科研仪器设备采购项目招投标书范本

千里马招标网中国招投标行业门户网站年中国科学院物理研究所科研仪器设备采购项目（第三批）招标文件第二册（专用册）招标编号：OITC-G东方国际招标有限责任公司中国·北京年月第五部分投标邀请

第五部分投标邀请日期：年月日东方国际招标有限责任公司受中国科学院物理研究所委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对年中国科学院物理研究所科研仪器设备采购项目（第三批）进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。项目名称：年中国科学院物理研究所科研仪器设备采购项目（第三批）招标编号：OITC-G项目联系方式：项目联系人：于峰项目联系电话：-电子邮箱：fyu@采购人联系方式：采购单位：中国科学院物理研究所地址：北京中关村南三街号联系方式：-代理机构联系方式：代理机构：东方国际招标有限责任公司代理机构联系人：于峰-代理机构地址：北京市海淀区西三环北路甲号院科技园号楼层室一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：包号货物名称数量（台/套）是否允许采购进口产品采购预算（万元人民币）聚焦离子束/电子束双束电子显微镜是无液氦型T超导磁体是大口径超低温恒温器系统及样品杆是干式T低温光学专用超导磁体（含低温恒温器）是干式T低温光学专用超导磁体（含英寸和英寸光学测量插杆）是氦气压缩氦液化装置是高压氦气储气装置否分子束外延系统是投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。投标人的资格要求：符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求”；在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；按本投标邀请的规定获取招标文件；本项目不接受联合体投标；投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。三、招标文件的发售时间及地点等：预算金额：万元（人民币）时间：年月日:至年月日:(双休日及法定节假日除外)地点：；北京市海淀区西三环北路甲号院科技园号楼层室招标文件售价：￥.元，本公告包含的招标文件售价总和招标文件获取方式：登录东方在线注册并购买。四、投标截止时间：年月日:五、开标时间：年月日:六、开标地点：北京理工国际教育交流大厦三层第五会议室（北京市海淀区北三环西路号）七、其它补充事宜、投标文件递交地点：北京理工国际教育交流大厦三层第五会议室（北京市海淀区北三环西路号）、招标文件采用网上电子发售购买方式：）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。开户名称：东方国际招标有限责任公司开户行：招商银行北京西三环支行账号：、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。、公告期限：个工作日八、采购项目需要落实的政府采购政策：（）政府采购促进中小企业发展（）政府采购支持监狱企业发展（）政府采购促进残疾人就业（）政府采购鼓励采购节能环保产品

第六部分投标人须知资料表

第六部分投标人须知资料表本表是对招标文件第一册“投标人须知”的具体补充和修改，如与招标文件各部分内容有差异，应以本资料表为准。条款号内容.招标人：中国科学院物理研究所招标采购代理机构：东方国际招标有限责任公司.合格的投标人资格：）符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求”；）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；）按本投标邀请的规定获取招标文件；）本项目不接受联合体投标；）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。（注）.接收质疑函的方式、联系部门、联系电话和通讯地址：接收方式：传真或电子邮件或邮寄联系部门：招标部联系电话：--传真：-电子邮箱：fyu@通讯地址：北京市海淀区西三环北路甲号院科技园号楼层室.投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，否则其投标将被拒绝。评标、授标以包为单位。.投标人须以“技术需求逐条应答表（格式见附件）”逐条说明所提供货物和相关服务已对招标文件的技术规格做出了实质性的响应或申明与技术规格条文的正负偏离。*.本次招标是否接受进口产品情况详见投标邀请..进口产品与服务报CIP指定到货港美元、欧元、英镑、日元或人民币价（不含关税、增值税）；..国产产品与服务报项目现场交货人民币价。报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费。..上述价格的构成须按在分项报价表中格式要求详细列出。.投标保证金金额：各包采购预算金额的.%。投标保证金形式：电汇、银行保函或中国投资担保有限公司出具的担保函。()投标保函有效期应同投标有效期；如投标保证金采用银行保函形式，则必须采用本章所附的“投标保证金的银行保函格式”中的条款及格式，否则投标被拒绝（“投标保证金的银行保函格式”详见附件）；投标人应承担投标保函开具、递交、退还、通知及核印等产生的一切相关银行费用。()使用电汇形式的，投标保证金必须从境内银行账户转出，且在投标截止时间前汇到招标代理机构账户，否则投标被拒绝：投标人应于投标截止期前将全额投标保证金转入下述指定账号,并应将“投标保证金电汇凭证/投标保函”单独密封，在投标时与“投标一览表”同时递交。开户名（全称）：东方国际招标有限责任公司开户银行：招商银行北京西三环支行帐号：注：须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）.投标有效期：天*.投标文件：正本：份副本：份电子版：份。（正本投标文件的扫描件，PDF格式，与纸质版一致）.投标无效的情形：（）投标人未提交投标保证金或形式不符或金额不足的；（）投标有效期不足的；（）未按照招标文件规定要求密封、签署、盖章的；（）未提供法定代表人授权书的；（）未提供制造商授权书的(进口货物适用)；（）投标人有违法违纪行为，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的，或在过去三年中有重大的质量、信誉等问题；（）投标文件中提供虚假或失实资料的；（）投标报价超过采购预算的；（）投标人以明显低于成本价的价格恶意参与投标的；（）招标文件中明确规定不接受进口产品参加投标的，投标人提供进口产品的；（）不符合法律、法规和招标文件中*号条款规定的。...投标人需就整个包进行响应，不完整的投标将被拒绝。..投标报价不得超出采购预算（即最高限价），否则投标将被拒绝。投标报价如为外币，按以下公式换算为人民币，换算后的人民币价格若高于采购预算，投标将被拒绝：换算后人民币价格=投标报价（外币）×汇率说明：汇率为开标时中国银行公布的外币对人民币的现汇卖出价.评标方法：综合评价打分法具体评分标准详见附表。.确定中标候选人的原则为：按综合评价得分排名确定.如中标产品为国产产品，中标人即为国内合同卖方如中标产品为进口产品，中标人应授权产品国外厂商或国外厂商指定的境外公司作为外贸合同卖方.履约保证金：不适用.中标商在收到中标通知书后日内，须向采购人代理支付中标服务费：、中标服务费支付给采购人的招标采购代理，即东方国际招标有限责任公司，收取标准为国家计委招标代理服务费暂行标准[]号文件中规定的货物采购收费比率，具体比率为：中标金额（人民币万元

