微机电系统工程基础知识单选题100道及答案解析

微机电系统工程基础知识单选题100道及答案解析1.微机电系统中常用的制造工艺不包括（）A.光刻B.蚀刻C.铸造D.薄膜沉积答案：C解析：铸造一般不用于微机电系统的制造，光刻、蚀刻和薄膜沉积是常见工艺。2.微机电系统的特征尺寸通常在（）量级A.毫米B.微米C.纳米D.厘米答案：B解析：微机电系统的特征尺寸通常在微米量级。3.以下哪种材料常用于微机电系统的结构层（）A.玻璃B.陶瓷C.硅D.塑料答案：C解析：硅具有良好的电学和机械性能，常用于微机电系统的结构层。4.微机电系统中的传感器不包括（）A.压力传感器B.温度传感器C.速度传感器D.重量传感器答案：D解析：在微机电系统中，一般没有专门的重量传感器。5.微机电系统的驱动方式不包括（）A.静电驱动B.电磁驱动C.液压驱动D.热驱动答案：C解析：液压驱动在微机电系统中不常用。6.以下哪种技术用于微机电系统的封装（）A.塑料封装B.陶瓷封装C.金属封装D.以上都是答案：D解析：塑料、陶瓷、金属封装都可用于微机电系统。7.微机电系统中的执行器不包括（）A.微电机B.微阀C.微泵D.微控制器答案：D解析：微控制器不属于执行器，而是控制部分。8.微机电系统的设计过程中，首先进行的是（）A.系统级设计B.器件级设计C.工艺设计D.版图设计答案：A解析：设计过程通常先从系统级设计开始。9.以下哪种软件常用于微机电系统的设计仿真（）A.ANSYSB.AutoCADC.PhotoshopD.Word答案：A解析：ANSYS常用于工程领域的设计仿真，包括微机电系统。10.微机电系统的应用领域不包括（）A.生物医学B.航空航天C.农业D.通信答案：C解析：农业领域相对较少直接应用微机电系统。11.微机电系统制造中，用于刻蚀二氧化硅的常用试剂是（）A.氢氟酸B.盐酸C.硫酸D.硝酸答案：A解析：氢氟酸常用于刻蚀二氧化硅。12.微机电系统中，提高精度的关键因素是（）A.材料选择B.制造工艺C.设计方法D.封装技术答案：B解析：制造工艺的精度直接影响微机电系统的精度。13.以下哪种不是微机电系统的加工方法（）A.激光加工B.电火花加工C.水射流加工D.化学机械抛光答案：C解析：水射流加工一般不用于微机电系统。14.微机电系统的可靠性主要取决于（）A.材料性能B.工作环境C.制造质量D.以上都是答案：D解析：材料性能、工作环境和制造质量都会影响微机电系统的可靠性。15.微机电系统的发展趋势不包括（）A.更小尺寸B.更高性能C.更低成本D.更复杂结构答案：D解析：微机电系统的发展趋势是更小尺寸、更高性能和更低成本，不一定是更复杂结构。16.以下哪种检测技术常用于微机电系统的性能检测（）A.光学检测B.电学检测C.力学检测D.以上都是答案：D解析：光学、电学和力学检测都常用于微机电系统的性能检测。17.微机电系统中，用于测量位移的传感器是（）A.电容式传感器B.电感式传感器C.电阻式传感器D.压电式传感器答案：A解析：电容式传感器常用于测量位移。18.微机电系统的能源供应方式不包括（）A.电池B.太阳能C.风能D.无线充电答案：C解析：风能在微机电系统中难以直接应用作为能源供应方式。19.以下哪种材料的热膨胀系数较小，适合用于微机电系统（）A.铝B.铜C.硅D.银答案：C解析：硅的热膨胀系数相对较小，适合微机电系统。20.微机电系统中的惯性传感器包括（）A.加速度计B.陀螺仪C.两者都是D.两者都不是答案：C解析：加速度计和陀螺仪都属于惯性传感器。21.微机电系统制造中，用于定义图形的光刻胶通常是（）A.正胶B.负胶C.都可以D.都不可以答案：C解析：正胶和负胶在微机电系统制造中都可用于定义图形。22.微机电系统中的信号处理通常采用（）A.模拟信号处理B.数字信号处理C.两者结合D.