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文档简介

K2001氩中微量氮分析仪简单操作说明K2001Ar中微量N2分析仪用于测量高纯氩气中0~100ppm的杂质氮。该设备用于高纯气体,不许杂质(如O2、CH4、H2、CO、H2O等)进入,若有杂质进入,虽不会损坏电离池,但会临时削弱仪表的精确度和稳定性,这时需通入纯净气体,仪表会恢复正常且通常不用再校验。仪表所有的功能由微处理器板控制,不同的功能通过按不同的键,用菜单选项得到。仪表入口条件温度:10-35℃入口压力:4-28Psi流量范围:75cc/min二、仪表技术指标检测器型号:单光束,电磁感应,等离子池,非线性测量材料;石英,单元素.内部压力不超过10PSIG(69Kpa)量程:X1:0-1ppm分辨率10ppbX10:0-10ppmx分辨率0.1ppmX100:0-100ppm分辨率1ppm精确度:≤1%FS漂移:±1%/天样品气流量要求:25cc~150sccm推荐的校验气:零点气:1.0~2.0ppmN2/Ar量程气:8.0~9.5ppmN2/Ar注意:校验取决于使用的量程。流量精确度:0~200cc时±1%FS最大入口压力:70PSIG(482KPAG)最小入口压力:5PSIG(35.5KPAG)(50cc时)最佳操作压力:5~10PSIG(35.5~69KPAG)操作温度:100C~350C样品气入口的连接:1/8英寸Swagelok接头供电电源:交流电115伏/50-60Hz或交流电220伏/50-60Hz保险丝:2个1A、250V保险丝,F型,尺寸5Х20mm注:若电源输入端电压超过2千伏,由于机器内部变阻器的保护作用,保险丝将会断开功率:最大35瓦响应时间:X10和X100:75cc时T90为20秒X1:75cc时T90为40秒尺寸:标准大小为5.25英寸高,18英寸深,19英寸宽重量:15Kg(33lbs)al系统自检软件零点,终点自动校验系统,免维修数字输出选项:4个数字输出,3个用于指示量程,1个用于仪表的状态指示4-20mA的隔离输出:回路最大负载600Ω(20mADC时)串行口:RS-232工艺参数背景气:液氩压力:64.6KPa(G)温度:94K操作方法1、启动将所有的管线清洁和吹洗后,则可打开仪表后部的电源开关“ON”,显示器显示主菜单.启动时流量的设定为75cc,除非需要快速吹洗,通常流量不需改变.快速吹洗时增加流量到190cc,吹洗设备1~2个小时.注:流量控制阀是微型热控阀,电源打开时阀是冷的,气体流过阀大概需要2分钟,一旦阀变暖,流量将变得稳定.假如设定流量为0cc,一会儿阀将冷却下来.在没有气体通过时不能设置流量高于0cc,否则会烧坏阀,需要替换流量模块.因此,通电前要确认通入了气体.另外通电前再次确认仪表已用高纯氩气吹洗过,这样仪表能较快的投入使用,更重要的是等离子区内不能通入高含量的杂质.吹洗以后,就可以根据需要的响应速度和仪表与样品气源间的距离设定旁通流量计.仪表的流量可回到75cc/m.2、菜单操作说明仪表所有的功能都通过不同的菜单选项控制,下面的图例将介绍所有的菜单功能:电源打开,仪表显示主菜单(MAINMENU).KONTROLANALYTIKK2001TRANCEN2ANALYZERMAINMENUF1:configurationF3:diagnosticF2:calibrationF4:run图1:主菜单主菜单(MAINMENU)如图1所示.下面将详细的介绍每一个菜单和子菜单.(1)组态主菜单中选择F1将进入组态菜单,组态菜单提示您确定3个不同的参数:a您要确定是否使用“自动量程”功能,选择F1“yes”(是),仪表将自动在3个量程内转换(0-1ppm,0-10ppm,0-100ppm),是和否之间的选择通过按F1进行.图2:组态菜单<<CONFIGURATIONMENU>>F3:nxtAutomaticranging?(F1-yes/no):NoSampleflowsetpoint(0-200CC):75AnalogoutputF2(hld/tr):TrackF4:retb确定样品气流速:通过使用数字键可方便的设定需要的样品气流速值,用“E”键确认该值.流速允许的范围为0~200之间,流速单位为cc/min.新输入的值为有效值,流速阀会相应的调整.c模拟输出模式:按“F2”键,4-20mA的输出处于“track”或“hold”模式.Hold模式:当退出测量模式时,输出信号保持.Track模式:在所有模式下输出信号随气体含量的变化而变化.按“F3”键进入组态菜单的第二页.