比率以下.%-.%-.%-.%注：中标服务费按差额定率累进法计算。注：）信用信息查询渠道：“信用中国”网站（）、中国政府采购网（）等。

）信用信息查询截止时点：同投标截止期，即查询投标人截止到投标截止期的信用信息记录。

）信用信息查询记录和证据留存的具体方式：信用信息查询记录将以网站截图打印稿形式与其他采购文件一并保存。

）信用信息的使用规则：如投标人为“信用中国”网站（）中列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单的供应商，或为中国政府采购网（）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商，则其投标将被拒绝。

附表：评分标准本次评标采用综合评分法，即指在最大限度地满足招标文件实质性要求的前提下，按照招标文件中规定的各项因素进行综合评审后，以评标总得分最高的投标人作为中标候选供应商或中标供应商的评标方法，满分为分，详细评分标准如下：第包评分项目评分细则分值价格部分（分）根据《财政部关于加强政府采购货物和服务项目价格评审管理的通知》的规定，本次价格评分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算：价格评分=（评标基准价/投标报价）×商务部分（分）、商务条款应答响应情况商务条款应答有负偏离得分，商务条款应答无偏离或正偏离得分、投标人的相关业绩（每提供一个在投标截止日起近年内相同产品项目合同案例加分，最高不超过分，案例以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明）技术部分（分）、技术指标条款响应情况技术指标评审基准分为分，评委根据技术指标的偏离情况进行评审；标记为“*”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝；标记为“#”的指标是重要技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；无标记的指标是一般技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。注：投标人在响应技术条款时，应提供制造商公开发布的印刷资料（彩页或Datasheet）或检测机构出具的检测报告，若制造商公开发布的印刷资料与检测机构出具的检测报告不一致，以检测机构出具的检测报告为准。如果投标人不提供印刷资料或检测报告；印刷资料或检测报告出现与技术规格响应不一致；或无法体现投标人技术规格响应的情况时，评标委员会有权不予以认可。投标人对标记为星号（“*”）的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商公开发布的印刷资料或检测机构出具的检测报告为准，凡不提供技术支持资料的，视为不满足招标文件要求，其投标予以拒绝。售后及技术支持服务方案不满足招标文件要求的得分；基本满足招标文件要求的得分；完全满足和优于招标文件要求的分培训方案不满足招标文件要求的得分；基本满足招标文件要求的得分；完全满足和优于招标文件要求的分其他(分)投标人所投设备获得相关节能、环保认证情况：（）节能产品：投标产品列入了财政部最新公布的节能产品政府采购清单，得分；否则分。（）环保产品：投标产品列入了财政部最新公布的环境标志产品政府采购清单，得分；否则分。投标人需提供清单相关页、对应产品型号，否则不予承认。-、包：评分项目评分细则分值价格部分（分）根据《财政部关于加强政府采购货物和服务项目价格评审管理的通知》的规定，本次价格评分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算：价格评分=（评标基准价/投标报价）×商务部分（分）、商务条款应答响应情况商务条款应答有负偏离得分，商务条款应答无偏离或正偏离得分、投标人的相关业绩（每提供一个在投标截止日起近年内相同产品项目合同案例加分，最高不超过分，案例以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明）技术部分（分）、技术指标条款响应情况技术指标评审基准分为分，评委根据技术指标的偏离情况进行评审；标记为“*”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝；标记为“#”的指标是重要技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；无标记的指标是一般技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。注：投标人在响应技术条款时，应提供制造商公开发布的印刷资料（彩页或Datasheet）或检测机构出具的检测报告，若制造商公开发布的印刷资料与检测机构出具的检测报告不一致，以检测机构出具的检测报告为准。如果投标人不提供印刷资料或检测报告；印刷资料或检测报告出现与技术规格响应不一致；或无法体现投标人技术规格响应的情况时，评标委员会有权不予以认可。投标人对标记为星号（“*”）的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商公开发布的印刷资料或检测机构出具的检测报告为准，凡不提供技术支持资料的，视为不满足招标文件要求，其投标予以拒绝。售后及技术支持服务方案不满足招标文件要求的得分；基本满足招标文件要求的得分；完全满足和优于招标文件要求的分培训方案不满足招标文件要求的得分；基本满足招标文件要求的得分；完全满足和优于招标文件要求的分其他(分)投标人所投设备获得相关节能、环保认证情况：（）节能产品：投标产品列入了财政部最新公布的节能产品政府采购清单，得分；否则分。（）环保产品：投标产品列入了财政部最新公布的环境标志产品政府采购清单，得分；否则分。投标人需提供清单相关页、对应产品型号，否则不予承认。第包：评分项目评分细则分值价格部分（分）根据《财政部关于加强政府采购货物和服务项目价格评审管理的通知》的规定，本次价格评分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算：价格评分=（评标基准价/投标报价）×商务部分（分）、商务条款应答响应情况商务条款应答有负偏离得分，商务条款应答无偏离或正偏离得分、投标人的相关业绩（提供氦气压缩氦液化装置国内用户案例，每提供一个产品项目合同案例加分，最高不超过分，案例以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明）。提供国际用户案例列表做参考，多者分。技术部分（分）、技术指标条款响应情况技术指标评审基准分为分，评委根据技术指标的偏离情况进行评审；标记为“*”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝；标记为“#”的指标是重要技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；无标记的指标是一般技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。注：投标人在响应技术条款时，应提供制造商公开发布的印刷资料（彩页或Datasheet）或检测机构出具的检测报告，若制造商公开发布的印刷资料与检测机构出具的检测报告不一致，以检测机构出具的检测报告为准。