不需要处理答案：C解析：通常是模拟信号处理和数字信号处理相结合。23.以下哪种不是微机电系统中的微流体器件（）A.微通道B.微喷头C.微过滤器D.微电感答案：D解析：微电感不属于微流体器件。24.微机电系统的封装材料需要具备的特性不包括（）A.良好的绝缘性B.高导热性C.高强度D.高透明度答案：D解析：高透明度一般不是封装材料必须具备的特性。25.微机电系统中的压力传感器通常基于（）原理A.电容变化B.电阻变化C.电感变化D.压电效应答案：A解析：微机电系统中的压力传感器通常基于电容变化原理。26.以下哪种不是微机电系统中的微执行器（）A.微镜B.微扬声器C.微处理器D.微继电器答案：C解析：微处理器不属于微执行器。27.微机电系统的设计中，需要考虑的因素不包括（）A.热效应B.电磁干扰C.视觉效果D.噪声答案：C解析：视觉效果通常不是微机电系统设计中主要考虑的因素。28.以下哪种工艺可以实现微机电系统的高深宽比结构（）A.干法蚀刻B.湿法蚀刻C.电镀D.溅射答案：A解析：干法蚀刻可以实现高深宽比结构。29.微机电系统中的加速度计不包括（）A.电容式加速度计B.压电式加速度计C.电磁式加速度计D.液压式加速度计答案：D解析：液压式加速度计在微机电系统中不常见。30.微机电系统的制造设备不包括（）A.光刻机B.扫描电子显微镜C.数控机床D.等离子体刻蚀机答案：C解析：数控机床一般不用于微机电系统的制造。31.以下哪种不是微机电系统中的微能源器件（）A.微型燃料电池B.微型发电机C.微型电池D.微型电阻答案：D解析：微型电阻不属于微能源器件。32.微机电系统中的陀螺仪不包括（）A.机械陀螺仪B.光学陀螺仪C.电子陀螺仪D.热陀螺仪答案：D解析：热陀螺仪不属于常见的微机电系统中的陀螺仪类型。33.微机电系统的性能指标不包括（）A.精度B.分辨率C.颜色D.灵敏度答案：C解析：颜色不是微机电系统的性能指标。34.以下哪种不是微机电系统中的微光学器件（）A.微透镜B.微反射镜C.微光栅D.微电容答案：D解析：微电容不属于微光学器件。35.微机电系统中的化学传感器基于（）原理A.电化学B.光学C.电学D.力学答案：A解析：化学传感器通常基于电化学原理。36.以下哪种不是微机电系统的应用产品（）A.智能手机B.电脑C.大型机床D.汽车电子答案：C解析：大型机床不属于微机电系统的应用产品。37.微机电系统中的生物传感器不包括（）A.酶传感器B.免疫传感器C.湿度传感器D.DNA传感器答案：C解析：湿度传感器不属于生物传感器。38.微机电系统的市场特点不包括（）A.高增长B.高利润C.低风险D.技术密集答案：C解析：微机电系统市场具有高增长、高利润和技术密集等特点，但并非低风险。39.以下哪种不是微机电系统中的微机械结构（）A.悬臂梁B.薄膜C.微齿轮D.微电容答案：D解析：微电容不属于微机械结构。40.微机电系统中的磁场传感器不包括（）A.霍尔传感器B.磁阻传感器C.电感传感器D.电容传感器答案：D解析：电容传感器通常不是用于测量磁场的。41.微机电系统的研发投入主要集中在（）A.设备购置B.人才培养C.工艺改进D.以上都是答案：D解析：研发投入通常涵盖设备购置、人才培养和工艺改进等方面。42.以下哪种不是微机电系统中的微流体控制元件（）A.微阀B.微泵C.微喷头D.微电阻答案：D解析：微电阻不是微流体控制元件。43.微机电系统中的湿度传感器通常基于（）原理A.电容变化B.电阻变化C.电感变化D.压电效应答案：B解析：湿度传感器通常基于电阻变化原理。44.微机电系统的制造精度受限于（）A.设备精度B.工艺水平C.材料特性D.以上都是答案：D解析：制造精度受设备精度、工艺水平和材料特性等多种因素限制。45.以下哪种不是微机电系统中的微加热元件（）A.电阻丝B.薄膜电阻C.热电偶D.微电容答案：D解析：微电容不是微加热元件。