50<50<50<50<50<50<50颗粒（≥0.5μm）/（pcs/mL）≤1005055306044385243碳酸根（CO32-），ω/（µg/g）≤5013.6517.5414.778.4423.0918.3416.768.26氯离子（Cl-），ω/（µg/g）≤1.00.020.150.090.090.030.050.030.06银（Ag），ω/（µg/g）≤1.00.130.130.110.220.110.190.230.16铝（Al），ω/（µg/g）≤1.00.290.240.170.310.250.190.280.05砷（As），ω/（µg/g）≤1.00.160.020.210.190.280.190.190.29金（Au），ω/（µg/g）≤1.00.130.110.260.020.100.150.130.14硼（B），ω/（µg/g）≤1.00.190.140.110.170.140.130.150.26钡（Ba），ω/（µg/g）≤1.00.190.250.030.100.080.090.150.04铍（Be），ω/（µg/g）≤1.00.130.110.190.110.100.150.180.13铋（Bi），ω/（µg/g）≤1.00.090.170.040.190.150.190.130.18钙（Ca），ω/（µg/g）≤1.00.270.120.220.110.160.140.150.09镉（Cd），ω/（µg/g）≤1.00.120.260.090.110.160.160.040.20钴（Co），ω/（µg/g）≤1.00.130.160.280.220.270.030.200.17铬（Cr），ω/（µg/g）≤1.00.200.350.170.200.240.060.270.17铜（Cu），ω/（µg/g）≤1.00.140.250.100.170.050.240.050.12锑（Sb），ω/（µg/g）≤1.00.280.120.170.220.140.240.240.03铁（Fe），ω/（µg/g）≤1.00.060.190.180.080.200.210.140.21镓（Ga），ω/（µg/g）≤1.00.260.270.150.280.160.100.170.17汞（Hg），ω/（µg/g）≤1.00.140.300.250.060.020.250.250.29铟（In），ω/（µg/g）≤1.00.120.060.020.270.100.260.160.25锂（Li），ω/（µg/g）≤1.00.010.180.200.120.290.220.240.17镁（Mg），ω/（µg/g）≤1.00.100.280.280.230.280.110.260.07锰（Mn），ω/（µg/g）≤1.00.110.050.200.180.280.230.090.30钼（Mo），ω/（µg/g）≤1.00.230.120.090.220.130.070.030.03镍（Ni），ω/（µg/g）≤1.00.140.170.260.260.170.220.210.25铅（Pb），ω/（µg/g）≤1.00.290.250.260.190.270.200.000.28铂（Pt），ω/（µg/g）≤1.00.080.350.160.210.080.230.280.29锡（Sn），ω/（µg/g）≤1.00.270.250.290.280.160.420.130.28锶（Sr），ω/（µg/g）≤1.00.330.020.170.290.260.230.330.34钛（Ti），ω/（µg/g）≤1.00.090.240.280.160.180.140.080.10钒（V），ω/（µg/g）≤1.00.250.150.310.020.200.140.050.21锌（Zn），ω/（µg/g）≤1.00.270.080.170.110.030.250.230.14由表2可知，本标准中的主要指标在行业内产品中处于平均水平，适合于行业内进行推广，并且符合产品在下游产业产线内的应用需求。技术经济论证、预期的经济效果2021年，受益于宅家需求，面向个人电脑等电子产品和服务器的存储器供货出现激增，与此同时，由于缺货涨价带来的销售额也拉高全年销售水位，根据高德纳公司（Gartner）统计，2021年整个半导体市场增长了25.1%，达到5835亿美元，这是销售额首次突破5000亿美元的一年。美国半导体产业协会（SIA）最新数据也显示，在缺芯大背景下，2021年全球共售出1.15万亿颗芯片，全球半导体行业销售额达到创纪录的5559亿美元，同比增长26.2%。汽车级芯片需求增幅最大，销售额比上年增长34%，达264亿美元。随着芯片越来越多地应用到现在和未来的关键技术中，预计未来几年对半导体生产的需求将显著增加。本标准以国内外同类产品的技术资料、产品说明和技术规范为依据，结合国内高碱浓度负胶显影液的研究水平、质量水平和实际的生产情况进行制订，可充分反映当前国内负胶显影液生产企业的技术水平，并能满足行业使用单位的生产要求。同时，可进一步规范负胶显影液产品的技术要求，促进技术进步，推进湿电子化学品产业链的不断完善和发展，提高国内企业