如果投标人不提供印刷资料或检测报告；印刷资料或检测报告出现与技术规格响应不一致；或无法体现投标人技术规格响应的情况时，评标委员会有权不予以认可。投标人对标记为星号（“*”）的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商公开发布的印刷资料或检测机构出具的检测报告为准，凡不提供技术支持资料的，视为不满足招标文件要求，其投标予以拒绝。售后及技术支持服务方案不满足招标文件要求的得分；基本满足招标文件要求的得分；完全满足和优于招标文件要求的分培训方案不满足招标文件要求的得分；基本满足招标文件要求的得分；完全满足和优于招标文件要求的分其他(分)投标人所投设备获得相关节能、环保认证情况：（）节能产品：投标产品列入了财政部最新公布的节能产品政府采购清单，得分；否则分。（）环保产品：投标产品列入了财政部最新公布的环境标志产品政府采购清单，得分；否则分。投标人需提供清单相关页、对应产品型号，否则不予承认。第包：评分项目评分细则分值价格部分（分）根据《财政部关于加强政府采购货物和服务项目价格评审管理的通知》的规定，本次价格评分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算：价格评分=（评标基准价/投标报价）×商务部分（分）、商务条款应答响应情况商务条款应答有负偏离得分，商务条款应答无偏离或正偏离得分、相关业绩：生产厂商近年内在国内销售套以上MBE系统，得分分；（以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、签字盖章页复印件作为证明）。技术部分（分）、制造商能力：().供货商的用户发表过学术文章，取得GaAs/AlGaAsHEMT材料低温迁移率xcm/V·s，技术分分；达到xcm/V·s，增加技术分分。其他为分。技术指标条款响应情况（）技术指标评审基准分为分，评委根据技术指标的偏离情况进行评审；（）标记为“*”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝；（）标记为“#”的指标是重要技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；（）无标记的指标是一般技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减分；().技术条款不响应(或负偏离)项数累计大于项的（包括一般指标和#号指标），否决投标；().凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。售后及技术支持服务方案不满足招标文件要求得分；完全满足和优于要求的得分培训方案不满足招标文件要求的得分；完全满足得分；优于要求的得分其他（分）投标人所投设备获得相关节能、环保认证情况：（）节能产品：投标产品列入了财政部最新公布的节能产品政府采购清单，得分；否则分。（）环保产品：投标产品列入了财政部最新公布的环境标志产品政府采购清单，得分；否则分。投标人需提供清单相关页、对应产品型号，否则不予承认。注：、根据财政部、工业和信息化部发布的《政府采购促进中小企业发展暂行办法》、财政部、司法部发布的《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》及财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》的规定，如投标产品被认定为小微型企业或监狱企业或残疾人福利性单位制造的产品（须提供相关证明文件，小微企业提供《中小企业声明函》，监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》），可在上述第项价格评分中，对该产品的价格给予%的扣除，并用扣除后的价格计算价格评分。、对于投标文件中未对招标文件要求做明确响应的技术参数或技术条款视为不满足招标文件要求。、提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人参加同一合同项下同一项目包投标的，按一家投标人计算，评审后得分最高的同品牌投标人获得中标人推荐资格；评审得分相同的，按投标报价排列，报价最低的投标人获得中标人推荐资格；得分与投标报价均相同的，按技术指标优劣排列，技术得分最高的投标人获得中标人推荐资格。、对非单一产品采购的项目包，在各包中确定核心产品，多家投标人提供的核心产品品牌相同的，按前款规定处理。

第七部分合同特殊条款

第七部分合同特殊条款合同专用条款是合同一般条款的补充和修改。如果两者之间有抵触，应以专用条款为准。.买方：本合同买方系指：中国科学院物理研究所卖方：本合同卖方系指：中标人.项目现场：本合同项下的货物安装和运行地点位于：项目现场.交货时间要求:详见“第八章货物需求一览表及技术规格”交货地点要求：项目现场.质量保证期：详见“第八章货物需求一览表及技术规格”.付款方式：第包：聚焦离子束/电子束双束电子显微镜首款采用TT（TelegraphicTransfer电汇形式）+余款采用LC（letterofcredit,L/C银行信用证）等国际贸易支付条件支付；合同签订后天之内，采用TT（TelegraphicTransfer电汇方式）预付%合同金额货款；发货前天内采用信用证方式付%合同金额的货款；凭验收单采用信用证方式支付%货款。第包：无液氦型T超导磁体首款采用TT（TelegraphicTransfer电汇形式）+余款采用LC（letterofcredit,L/C银行信用证）等国际贸易支付条件支付；首款%凭合同要求单据支付；余款%凭发货单支付；余款%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付。第包：大口径超低温恒温器系统及样品杆首款采用TT（TelegraphicTransfer电汇形式）+余款采用LC（letterofcredit,L/C银行信用证）等国际贸易支付条件支付；首款%凭合同要求单据支付；余款%凭发货单支付；余款%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付。第包：干式T低温光学专用超导磁体（含低温恒温器）首款采用TT（TelegraphicTransfer电汇形式）+余款采用LC（letterofcredit,L/C银行信用证）等国际贸易支付条件支付；首款：合同签订后个工作日之内，采用TT（TelegraphicTransfer电汇方式）预付%合同金额货款；余款：发货前天内采用信用证方式付%合同金额的货款；凭用户代表签字的验收报告采用信用证方式支付%货款。第包：干式T低温光学专用超导磁体（含英寸和英寸光学测量插杆）首款采用TT（TelegraphicTransfer电汇形式）+余款采用LC（letterofcredit,L/C银行信用证）等国际贸易支付条件支付；首款：合同签订后天之内，采用TT（TelegraphicTransfer电汇方式）预付%合同金额货款；余款：发货前天内采用信用证方式付%合同金额的货款；凭验收单采用信用证方式支付%货款。第包：氦气压缩氦液化装置采用开具信用证的方式，比例：签订合同付%，发货前付%，验收合格付%。第包：高压氦气储气装置采用电汇方式，比例：签订合同付%，发货前付%。第包：分子束外延系统首款%电汇（凭生效的合同支付）；% 信用证（凭工厂验收协议和发货单支付）；% 信用证（凭最终接受协议支付）；第八部分技术部分