46.微机电系统中的声学传感器不包括（）A.麦克风B.扬声器C.超声传感器D.压力传感器答案：D解析：压力传感器不属于声学传感器。47.微机电系统的发展对哪些产业影响较大（）A.电子B.医疗C.汽车D.以上都是答案：D解析：微机电系统的发展对电子、医疗、汽车等产业都有较大影响。48.以下哪种不是微机电系统中的微传动元件（）A.丝杠B.齿条C.蜗轮蜗杆D.微电容答案：D解析：微电容不属于微传动元件。49.微机电系统中的流量传感器通常基于（）原理A.热式B.压差式C.电磁式D.以上都是答案：D解析：流量传感器通常基于热式、压差式、电磁式等原理。50.微机电系统的产业化面临的挑战不包括（）A.成本B.可靠性C.标准化D.美观性答案：D解析：美观性一般不是产业化面临的主要挑战。51.以下哪种不是微机电系统中的微定位元件（）A.压电陶瓷B.直线电机C.微动平台D.微电容答案：D解析：微电容不属于微定位元件。52.微机电系统中的力传感器通常基于（）原理A.应变B.压电C.电容D.以上都是答案：D解析：力传感器通常基于应变、压电、电容等原理。53.微机电系统的封装技术的发展趋势不包括（）A.小型化B.低成本C.高性能D.复杂工艺答案：D解析：封装技术的发展趋势是小型化、低成本和高性能，而非复杂工艺。54.以下哪种不是微机电系统中的微储能元件（）A.超级电容B.微型飞轮C.微电池D.微电感答案：D解析：微电感不属于微储能元件。55.微机电系统中的角度传感器不包括（）A.光电编码器B.旋转变压器C.电位器D.压力传感器答案：D解析：压力传感器不属于角度传感器。56.微机电系统的应用对传感器的要求不包括（）A.高精度B.大量程C.低功耗D.大体积答案：D解析：微机电系统中的传感器通常要求小体积。57.以下哪种不是微机电系统中的微致动元件（）A.形状记忆合金B.压电陶瓷C.电磁线圈D.微电容答案：D解析：微电容不属于微致动元件。58.微机电系统中的位移传感器的测量范围通常在（）A.微米级B.毫米级C.厘米级D.米级答案：A解析：微机电系统中的位移传感器测量范围通常在微米级。59.微机电系统的市场竞争主要体现在（）A.技术创新B.价格C.品牌D.以上都是答案：D解析：市场竞争在技术创新、价格和品牌等方面都有所体现。60.以下哪种不是微机电系统中的微检测元件（）A.热敏电阻B.压敏电阻C.光敏电阻D.微电容答案：D解析：微电容不属于微检测元件。61.微机电系统中的振动传感器不包括（）A.压电式B.电容式C.电感式D.电阻式答案：D解析：电阻式一般不是振动传感器的常见类型。62.微机电系统的发展依赖于（）A.材料科学B.制造技术C.计算机技术D.以上都是答案：D解析：微机电系统的发展依赖于材料科学、制造技术和计算机技术等多方面。63.以下哪种不是微机电系统中的微光学开关（）A.电光开关B.热光开关C.磁光开关D.微电容答案：D解析：微电容不属于微光学开关。64.微机电系统中的液位传感器通常基于（）原理A.电容B.电阻C.电感D.超声波答案：A解析：液位传感器通常基于电容原理。65.微机电系统的应用拓展受到（）的限制A.性能B.成本C.尺寸D.以上都是答案：D解析：性能、成本和尺寸等都会限制微机电系统的应用拓展。66.以下哪种不是微机电系统中的微触觉传感器（）A.压阻式B.电容式C.压电式D.微电容答案：D解析：微电容不属于微触觉传感器。67.微机电系统中的气体传感器不包括（）A.半导体式B.催化燃烧式C.红外式D.微电容答案：D解析：微电容不属于气体传感器。68.微机电系统中的微阀控制方式不包括（）A.电动控制B.气动控制C.液压控制D.电容控制答案：D解析：电容控制通常不是微阀的常见控制方式，前三种是常见的控制方式。69.以下哪种不是微机电系统中的微压力传感器类型（）A.压阻式B.压电式C.