《半导体键合用铝-1%硅细丝》

1YS/T543—202X半导体键合用铝-1%硅细丝本文件规定了半导体器件键合用铝-1%硅细丝的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书、订货单（或合同）内容。本文件适用于经挤压拉制或连铸连轧拉制的半导体键合用直径不大于0.1000mm的铝-1%硅细丝（以下简称“丝材”）。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3199铝及铝合金加工产品包装、标志、运输、贮存GB/T7999铝及铝合金光电直读发射光谱分析方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T10573有色金属细丝拉伸试验方法GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法GB/T17432变形铝及铝合金化学成分分析取样方法GB/T20975.5铝及铝合金化学分析方法第5部分：硅含量的测定YS/T871纯铝化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4产品分类4.1牌号、状态、尺寸规格丝材的牌号、状态、尺寸规格见表1。需方对规格有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中注明。表1牌号、状态、尺寸规格m2YS/T543—202×4.2标记及示例丝材的标记按产品名称、标准编号、牌号、状态及尺寸规格的顺序表示。标记示例如下：5技术要求5.1化学成分丝材的化学成分应符合表2的规定，需方对其他元素含量有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中注明。表2化学成分%BV~~5.2尺寸偏差5.2.1直径丝材的直径偏差应符合表3的规定。表3直径偏差--5.2.2长度丝材的长度偏差应符合表4的规定。3YS/T543—202X表4长度偏差5.3室温拉伸力学性能丝材的室温拉伸力学性能应符合表5的规定。同批丝材的室温拉伸力学性能波动应符合表6的规定。需方对同批丝材的室温拉伸力学性能波动有其他特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中注明。表5室温拉伸力学性能N断后伸长率A%表6同批丝材的室温拉伸力学性能波动N%4YS/T543—202×5.4外观质量5.4.1丝材表面应洁净，不准许有亮点、划伤、颗粒/异物、划痕/碰伤、氧化、油污缺陷，典型缺陷照片见附录A。5.4.2丝材允许有不影响使用的点状缺陷，缺陷深度应不超过丝材直径允许负偏差值。5.4.3丝材应连续绕在线轴上，每轴丝材应无接头。丝材应缠绕牢固。6试验方法6.1化学成分化学成分分析方法应按GB/T20975.5或GB/T7999或YS/T871规定的方法进行，硅元素含量仲裁分析应按GB/T20975.5规定的方法进行，其他元素仲裁分析应按YS/T871规定的方法进行或由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中注明。6.2尺寸偏差丝材的直径测量按GB/T15077或附录B规定的方法进行，仲裁方法采用GB/T15077规定的方法。6.3室温拉伸力学性能室温拉伸力学性能测定按GB/T10573规定的方法进行，室温拉伸力学性能波动按同批丝材试验结果计算。6.4外观质量外观质量采用放大倍数为20倍的体式显微镜检测。7检验规则7.1检查和验收7.1.1产品由供方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单（或合同）规定，并填写7.1.2需方应对收到的产品按本文件规定进行检验。检验结果与本文件或订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30日内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托双方认可的单位进行，仲裁取样在需方共同进行。7.2组批产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、状态、熔次、尺寸规格的产品组成。每批重量不限，需方有其他特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中规定。