货物需求一览表包号货物名称数量交货期指定到货港项目现场（交货地点）聚焦离子束/电子束双束电子显微镜合同签订后个月内交货北京中国科学院物理研究所无液氦型T超导磁体合同生效后个月内大口径超低温恒温器系统及样品杆合同生效后个月内干式T低温光学专用超导磁体（含低温恒温器）签订合同后月内干式T低温光学专用超导磁体（含英寸和英寸光学测量插杆）签订合同后个月内氦气压缩氦液化装置进口产品：CIP天津新港个月内国产产品：合同生效个月内高压氦气储气装置合同生效个月内分子束外延系统合同生效后个月内注：投标人须对上述投标内容中完整的一包或几包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。技术规格一、总则、投标要求.投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。.投标人提供的货物的技术规格，应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。.投标人提供的产品样本，必须是“原件”而非复印件，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。、评标标准.除招标文件中指定的附件和专用工具外，投标人应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。投标人在投标书中需列出这些附件和工具的数量和单价的清单，这些附件和工具的报价的总值需计入投标价中。.对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为用户接受，其费用将加入合同价中。.为便于用户进行接收仪器的准备工作，卖方应在合同生效后天内向用户提供一套完整的使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另一套完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户，这些费用应计入投标价中。.关于设备的安装调试，如果有必要的安装准备条件，卖方应在合同生效后一个月内向买方提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中，并应单独列出，供评标使用。.制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由卖方支付。.在评标过程中，买方有权向投标人索取任何与评标有关的资料，投标人务必在接到此类要求后，在规定时间内予以答复。对于无答复的投标人，买方有权拒绝其投标。、工作条件除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统都应符合下列要求：.适于在气温为摄氏-℃～＋℃和相对湿度为％的环境条件下运输和贮存。.适于在电源V（％）/Hz、气温摄氏+℃～＋℃和相对湿度小于％的环境条件下运行。能够连续正常工作。.配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。.如产品达不到上述要求，投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件（如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）投标人应在投标书中加以说明。、验收标准除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收：.仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收,如卖方届时不派人来,则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,买方有权要求卖方负责更换。.验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。.验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行，验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。、本技术规格书中标注“*”号的为关键技术参数，对这些关键技术参数的任何负偏离将导致废标。、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。

二、具体技术规格第包聚焦离子束/电子束双束电子显微镜设备名称：聚焦离子束/电子束双束电子显微镜设备用途与功能聚焦离子束双束系统用于各种材料的微纳加工及超高分辨率表征与分析；本系统主要用于用于金属、金刚石、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。高质量定点TEM样品制备。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积；高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。安装要求：电压：V(-%,+%)频率：Hz(+/-%)环境温度：°C(+/-°C)相对湿度：<%RH残余交流磁场：<nT异步<nT同步噪音：<dBC压缩空气：-bar,干净，干燥，无油技术要求及参数：电子束技术要求..电子枪类型：*...分辨率：.nm@kV-kV；.nm@kV，nm@eV...样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像...加速电压：V－KV(连续可调)*...电子束减速模式：kV至-V...束流强度：.pA-nA*...物镜光阑具有加入自清洁功能以保持分辨率长期稳定，或提供只物镜光阑及每年免费更换业务样品室...电子束镜筒采用恒功率透镜及静电扫描以获得高稳定性和重复性*...电子枪需具备降低色差至低于.eV的技术...内径mm#...最少具有≥个附件/探测器接口样品台五轴马达驱动样品台；..X、Y方向移动范围不低于mm..Z方向移动范围不低于mm，可绕Z轴旋转任意角度(度)#..倾角范围包含-至度*..可放样品高度：样品台到束交叉点不小于mm..最大样品重量：kg；最大样品尺寸：mm，全旋转（在有限旋转的情况下可测量尺寸更大的样品）集成式纳米机械手及多层图形套刻软件包#..具有原位样品自动提出系统，用于制备好透射电镜样品后提出，需与主机集成一体化控制。漂移：<nm/min步长精度：<nm#..多层图形套刻软件包：具备可直接导入Bitmap/CAD文件，按照预先设定的间距，进行自动交替的离子束和束流沉积，加工复杂图形的能力。在该系统内能够实现离子束写场大面积拼接。离子束及辅助气体注入系统技术要求离子束系统：离子源种类：液态Ga离子源；（）交叉点分辨率： nm@kV（统计法）（）加速电压：kV-kV*（）金刚石加工速度：提供增强刻蚀金刚石的辅助性气体，μm/min。辅助气体注入系统：...可在离子束或电子束诱导下进行Pt、C等的沉积；...多种气体注入系统，可进行气体混合，并能控制气体流量...启动注入针应在在秒之内到达最优化工作位置，并可编程控制具备束流测量装置。真空系统..完全无油真空系统：由PVP干泵；涡轮分子泵；和离子泵构成。..样品室真空度：<.×-毫巴（小时泵送后）。..样品室排气时间：<分钟..探测器..样品室内二次电子探测器..极靴内探测器(二次电子和背散射电子模式)..二次离子探测器..样品室红外CCD相机（兆像素，水平宽度mm）..镜筒内高位低损耗背散射电子探测器..样品导航光学相机，可自动拍摄M像素彩色照片进行导航冷却水系统要求有空压机（大气压输出）和冷却循环水系统（环境温度小于°C，温度精度小于.