真空系统研制需求

真空系统研制需求一、需求明细序号标的名称单位数量1耦合器高真空排气台研制套12老炼平台真空系统研制套1二、项目服务要求序号服务要求1（一）服务范围本次项目需要研制1套真空系统：包括1套耦合器高真空排气台，用于1.3GHz耦合器、3.9GHz耦合器及高次模吸收器高真空排气，1套老炼平台耦合器真空系统，用于耦合器老炼平台被测1.3GHz耦合器对测试过程中的超高真空获取、维持和破空。2（二）服务内容1、保质、保量、准时的将1套真空系统送达综合粒子设施研究院指定地点，并负责现场安装、调试。2、自仪器验收合格之日起，向采购人提供1年免费保修服务。在保修期内，售后服务要求属产品质量问题所发生的一切费用由负担。3、必须具有专业的维修工程师，能有效保证售后维修服务。4、保修期内，发生的配件损耗和非人为因素发生的配件损坏，更换或维修不收取配件及人工费用。5、须对最终用户在安装现场或国内其他场所进行免费人员培训2人2次（共4人次）或以上。3（三）人员要求必须具备专业技术人员进行技术沟通，及专业维修工程师进行售后服务。4（四）技术要求一、耦合器高真空排气台耦合器真空排气台设备主要由排气移动小车、加热钟罩、升降机构、电控系统、抽气系统组成。技术指标参数要求如下：1、加热温度：最高600℃可调，升温速度40℃/h。2、温度均匀性：优于±10℃。3、有效加热空间：φ800*H1000mm。4、双真空排气要求：（1）具备双真空排气系统：外真空抽气系统（排气台真空）由设计并提供，要求排气工作时外极限真空度（耦合器环境真空）优于于1×10-4Pa。内真空（耦合器内部真空）设计预留真空管道四通接口，用于设备真空抽口对接、抽气、RGA分析、真空监测。（2）排气系统内部严格清洁及充分除气，保证气密性及高真空度。所有涉及真空部件都严格遵守超高真空制造工艺，每条管道、每个阀门都经严格的检漏及清洗除气，保证无污染，漏率低于1E-10Pa.m3/s。5、内部加热环境采用全不锈钢，洁净程度达到千级洁净环境。6、冷却方式：加热钟罩具备外部水冷结构设计，水冷与采用外焊循环水路，所有涉及真空的部分均没有焊缝。7、电控系统：电控系统可对抽排气台真空、加热、快冷等进行自动化控制，同时各阀门、泵、加热等操作也可手动按钮操作。电控系统升温、保温、降温过程，烘烤过程始终与特定真空值连锁，以保证耦合器不被氧化。（1）操控界面：界面为触摸屏+机械按钮的操作方式，所有的操作均能在触摸屏完成，所有状态可在触摸屏内显示，包括：泵、阀状态，温度、真空度、电流。（2）自动控制功能：自动控制功能满足抽真空、加热、充气动作，兼顾流程合理，安全可靠，合理的信号反馈满足闭环控制。（3）UPS电源：采用UPS供电(保证运转30分钟或以上)离子泵维持真空。（4）参数设定：所有控制参数，包括温度、真空度、时间等，均可由用户自行设定。（5）联锁保护与安全警报功能：各阀门带有信号反馈，泵阀联锁保护。真空度低，强制关闭插板阀，保护分子泵、离子泵。真空度低，温度保持，直至关闭等保护动作。真空度与加热动作联锁。内外真空度定值报警。超温、加热器跳闸等报警保护。水压、电源缺相、气源压力不足、PLC电池电量低等均有报警。所有报警可执行相关联的保护动作，防止对设备造成损坏。（6）数据记录：由触摸屏对真空度、温度、电流、电压等进行实时记录显示，记录数据可在屏内查阅或外接设备读取。二、老炼平台真空系统耦合器在老炼平台上背靠背安置，并进行高功率老炼。老炼过程中的真空系统原理图如下图所示，可见真空系统总体分为分子泵组、离子泵、真空规、真空计、真空阀门、真空管道及耗材。