7.3计重产品应检斤计重。7.4检验项目每批丝材应进行化学成分、尺寸偏差、室温拉伸力学性能、外观质量的检验。7.5取样取样应符合表7的规定。5YS/T543—202X），），），7.6检验结果的判定7.6.1任一试样的化学成分不合格时，判该批产品不合格。7.6.2任一试样的尺寸偏差不合格时，判该批产品不合格。但允许逐轴检验，合格者交货。7.6.3任一试样的室温拉伸力学性能不合格时，应从该批（或热处理炉）产品中另取双倍数量的试样进行重复试验。重复试验结果全部合格，判该批（或热处理炉）产品合格。若重复试验结果中仍有试样不合格，判该批（或热处理炉）产品不合格。但允许逐轴检验，合格者交货。7.6.4任一轴产品的外观质量不合格时，判该轴产品不合格。8标志、包装、运输、贮存及质量证明书8.1标志8.1.1在丝材线轴侧面使用绿色标识丝材始端，使用红色标识丝材末端。8.1.2在检验合格的丝材外包装上作如下标记：a)供方名称；b)产品名称；c)牌号、状态、尺寸规格；d)批号；e)生产日期（或包装日期）；f)本文件编号。8.2包装、运输、贮存丝材应采用铝箔或塑料袋真空包装后装入纸质包装箱内，其他包装要求应符合GB/T3199的规定。丝材的运输和贮存要求应符合GB/T3199的规定。8.3质量证明书每批丝材应附有产品质量证明书，其上注明以下内容：a)供方名称；b)产品名称；c)牌号、状态、尺寸规格；d)批号；YS/T543—202×e)重量或米数；f)本文件编号；g)各项分析检验结果；h)质检部门的检印；i)包装日期（或出厂日期）。9订货单（或合同）内容订购本文件所列产品的订货单（或合同）内应包括以下内容：a)产品名称；b)牌号、状态、尺寸规格；c)重量（或米数）；d)需方的特殊要求：——特殊的化学成分要求；——特殊的室温拉伸力学性能波动要求；——其他特殊要求；e)本文件编号。7YS/T543—202X附录A丝材的外观典型缺陷示例A.1亮点轴装丝材表面分布不均匀的白点缺陷，见图A.1，可采用20倍~50倍放大镜进行观察。主要产生原因：在拉拔过程中表面残留润滑液和清洗剂，形成与常规丝材表面不同的点状缺陷。图A.1亮点缺陷示例A.2划伤丝材生产过程中，导轮、模具磨损导致丝材表面产生的条状缺陷，见图A.2。可采用20倍~50倍放大镜进行观察。主要产生原因：a）与丝材接触的导轮加工精度不够；b）模具有缺陷。图A.2划伤缺陷示例A.3颗粒/异物丝材表面存在的灰尘、残留介质等杂质，见图A.3。可采用20倍~50倍放大镜进行观察。主要产生原因：YS/T543—202×a）细丝的生产环境存在的尘土、飞絮等介质飘落并附着到丝材的表面；b）拉丝润滑液杂质残余或附着；c）包装材料密封性差，外界杂质污染丝材。图A.3颗粒/异物缺陷示例A.4划痕/碰伤丝材表面受划伤磕碰造成的缺陷，见图A.4。可采用20倍~50倍放大镜进行观察。主要产生原因：在取轴或包装时，由于镊子、指甲、轴盒等硬物接触细丝表面而造成的伤痕。图A.4划痕/碰伤缺陷示例A.5氧化丝材表面受到环境影响而产生的缺陷，见图A.5。可采用20倍~50倍放大镜进行观察。主要产生原因：受储存环境影响，与空气氧化。9YS/T543—202X图A.5氧化缺陷示例A.6油污丝材生产过程中，拉丝润滑油残留而导致的缺陷，见图A.6。主要产生原因：清洗过程中清洗不彻底造成油污残留。图A.6油污缺陷示例YS/T543—202×附录B尺寸偏差测量方法B.1直径B.1.1方法概述通过激光测径仪直接读数获得丝材直径。B.1.2仪器设备激光测径仪，分辨力为0.00001mm。B.1.3试样B.1.3.1用镊子拨开线轴外端的胶。B.1.3.2用镊子夹住外端，轻轻拉出丝，截取500mm或1000mm丝材。B.1.4测试次数平行进行三次测试。B.1.5测试步骤用镊子夹住试样的两端，轻放在激光测径仪的测试位置，读取测径仪上的读数，即为试样直径的测试结果。B.1.6试验数据处理计算3个测试结果平均值，计算结果表示至小数点后四位，数值修约按GB/T8170的规定进行。B.2长度B.2.1方法概述通过丝材总重量和已知长度试样重量的比值，计算出丝材的总长度。B.2.2仪器设备电子天平，感量为0.001mg。B.2.3试样B.2.3.1用镊子拨开线轴外端的胶。B.2.3.2用镊子夹住外端，轻轻拉出丝，截取1000mm丝材。B.2.3测试次数平行进行五次测试。B.2.4测试步骤B.2.4.1在电子天平上称量试样质量G1，精确至0.01mg。B.2.4.2将剩余的丝材从线轴上放下，称量剩余丝材的质量G2，精