°C），分别用于冷却镜筒及其它部件。控制系统..基于位Windows操作系统图形用户界面，键盘，鼠标，及手动用户界面..图像显示：”LCD显示器,SVGAx..图像处理：kxk像素，（帧平均数或合并数、线合并数和平均数、隔行扫描）和漂移补偿之帧合并..文件存储格式：TIFF(、、位)，BMP或JPEG格式，单幅或幅显示，可以用多达个实时图像显示独立的束和/或信号。其他功能全自动样品仓集成等离子清洗机，通过UI界面控制。用于清洗样品仓污染和样品污染软件功能产品配置要求*..主机系统套 *..电镜控制系统套*..无油真空系统套空压机台*..冷却循环水机台*..备用气源，如Pt，C；*..集成式纳米机械手具有原位样品自动提出系统，用于制备好的透射电镜样品提出，需与主机集成一体化控制。..多层图形套刻软件系统..维修专用工具套.技术服务与质量保证.安装、调试与验收..卖方应在合同生效后的个月内到用户实验室现场进行预安装检测（包括磁场、震动测试等），并向买方提出详细的安装要求和提供技术咨询。..仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后周内进行安装调试，直至通过验收。.技术培训卖方设备安装调试完成后，卖方应提供-名用户管理人员进行调试、操作、仪器维护、故障排除等方面的现场培训，时间不少于个工作日。..服务保证供货厂家在中国至少设立固定维修服务站，并配备专业维修工程师，能提供及时有效的售后服务。.保修期保修期为安装验收合格之日起一年，保修期自仪器验收签字之日起计算。.维修响应时间在保修期外软硬件出现的问题，接到用户通知后二十四小时内给予答复，小时内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在两周内解决或提出明确的解决方案。设备供应商提供终身维修，并保证保修期满后不低于十年的零配件及消耗品的供应。.软件升级在计算机及设备硬件支持的前提下，免费提供软件升级。.国内用户不得少于个，并需提供客户清单。.包装要求包装要求：应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装），适合于空运、陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。运输方式：空运.交货日期合同签订后个月内交货。.交货地点中国北京首都国际机场第包无液氦型T超导磁体工作条件：适于在气温为摄氏-℃～＋℃和相对湿度为%-％的环境条件下运输和储存。适于在电源相/-VAC/Hz、环境温度在℃～＋℃和相对湿度%-%环境条件下运行。配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。.设备用途：.产生强磁场的极端实验条件用于强磁场的高压物理实验。.技术规格：.超导磁体室温孔超导磁体*..无液氦超导磁体*..磁场强度范围：±T..垂直室温孔径不小于.英寸.. 磁场均匀度：优于±.%@mmDSV.. 磁体最低温度：<.K.. 初始降温时间：<小时..冷头制冷量：不小于.W@.K.超导电源..四象限真正的双极系统，可平滑过零..最大电流输出:A..自动失超探测和保护..电流设定分辨率.mA..五个程控扫场范围..USB，IEEE-.和Ethernet计算机接口标准.温度指示器..四个完全独立通道..支持的温度范围：mK-K..支持氧化钌、铂、硅二极管温度计、cernox温度计和碳温度计等多数低温温度计，支持恒流激励和恒压激励模式..高速以太局域网接口和RS-(ModbusSerial,SCPI）接口..提供Labview驱动.产品配置要求：.无液氦型T超导磁体台.其它附属设备超导电源台温度指示器台氦气压缩机台.选购附件、备件及消耗品：对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为用户接受，其费用将加入合同价中。技术服务：.设备安装调试..仪器到达用户所在地后,在接到用户通知后周内执行安装调试直至达到验收指标。.技术培训..在用户所在地对用户进行人、为期周的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。.保修期：提供年免费保修，保修期自验收合格之日起计算。保修期满前个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。.维修响应时间：卖方应在小时内对用户的服务要求作出响应，一般问题应在小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案，否则卖方应赔偿相应损失。.软、硬件升级：卖方应免费向用户提供自验收之后未来年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。.订货数量：一套.目的港：CIP北京机场.交货日期：合同生效后个月内．执行的相关标准无第包大口径超低温恒温器系统及样品杆工作条件：适于在气温为摄氏-℃～＋℃和相对湿度为%-％的环境条件下运输和储存。适于在电源相/-VAC/Hz、环境温度在℃～＋℃和相对湿度%-%环境条件下运行。配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。.设备用途：.产生超低温的极端实验条件用于强磁场的高压物理实验。.技术规格：.大口径超低温恒温器系统..顶部装卸型He-恒温器*...样品环境：He-气体*...样品空间：不小于mm*...最低温度：不高于mK...最低温度保持时间：不小于小时...采用低振动脉管机冷却K、K和K冷板...升He-气体...He-插件...采用带装载互锁型顶部装卸设计...提供两个热开关，热开关#用于给Charcoal低温泵提供K和K之间的热循环操作；热开关#用于给He-pot预冷...匹配室温孔的T超导磁体..顶部装卸型样品探针...顶部装卸型样品定位器:通过加力器给样品定位器加力，与He-恒温器的K、K、K冷板以及与连接He-pot的冷板形成良好的热接触，最终获得低于mK的低温...加力器:对样品定位器产生的最大压力不小于磅;对He-恒温器的K、K、K冷板以及与连接He-pot的冷板的法线方向的压力不小于磅..微型He-处理系统...给样品提供He-环境...包括升He-气体...匹配低温原位加压金刚石压砧及加压系统...在K、K和K冷板上热锚的气路...In密封的He-样品腔..冷头和压缩机...采用低振动脉管机，制冷量：W@.K...水冷式压缩机:配电要求：VAC,Ph,Hz;功耗（稳态）：.kW;水冷要求：不小于LPM...m长氦气管线..控温仪...四通道、高功率输出低温控温仪...四个多功能输入通道，支持二极管、铂电阻和大多数低温负温度系数电阻型温度计，可选择热电偶。...四个独立的控制加热环：Loop#：W，四个范围，Loop#:W，三个范围，Loop#和#：非功率输出。...计算机接口包含：Ethernet和USB，可选IEEE-.(GPIB)和RS-。.大口径超低温恒温器系统配件—样品杆..轻质真空装载互锁机构..加力器:对样品定位器产生的最大压力不小于磅;对K、K、K冷板以及与连接He-pot的冷板的法线方向压力不小于磅..顶部装卸型样品定位器:通过加力器给样品定位器加力，与He-恒温器的K、K、K冷板以及与连接He-pot的冷板形成良好的热接触，最终获得低于mK的低温。..包括在K、K和K冷板处热锚..*pin的密封电学接头，一个用于温度计和加热器连接，另一个用于电学测试，并安装对双绞线..