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文档简介

半导体洁净车间温湿度控制方案半导体洁净车间温湿度控制方案一、方案概述本方案旨在为半导体洁净车间提供一套科学的温湿度控制方案，以确保车间环境符合半导体生产的要求。方案包括对车间环境参数的监测、调节与维护，以及相应的设备选型与系统设计。二、温湿度控制目标1.温度控制范围：18℃～25℃；2.湿度控制范围：40%～60%；3.温湿度波动范围：±1℃、±5%。三、系统设计（一）环境监测系统1.温度监测：采用铂电阻或热电偶传感器，对车间内各区域的温度进行实时监测。2.湿度监测：采用湿度传感器，对车间内各区域的湿度进行实时监测。3.数据采集与处理：将监测到的温湿度数据传输至中央控制单元，并进行处理与存储。（二）调节系统1.温度调节：采用空气调节器（空调），通过调节送风量和温度，实现对车间内温度的控制。2.湿度调节：采用加湿器或除湿器，通过调节湿度，实现对车间内湿度的控制。（三）维护系统1.设备维护：定期对空调、加湿器、除湿器等设备进行检查与保养，确保设备正常运行。2.系统维护：定期检查监测系统和调节系统，确保系统数据准确，调节功能正常。四、设备选型（一）温度监测设备1.传感器：铂电阻或热电偶传感器，分辨率达到±0.1℃，响应时间≤5秒。2.数据采集器：具备RS485通讯接口，可同时接入多个温度传感器，实现多点温度监测。（二）湿度监测设备1.传感器：电容式湿度传感器，分辨率达到±1%，响应时间≤5秒。2.数据采集器：具备RS485通讯接口，可同时接入多个湿度传感器，实现多点湿度监测。（三）温度调节设备1.空气调节器：单台最大制冷量≥200kW，适用于大面积车间。2.送风机：单台最大风量≥20000m³/h，适用于大面积车间。（四）湿度调节设备1.加湿器：单台最大加湿量≥200kg/h，适用于大面积车间。2.除湿器：单台最大除湿量≥200kg/h，适用于大面积车间。五、实施步骤1.现场调研：了解车间环境、生产需求，确定温湿度控制方案。2.设备选型：根据方案要求，选择合适的监测、调节设备。3.系统安装：将监测、调节设备安装于车间内，并连接通讯线路。4.系统调试：对系统进行调试，确保监测、调节功能正常。5.系统运行：定期对系统进行维护，确保车间环境稳定。六、效益分析1.提高产品质量：稳定的温湿度环境有助于提高半导体产品的良率。2.降低能耗：合理的温湿度控制方案可降低空调、加湿器等设备的能耗。3.保障生产安全：稳定的温湿度环境有助于保障生产人员的

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