耦合器包含三部分真空：上游耦合器热端真空，下游耦合器热端真空，冷端真空（通过矩形波导连接共用）。使用时先由分子泵组将管道抽至高真空态，再切换为离子泵组维持耦合器内部超高真空状态。本次项目需要根据耦合器真空度及漏率要求、洁净度要求搭建图示真空系统（不含分子泵）。总体技术目标：该真空系统能使1.3GHz高功率耦合内部真空度达到10-6Pa量级。各处接口漏率要求为1×10-11Pa.m3/s。所有真空管道、真空阀门都须经严格的检漏及清洗除气，保证无污染。以下为项目具体技术要求：1、离子泵和电源（数量：3套），技术要求：极限真空度：≤2.0x10-8Pa。自身抽空口：CF35。单台离子泵整体重量：≤7kg。抽速：25L/S(N2)。洁净间洁净装配。2、真空规（数量：4件），技术要求：全量程测量，量程1000mbar~1E-8mbar。接口：CF35。3、真空计（数量：2件），技术要求：双通道显示，支持RS485或RS232通讯。4、慢充系统（数量：1套），技术要求： 气体经过过滤器及流量控制器。可控制气体流量大小。所有管路EP级别。5、真空阀门全金属角阀（数量：6件），技术要求：材质：全金属。类型：角阀。密封方式：金属密封。接口：CF35。操作方式：手动。阀体泄漏率：≤1×10-11Pa.m3/s。阀座泄漏率：≤1×10-11Pa.m3/s。烘烤温度：最大150℃。6、真空管道6.1手动隔膜阀（数量：4件），技术要求：接口：CF35。密封方式：橡胶密封。漏率：≤1×10-9Pa.m3/s。6.2四通CF35（数量：4件），技术要求：材质：全不锈钢。密封方式：金属密封。接口：CF35。漏率：≤1x10-11Pa.m3/s。整体电解抛光，钝化处理，真空除气，脱气速率低，背景干扰小，可烘烤。6.3三通CF35（数量：6件），技术要求：材质：全不锈钢。密封方式：金属密封。接口：CF35。漏率：≤1x10-11Pa.m3/s。整体电解抛光，钝化处理，真空除气，脱气速率低，背景干扰小，可烘烤。6.4液压波纹管KF40-1500（数量：6件），技术要求：材质：全不锈钢。长度：1.5米。接口：KF40。密封方式：橡胶密封。漏率：≤1×10-9Pa.m3/s。6.5转换接头KF40-CF35（数量：6件），技术要求：材质：316L不锈钢。整体电解抛光，钝化处理。6.6紧固半法兰CF35（数量：10件），技术要求：材质：硅青铜。6.7快卸卡箍KF25（数量：10件），技术要求：材质：304不锈钢。6.8快卸卡箍KF40（数量：10件），技术要求：材质：304不锈钢。7、真空耗材7.1无氧铜垫圈CF16（数量：400件），技术要求：材质：TU1无氧铜材质。7.2无氧铜垫圈CF25（数量：100件），技术要求：材质：TU1无氧铜材质。7.3无氧铜垫圈CF35（数量：400件），技术要求：材质：TU1无氧铜材质。7.4无氧铜垫圈CF100（数量：100件），技术要求：材质：TU1无氧铜材质。5（五）成果要求1.因履行本合同所产生的研究开发成果及其相关知识产权权利均归属采购人，且采购人可以不受限制地进行使用，无权干涉。不对该等研发成果及相关知识产权权利享有任何权利，未经采购人书面同意，不得以任何方式使用该等研发成果及相关知识产权，也不得擅自许可任何第三方使用。2.采购人有权利用按照本合同约定提供的研究开发成果进行后续改进。由此产生的具有实质性或创造性技术进步特征的新的技术成果及其权属，均归采购人享有，不基于该等新的技术成果享有任何权利或收益。3.利用采购人提供的技术、资料或工作条件等，开发出本合同约定的研究开发成果以外的研究开发成果的，该等研究开发成果及其权属归采购人享有，不基于该等技术