铟密封的样品腔（He-气体环境）..铟密封的多针接头..-VCR密封管路..mK-K温度范围内可在强磁场下使用的温度计..微型He-气体处理系统..升He-气体和钢瓶..表头压力范围Psi-Psi的压力表和量程-mmHg-Psi的真空规..真空阀：采用黄铜材质、波纹管阀、KF抽真空接口..安全阀：/"NPT，标称设定压力：Psi..交换气体毛细管在K、K和K冷板上热锚..毛细管的末端进入In密封圈内..含有匹配低温原位加压测压系统的光纤管道及接口和氦气管道.产品配置要求：.大口径超低温恒温器系统套.大口径超低温恒温器系统配件—样品杆个.选购附件、备件及消耗品：对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为用户接受，其费用将加入合同价中。.技术服务：.设备安装调试..仪器到达用户所在地后,在接到用户通知后周内执行安装调试直至达到验收指标。.技术培训..在用户所在地对用户进行人、为期周的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。.保修期：提供年免费保修，保修期自验收合格之日起计算。保修期满前个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。.维修响应时间：卖方应在小时内对用户的服务要求作出响应，一般问题应在小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案，否则卖方应赔偿相应损失。.软、硬件升级：卖方应免费向用户提供自验收之后未来年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。.订货数量：一套.目的港：CIP北京机场一套.交货日期：合同生效后个月内．执行的相关标准无第包干式T低温光学专用超导磁体（含低温恒温器）.工作条件：.适于在气温为摄氏℃～℃和相对湿度尽可能低的环境条件下运行。.适用于电源相/V/Hz，单相/V/Hz..配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。设备用途：用于极低温强磁场环境下电输运和磁化率及热学的测试。.技术规格参数要求和配置要求.温度控制系统 *..温度范围： .K-K连续变温*..降温时间： 从K降至稳定在.K<min#..温度稳定性：±.%forT<K；±.%forT>K(Typical)..控温模式：连续低温控制和温度扫描模式..液氦消耗：无需灌装液氦或液氮，通过制冷机直接液化少量氦气对样品进行控温..初次启动时间(典型值)：小时（T）.磁场控制系统 *..纵向磁体,磁场强度：±T（使用水冷式脉冲管式制冷机直接传导制冷）*..场均匀性：.%over.cmonaxis（T）..双向充磁磁体电源：A（T）..扫描速度：.-Oe/sec（T）#..从零场加至满场所需时间：<分钟（T）..多种磁场驱动模式..磁场逼近模式：线性加场、振荡加场、非过冲式加场、扫描加场线性模式下，磁体磁场通过设定加场速率快速加场迅速接近设定磁场。振荡模式下，磁体磁场通过振荡衰减至设定磁场。非过冲模式下，磁体磁场在不超过设定磁场的前提下，逐渐逼近设定磁场。..磁场分辨率：<.高斯（T）.样品腔 *..净内径要求不小于.mm（英寸）；#..腔底能通过插座与样品托进行传热和引线连接，提供至少个针脚引线；..能够在样品放入样品腔之前，腔外检测各种测量模式样品引线的导通质量.系统操作软件*..基于Windows专用控制软件，而非基于Labview的普通通用软件..能控制所有硬件设备和记录所有硬件状况..能方便售后工程师通过网络进行远程诊断和测量实时监控.制冷杜瓦 ..从首次安装启动到日常运行都不需要灌装液氦，初次启动消耗</瓶氦气(LMPa高纯氦气钢瓶)#..采用高效稳定的水冷型压缩机的脉冲管制冷机，制冷功率不小于.W@K.内置高真空 #..样品腔环境能提供最低e-托的高真空环境，可兼容比热测量、热输运测量、极低温输运测量、高温磁测量所需高真空热屏蔽..真空度：<e-Torr托..活化时间：<分钟..活化后冷却时间：分.内置磁屏蔽罩 系统内置磁屏蔽罩用于避免超导磁体励磁对周围其他设备造成磁场干扰。磁场达到最大时,水平方向上Gs逃逸磁场范围小于cm(T).直流电测量功能 *..能够全自动测量电阻率（磁阻）、霍尔系数、伏安特性和临界电流..输出电流量程：nA-mA..最大电压：V..灵敏度：nV#..测量精度：.%(典型值)..最大测量电阻：MΩ..使用样品托方式装样，非插杆式..可同时用引线法测量个样品的直流电阻率，或者同时测量个样品的电子和霍尔效应.直流磁学测量功能 ..能够对磁性样品进行高精度的直流磁化强度测量..测量温度范围：.K-K*..灵敏度（秒数据平均）：<e-emu#..噪音基：×e-emurms#..精确度：<×e-emu/Tesla..振动频率：Hz-Hz，典型值：Hz..振动幅值：.mm-mm..最大可测磁矩：emu/振动峰值..线圈内径：mm..可升级大尺寸样品、超低场、交流磁化率、K高温磁测量、光诱导磁测量等功能.高级电输运测量功能*..能够全自动测量交流阻抗、霍尔系数、直流伏安特性..测量温度范围：.K-K..电压输出范围：±.V(一倍增益时)..电流范围：nA-mA持续操作..频率范围：直流或交流（.Hz-Hz）#..电阻测量精度：.%(R<kΩ)；.%(R>kΩ)..相对灵敏度：±nΩRMS(typical)..电阻测量范围：µΩ–GΩ..使用样品托方式装样，非插杆式，可同时用引线法测量个样品的电阻率，或者同时测量个样品的电阻和霍尔效应.比热测量功能 ..基于弛豫法中的双时间常数模型来测量样品的比热，系统可以自动校正并减除背景比热，自动进行多次测量的平均，以及对每个测量点计算样品的德拜温度。测量数据精确可靠，有在国际知名杂志发表的数据佐证可靠性。*..测量温度范围：.K-K..测量精度：<%@K-K（典型值<%）..测量灵敏度:nJ/K@K..可测比热大小范围：μJ/K–mJ/K*.系统兼容性 与attoCube英寸低温光学共聚焦插杆完全兼容.选购附件、备件及消耗品：无技术服务：.设备安装调试..仪器到达用户所在地后,在接到用户通知后周内执行安装调试直至达到验收指标。..安装调试之前需向用户详细明确告知用户准备工作。.技术培训.在用户所在地对用户进行-人、不少于次的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。.保修期：提供年免费保修，保修期自验收合格之日起计算。.维修响应时间：卖方应在小时内对用户的服务要求作出响应，一般问题应在小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案，否则用户提供则卖方应赔偿相应损失。.软、硬件升级：卖方应免费向自验收之后未来年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。.订货数量：一套．目的港：北京空港.交货日期：签订合同后个月内．执行的相关标准无第包干式T低温光学专用超导磁体（含英寸和英寸光学测量插杆）.工作条件：.适于在气温为摄氏℃～℃和相对湿度尽可能低的环境条件下运行。.适用于电源相/V/Hz，单相/V/Hz..配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。.设备用途：用于极低温强磁场环境下低维材料的光学与电学测试。.技术规格参数要求和配置要求超低震动无液氦低温恒温器和磁体..配备闭循环无液氦低温恒温器，采用顶部进样方式，整个操作过程无需液氦。*..