电容式D.电感式答案：D解析：电感式一般不是微压力传感器的常见类型。70.微机电系统中的微加速度计的测量范围通常在（）A.g以下B.几个g到数十个gC.数百个g以上D.无固定范围答案：B解析：微加速度计的测量范围通常在几个g到数十个g。71.微机电系统的发展受到以下哪种因素的制约（）A.材料性能B.加工设备C.封装技术D.以上都是答案：D解析：材料性能、加工设备和封装技术等都会对微机电系统的发展产生制约。72.以下哪种不是微机电系统中的微流量控制器件（）A.热式B.压差式C.电磁式D.电阻式答案：D解析：电阻式一般不作为微流量控制器件。73.微机电系统中的微陀螺仪的精度主要取决于（）A.结构设计B.制造工艺C.信号处理D.以上都是答案：D解析：微陀螺仪的精度受到结构设计、制造工艺和信号处理等多方面因素的影响。74.微机电系统在医疗领域的应用不包括（）A.药物输送B.手术器械C.大型医疗设备D.体内检测答案：C解析：大型医疗设备通常不属于微机电系统在医疗领域的应用范畴。75.以下哪种不是微机电系统中的微光学调制器（）A.电光调制器B.声光调制器C.磁光调制器D.电容调制器答案：D解析：电容调制器不属于微光学调制器。76.微机电系统中的微磁场传感器的检测灵敏度通常在（）A.nT量级B.μT量级C.mT量级D.T量级答案：A解析：微磁场传感器的检测灵敏度通常在nT量级。77.微机电系统的可靠性测试不包括（）A.温度循环B.振动测试C.外观检查D.电磁兼容测试答案：C解析：外观检查一般不属于可靠性测试的主要内容。78.以下哪种不是微机电系统中的微机械加工技术（）A.体硅加工B.表面硅加工C.激光加工D.电容加工答案：D解析：电容加工不属于微机械加工技术。79.微机电系统中的微执行器的响应时间通常在（）A.毫秒级B.微秒级C.纳秒级D.秒级答案：B解析：微执行器的响应时间通常在微秒级。80.微机电系统在航空航天领域的应用优势不包括（）A.重量轻B.体积小C.成本低D.精度高答案：C解析：在航空航天领域，微机电系统的成本相对较高，不是其主要优势。81.以下哪种不是微机电系统中的微能源收集技术（）A.振动能量收集B.太阳能收集C.风能收集D.电容收集答案：D解析：电容收集一般不属于微能源收集技术。82.微机电系统中的微传感器的噪声主要来源于（）A.电路噪声B.机械噪声C.环境噪声D.以上都是答案：D解析：微传感器的噪声来源包括电路噪声、机械噪声和环境噪声等。83.微机电系统的封装材料需要具备的力学性能不包括（）A.高强度B.高韧性C.高硬度D.高弹性答案：C解析：高硬度通常不是封装材料主要考虑的力学性能。84.以下哪种不是微机电系统中的微流体驱动方式（）A.电渗驱动B.压力驱动C.磁力驱动D.电容驱动答案：D解析：电容驱动一般不是微流体的常见驱动方式。85.微机电系统中的微光学滤波器不包括（）A.干涉滤波器B.吸收滤波器C.衍射滤波器D.电容滤波器答案：D解析：电容滤波器不属于微光学滤波器。86.微机电系统的性能评估指标不包括（）A.稳定性B.可维护性C.外观D.重复性答案：C解析：外观通常不是微机电系统的性能评估指标。87.以下哪种不是微机电系统中的微机械制造误差（）A.刻蚀误差B.对准误差C.材料缺陷D.电容误差答案：D解析：电容误差不属于微机械制造误差。88.微机电系统中的微致动器的行程通常在（）A.微米级B.毫米级C.厘米级D.米级答案：A解析：微致动器的行程通常在微米级。89.微机电系统在汽车领域的应用不包括（）A.发动机控制B.安全气囊C.自动驾驶D.车身喷漆答案：D解析：车身喷漆不属于微机电系统在汽车领域的应用。90.以下哪种不是微机电系统中的微光学传感器（）A.光纤传感器B.光电传感器C.电容传感器D.图像传感器答案：C解析：电容传感器不属于微光学传感器。91.微机