图3:组态菜单第二页<<CONFIGURATIONMENU>>Page2mAfailuremodeF1(high/low/off):HighNootheroptionsavailableF4:retd输出失效模式F1:假如超量程或电离池未工作,可选择4-20mA的输出为:Low(4mA以下可输出),High(高于20mA可输出),选择“Off”则使4-20mA输出反映信号值.按F4退出本图面,如面显示组态菜单的第一页,再按F4将回到主菜单.这是标准组态,若您的仪表有其它的可选功能,相应的菜单会出现(串行口,自动校验,数字I/O等).注:当您选择自动量程时,量程的选择取决于模拟-数字转换值或是ppm值,取决于使用量程的最大值.(2)校验图4为校验菜单,在本节,用户需输入零点气和终点气中N2的ppm值,推荐的零点气为满量程0~20%之间,量程气为满量程的80~95%之间.例如,量程为10ppm时零点气为2.0ppmN2,量程气为8.0ppmN2.校验前读数要稳定.在主菜单,按F2键,仪表将显示校验主菜单,见图4:图4:校验主菜单<<CALIBRATIONMENU>>F1:zeroF2:spanF3:calibrateF4:quit选择F1,F2可以分别输入零点校验气的值和量程校验气的值,见图5,6.图5:输入零点气值时的图面<<CALIBRATIONMENU>>INPUTZEROVALUE:F1:OKACTUELVALUE:VALUEMUSTBEINppm图6:输入量程气值时的图面<<CALIBRATIONMENU>>INPUTSPANVALUE:F1:OKACTUELVALUE:VALUEMUSTBEINppm仪表根据输入的量程气值会自动选择合适的量程.当您输入一个值再按“E”键,微处理机将会检查格式并进行评估,使其生效.当一切就绪,输入的值将会显示在测量区,若值被拒绝接受,输入区将被清除,测量值会保持不变.若输入有误,按enter键重复以上过程.输入零点气值和量程气值后,选择F3键则进入校验子菜单.下图为该子菜单:<<CALIBRATIONFACTORSCALAULATION>>Measure:ppmSampleflow:ccF1:zeroF2:SPANF4:returnCalibrationstatus:图7:校验子菜单显示测量值(ppm)和流量(cc),若仪表是首次使用或更换了校验气,则ppm的显示就毫无意义。为了更好的校验仪表,校验气瓶上的减压阀和所有管线都必须彻底吹洗.零点气通入仪表10分钟后,在键盘上选择“F1”,需对零点值再次确认,选择“YES”(是)将出现“PLEASEWAIT”(请稍等),表明在模拟输出在调整,这则提示视噪音情况停留5~10秒.稍后,将出现“ZERODONE”,此时可通入量程气,10分钟或显示的测量值稳定,在键盘上按“F2”,要求您对量程值再次确认,选择是,会再次出现请稍等字样.当该步骤完成,将显示“SPANDONE”,在屏幕左方会显示量程气的值.然后再次校零,若有必要,再校一次量程.校验过程完成后,按“F4”返回到校验主菜单,再按“F4”将回到主菜单.仪表一旦校验后可工作,但前几天有漂移,因此,多校验几次.。(3)运行仪表大多数时间都处于该种模式,显示如图8.图8:运转模式<<RUNMODE>>Measure:XXXppmSampleflow:XXXccSystemstatus:OKScale:0-1ppmF4:ret该模式显示如下信息:测量值(ppm),流量值(cc),系统状态,使用的量程.4-20mA输出根据使用的量程变化,如果配有数字输出板,可以在远程显示使用的量程.如果选择了自动量程,则量程会根据ppm值变化.如果选择的是手动量程,则必须进行选择,按“1”为0-1ppm,“2”为0-10ppm,“3”为0-100ppm.无论手动还是自动量程,均显示目前使用的量程.样品气的流速总是显示的.一般来说,此值为组态菜单中输入的值.当选择不同的气路或进口气压变化太大时,值可能改变.进口的压力必须稳定,最好介于5~10PSI之间.在运行模式下,您会得到一些状态的信息,通常显示”OK”.下面列举可能会出现的一些信息和它们代表的含义:OK:没问题LOWFLOW:仪表的流量低于20cc时间超过30秒CKS:全部检查,储存器有误,仪表不能正常工作,微处理器有故障或重大错误APS:模拟信号供电不正常DPS:数字信号供电不正常STARTING:等离子发生器升压,开机时会显示很短的时间,也有可能为30~45分钟,这取决于气体的状态和电离池的

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