本底温度.K。..配有压缩机和氦气制冷循环管路,全自动进行气体循环交换。；..配有震动隔离测量插杆，样品空间不小于mm；..配有T超导磁体，具有防quenching保护功能，磁场均匀性：.%（直径mmDSV）；..磁体电源具有LCD显示屏，可自动变化磁场；自带USB、网线和GPIB接口，兼容Labview驱动。#..采用特殊隔绝震动设计，振幅<.nmRMS（带宽Hz，垂直方向），适合于低振动扫描探针显微镜实验；.两英寸光学插杆..配置长度合适的英寸直径插杆,插杆上布置根电学线；..插杆顶端具有光学窗口，提供固定低温物镜与低温位移台用钛制金属片；..提供插杆外置可拆卸光学平板，尺寸不小于mmxmmxmm,具有M螺纹孔；..配有样品托，样品托具有个电学接触点，集成温度传感器与加热器..低温钛制位移器采用惯性驱动运动模式，以纳米精度位移，而行程在mm级。*..位移器提供XYZ位移范围不小于.mmx.mmx.mm@K；*..提供钛制旋转台，可在K温度下度连续旋转，旋转精度优于.度。..提供位移台与旋转台控制器.一英寸光学插杆..配置长度合适的英寸直径插杆,插杆上布置根电学线；..插杆顶端具有光学窗口，提供固定低温物镜与低温位移台用钛制金属片；*..位移器提供XYZ位移范围不小于.mmx.mmxmm@K；..提供钛制旋转台，可在K温度下度连续旋转，旋转精度优于.度。*..当位移器与旋转台到达指定位置之后，其上施加的电压可以降低到V而位置保持不变；..配置位移台与旋转台控制器..采用外置光学头，可兼容个光学通道，每个通道均可快速可靠的进行对准；配有分光器、滤光片等光学部件；配有白光光源以及相机可观测样品.低温物镜*..配备低温兼容高数值孔径消色差物镜：NA=.,WD=.mm,消色差范围：-nm；#..配备低温兼容高数值孔径非球面物镜：NA=.,WD=.mm；*..配备低温兼容高数值孔径消色差物镜：NA=.,WD=mm,消色差范围：-nm；#..配备低温兼容高数值孔径非球面物镜：NA约.,WD约mm；.选购附件、备件及消耗品：无.技术服务：.设备安装调试..仪器到达用户所在地后,在接到用户通知后周内执行安装调试直至达到验收指标。..安装调试之前需向用户详细明确告知用户准备工作。.技术培训.在用户所在地对用户进行人、不少于次的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。.保修期：提供年免费保修，保修期自验收合格之日起计算。.维修响应时间：卖方应在小时内对用户的服务要求作出响应，一般问题应在小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案，否则用户提供则卖方应赔偿相应损失。.软、硬件升级：卖方应免费向自验收之后未来年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。.订货数量：一套．目的港：北京机场.交货日期：签订合同后个月内．执行的相关标准：无第包氦气压缩氦液化装置.工作条件：.设备安装使用地：北京.室内环境温度+C~C.室内湿度%~%.适用于电源相/V/Hz，单相/V/Hz..配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。.设备用途：氦气是稀缺的战略之源，氦气压缩液化装置就是循环利用用户回收氦气液化产生液氦的装置。氦气压缩氦液化装置主要分为两部分，核心部分就是氦液化系统，主要功能是将氦气液化为液氦。另一部分是回收部分，核心部件就是氦气回收气囊和高压氦气压缩机，功能是将用户使用蒸发的氦气回收压缩进入高压钢瓶，然后送入氦液化系统进行液化。氦液化系统含：氦气螺杆压缩机、除油系统、气体控制系统、冷箱、控制系统、液氦储槽、低温传输管线、在线干燥器等。该系统应该是一套自动化程度高，能够长时间安全、稳定可靠运行的装置。因用户回收的氦气含有一定量的空气等杂质，所以要求氦液化系统具有比较强的纯化能力，对于纯化器具有较高的要求。回收部分含：氦气回收气囊、高压氦气压缩机。由于使用的是回收氦气，所以要求高压氦气压缩机具有除尘过滤、油水分离、去除油水等去杂质部件。.技术规格：*.设备主要性能指标：测量杜瓦内液化率，氦液化系统氦液化率≥L/h(使用.%氦气，在有液氮预冷模式下)。..要求有带有液氮预冷和无液氮预冷两种模式。..运行过程中液氮预冷模式和无液氮预冷模式可以自由切换。.氦气螺杆压缩机*..冷却方式：水冷。.除油系统：..吸附器，含保温外壳。..配置处理活性炭的加热器。.气体控制系统.冷箱：采用绝热透平膨胀为主要的制冷设备,应尽量选用高效、高可靠、节能产品。..透平膨胀机（T，T透平），套。..备份透平（T，T透平）套。..生产每升液氦的压机功耗≤.KW*h/L。..纯化系统：...配有纯化系统。...配备除氖和氢杂质功能。#..空气杂质含量%的情况下液化率≥L/h。#..杂质最大为%情况下可以稳定运行。..匹配真空系统。#..温度计：全温区（.K~K）采用合金温度计或金属温度计。..配备K吸附器。..配备K吸附器。.控制系统：..整套设备控制系统，采用PLC控制，友好人机交互界面。..远程监视与操作系统。.液氦储槽：*..容积L，含三个输液出口。..全不锈钢结构。..含超导液位计。..含内置电加热器。..含必要的抽空接口阀。.低温传输管线：..冷箱与L液氦储槽之间的传输管线。...配备抽空阀。..液氦储槽与移动杜瓦之间的传输管线。#...尺寸可与Cryofab生产的液氦杜瓦CMSH配套。#...配有.K低温手动截止阀。...数量：根。...配备抽空阀。.氦气回收气囊及相关配件：..数量：个*..单个回收气囊容积≥m..材料：双面氯丁橡胶聚酯密封。..配备安全阀。..标配KF法兰的进出口各一个。..每个气囊有独立的位置控制装置，含支架，可以连锁控制回收压机启停。..配套安装支架。安装方式：地面支撑。.在线干燥器：..氦气干燥，依据系统设置流量配置。..配置保温外壳。..配备在线干燥器再生处理单元。.高压氦气压缩机..数量：台*..单台（按照空气）流量要求：≥Nm/h..最大公称压强：Bar*..工作压强：Bar*..冷却方式：风冷..进气及冷凝水缓冲容器，每台压机配备一套。..高压氦气过滤系统，每台压机根据流量配备一套。.根据回收氦气~bar的特点和液化器的液化能力，配置合适的减压器（pressureregulator），用于液化过程中持续补充回收的氦气。.产品配置要求：.一年的保养备件和常用易损配件。（需单独列出价格明细）.维护、维修工具：投标人要提供一套保证能进行日常维护和修理的特殊维修工具。投标文件需给出详细清单。.选购附件、备件及消耗品：.氦气纯度分析仪：针对系统要求的氦气以及不纯空气、油组分匹配~ppm量级的纯度分析仪。.氦气纯度分析仪：针对系统回收氦气，提供含~%不纯气的纯度分析仪。（常压运行）.投标人在投标时要向用户提供一份主要零部件的价格清单。如果有消耗品，还应提交消耗品的价格清单。应承诺主要零部件清单的价格在年内保持不变（但允许随人民币对相关货币的汇率变化而进行浮动）。这份清单需经投标设备生产厂的签字确认或授权方为有效。.技术文件：.投标人必须提供所投设备完整的配置清单。投标人应向业主方随设备提供全套设备的技术资料，其费用已包括在投标价格之内。投标人必须保证向用户提供一套投标设备的操作说明和维修手册等纸质技术资料。包括详细的电路图和测试软件手册。完整的含义为：凡是设备中的各个组成部分都必须有相应的维修资料、电路图和软件测试手册。投标人承诺向用户提供设备维修用的测试软件及其使用需要的密钥（码）或相应的装置，并保证在年内能正常使用该测试软件。.技术服务：.设备安装调试..仪器到达用户所在地后,协助开箱验收以及安排一周的安装指导。..在安装完成后，根据用户通知周内执行调试直至达到验收指标。..整体系统评验收指标在螺杆式氦压机配套设备,液氮预冷条件下氦液化率不小于升/小时。.技术培训..设备安装完成后，厂方的工程师应对用户的使用人员进行必要的操作和常规维护培训，以支持设备的正常操作运行以及日常维护。.当地技术支持：合同签订后，卖方应派工程师与买方共同商讨并提供设备安装的规划设计说明，包括建筑防护标准、运行使用的环境要求、必要的配套设施以及施工图纸等。.保修期：提供年质保，保修期自验收合格之日起计算。.维修响应时间：卖方应在小时内对用户的服务要求作出响应，一般问题应在小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案，否则卖方应赔偿相应损失。.投标人必须向用户提供系统软件的光盘备份或用户能够使用的相关的媒介备份。.订货数量：一套.目的港：天津新港海运.交货日期：进口产品：CIP天津新港个月内国产产品：合同生效个月内．执行的相关标准如有涉及压力容器相关标准，必须符合中国相应的法律规范要求，以保证用户能获得相应压力容器使用许可。．其他条件：无第包高压氦气储气装置、工作条件：.设备安装使用地：北京.安装环境室外.设备用途：主要用途是储存高压氦气。氦气来至于实验室常温、常压的回收氦气，经过压缩机转变为无油、无水的氦气，压缩到高压氦气储气装置中，然后补充到液化系统中进行液化。.技术规格：.设备主要性能指标：*..每组水容积≥m*..数量：组..主体材料：X..设计压力≥MPa*..工作压力≥MPa..气密试验压力≥MPa..储存介质：氦气.压力表：#..压力范围~MPa。..压力表加阀门。..备件压力表，数量：个。.安全阀：..安全阀加阀门..备件安全阀，数量：个。.设计温度≥℃.工作温度-~℃.设计循环次数≥次（~MPa）.容器类别：Ⅲ类.腐蚀余量≥.mm.气体进出口加阀门.容器设计和安装符合国家相应的技术规范。.配套安装框架。地面固定式安装。.符合国家规定的相应压力容器执行标准。.提供用户端的安装技术要求和参数。.产品配置要求：.一年的保养备件和常用易损配件。（需单独列出价格明细）.维护、维修工具：投标人要提供一套保证能进行日常维护和修理的特殊维修工具。投标文件需给出详细清单。.附件、备件及消耗品：.投标人在投标时要向用户提供一份主要零部件的价格清单。如果有消耗品，还应提交消耗品的价格清单。应承诺主要零部件清单的价格在一定年限内保持不变（但允许随人民币对相关货币的汇率变化而进行浮动）。这份清单需经投标设备生产厂的签字确认或授权方为有效。.技术文件：.投标人必须提供所投设备完整的配置清单。投标人应向业主方随设备提供全套设备的技术资料，其费用已包括在投标价格之内。投标人必须保证向用户提供一套投标设备的操作说明和维修手册等纸质技术资料。完整的含义为：凡是设备中的各个组成部分都必须有相应的维修资料。.技术服务：.设备安装调试..仪器到达用户所在地后,负责开箱验收以及安装。..在安装完成后，根据用户通知周内执行调试直至达到验收指标。每台设备的调试-验收期不应长于个工作日。.技术培训..设备安装完成后，厂方的工程师应对用户的使用人员进行必要的操作和常规维护培训，以支持设备的正常操作运行以及日常维护。.技术支持：合同签订后，卖方应派工程师与买方共同商讨并提供设备安装的规划设计说明，包括建筑防护标准、运行使用的环境要求、必要的配套设施以及施工图纸等。并负责安装调试。.保修期：提供年质保，保修期自验收签字之日起计算。.维修响应时间：卖方应在小时内对用户的服务要求作出响应，一般问题应在小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案，否则卖方应赔偿相应损失。.订货数量：三套.目的港：用户指定北京的地点.交货日期：合同生效个月内．执行的相关标准符合压力容器相关标准，必须符合中国相应的法律规范要求，以保证用户能获得相应压力容器使用许可。．其他条件：无第包分子束外延系统、工作条件：. 能适应在气温为-C～+C和相对湿度不超过%的环境条件下运输和贮存。. 能适应在气温为+C～+C和相对湿度不超过%的环境条件下运行，并能够连续正常工作。. 如设备需要特殊工作条件（如水、电源、气体、磁场、温度、湿度、动强度等），投标人应在投标书中加以说明，并至少在发货前个月提出对实验室技术条件的具体要求。.设备用途：.用于低维半导体材料的外延生长，要求设备具有高质量、高可靠性、高稳定性、高安全性和精确的生长自动控制，尤其是要求设备具有超高真空度和极低的背景杂质浓度。设备为研究型（R&D）生长腔系统，生长腔可用于生长直径不小于英寸/(三片直径英寸)的外延片。.技术规格：*.III-V族研究型分子束外延系统，能生长单片直径英寸/(或三片直径英寸)的外延片。生长系统由至少个真空腔体（生长室、预处理室、进样室）及其它设备组成；生长室为垂直型结构，衬底垂直向下，源炉（倾斜）向上。.生长室应具有充足的液氮冷屏，包覆衬底/生长区域及源炉周边区域。*.生长室应可安装至少个源炉，源炉端口法兰大小均为CF，且完全对称分布。.源炉口附近应有隔离板/冷屏以避免交叉污染。.生长室配备至少与源炉数目相同的源炉挡板；挡板能从独立的法兰单独装卸，且不与源炉集成。挡板应在源炉下方运动，可以减少颗粒掉入源炉坩埚内。气动开关设计，稳定性好，寿命长。.In、Ga等源炉的挡板材质可选配PBN材料，具备低放气量及耐腐蚀的特点。.生长室配备总挡板/衬底挡板。.生长室配备衬底加热器，可对直径不小于英寸的衬底加热，并且衬底表面温度分布均匀。#.生长室内衬底加热器最高工作温度为C，并可长时间稳定工作。#.生长室衬底加热器能够使衬底温度在-C范围内均匀性在C以内，稳定性在.C以内。.衬底可调旋转速度，最快速度不低于周/分钟，并不引发样品明显抖动。.生长室配备真空计，测量精度不低于x-torr；其数据可被设备控制软件所读取和记录。.生长室配备束流计，能从独立的法兰单独装卸；其数据可被设备控制软件所读取和记录。.束流计测量精度不低于x-torr，面板显示精度不低于位有效数字。. 束流计能自动定位于工作、收回位置。.生长室配备四极质谱仪（～amu），测量精度好于x-torr；测试结果可被实时显示、存储和后期调用。.生长室配备keV以上的反射式高能电子衍射系统，衍射光斑位置可在荧光屏前远距离调控（而非在RHEED电控箱处）。荧光屏配备挡板以防止/减少As、Sb的蒸镀，并提供RHEED的控制、数据采集及分析系统。.生长室应配备其它必要的观察窗及挡板。.生长室配备一套l/s抽速以上的离子泵，足够的抽速使腔室快速达到极限真空。#.生长室配备两套低温泵，每套对N的抽速可达L/S。低温泵配有完整的控制及活化再生系统，可通过闸板阀（可烘烤）与主腔体关断，并连接进安全互锁系统（根据冷头温度和真空度）；有隔热措施以防止烘烤期间低温头过热。.生长室配备个In/Ga源炉及坩埚。*.In/Ga源炉要求为热唇炉（hot-lipeffusioncell）或其它设计(能够抑制椭圆缺陷和束流的开启涨落)，炉口大小形状的选取既可以满足英寸衬底外延的均匀性，又可以兼顾开启挡板的瞬态束流涨落。坩埚为一体化设计，没有其它插入件。双温区控制/显示及电源。#.In/Ga源炉的坩埚容积/容量不小于cc/g。源炉除气温度可超过C，并可长时间工作。在工作点附近温度稳定性在.C以内（温控显示精度可达.C）。#.In/Ga源炉恒温在工作点附近，初开挡板时束流波动不超过%。.生长室配备个Al源炉及坩埚。*.Al源炉要求为冷唇炉（cold-lipeffusioncell）或其它设计(能够抑制Al的creep和束流的开启涨落)，炉口大小形状的选取既可以满足英寸