双主轴晶圆划片机用多丝母组件 技术要求征求意见稿

3T/CASMEXXX—2024双主轴晶圆划片机用多丝母组件技术要求本文件规定了双主轴晶圆划片机用多丝母组件的术语和定义，分类与标记，材料和热处理，制造要求，检验方法，标志、包装、运输和贮存。本文件适用于双主轴晶圆划片机用多丝母组件的制造。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T230金属材料洛氏硬度试验GB/T5617钢的感应淬火或火焰淬火后有效硬化层深度的测定GB/T6060.3表面粗糙度比较样块第3部分:电火花、抛(喷)丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面GB/T17587.3-2017滚珠丝杠副第3部分：验收条件和验收检验GB/T191包装储运图示标志JB/T3207机床附件产品包装通用技术条件3术语和定义双主轴晶圆划片机用多丝母组件Multi-wiremasterelementfordual-spindlewaferscribingmachines双主轴晶圆划片机用多丝母组件将多丝母的旋转运动转化为滚珠丝杠或多丝母自身的的直线运动，具备对轴承和多丝母的润滑、防尘、预紧等功能，由多丝母、回转支承部件组合成的组件。其组成如图1所示:4T/CASMEXXX—2024图1多丝母组件4分类与标记4.1分类4.1.1多丝母组件按其预紧方式不同分为：a)垫片预紧方式（用DP表示）；b)螺纹预紧方式（用LW表示）；4.1.2多丝母组件按公称直径尺寸可分为（mm）：10、20、30、50、63、80…（用数字表示）。4.1.3多丝母组件按公称导程可分为（mm）：5、10、16、20、25、32…（用数字表示）。4.1.4多丝母组件按其旋向不同分为：a)左旋（用L表示）；b)右旋（用R表示）。4.1.5多丝母组件按其负载滚珠圈数分为：2、3、4、5、6…（用数字表示）。4.1.6多丝母组件按其类型不同分为：a)定位型（用D表示）；b)传动型（用C表示）。4.1.7多丝母组件按其精度等级不同分为：3、4、5、7、10，用数字表示。5T/CASMEXXX—20244.2标记多丝母组件型号标记方式表示如下： 示例：XJDP5010L-5-D-P5表示垫片预紧、公称直径50mm、公称导程10mm，公称直径50mm、螺纹旋向左旋、负载滚珠圈数5圈、定位型、精度等级5级的多丝母组件。5原材料与热处理5.1多丝母组件原材料进厂后应进行表面质量检验，主要包括显微组织、外观、形状、表面缺陷、弯曲度的检验；化学成分检验和内部质量的检验，主要包括非金属夹杂物、硬度、疏松、夹渣、偏析、脱碳等检验，合格后才能投产。要求原材料有良好的强度、刚性、耐磨性、耐腐蚀性、冲击韧性、抗疲劳性，以满足多丝母组件的精度、寿命、强度和承载能力及其他特定项目的技术要求。5.2多丝母组件常用材料为高碳铬轴承钢GCr15或GCr15SiMn，回转支撑件常用材料GCr15、40CrMo、40Cr等，采用高温淬火和回火热处理的方式，可以增加材料的硬度和强度，提高其抗拉强度、韧性和抗疲劳性。5.3多丝母组件淬火后，多丝母滚道表面硬度不应低于HRC58，回转支承件经整体淬火，硬度达到HRC58。6要求6T/CASMEXXX—20246.1外观与结构6.1.1多丝母组件表面硬度HRC58~62,硬度层深度0.8~1.2mm。6.1.2多丝母组件光洁度应满足GB/T6060.3的要求。6.1.3多丝母组件的预紧零件应紧固，不允许松动。6.1.4多丝母组件各处油孔应用油塞堵住，油塞应低于外圆表面，不允许高出外圆表面。6.1.5多丝母组件应清洗干净、表面不许磕碰、划伤和锈蚀等缺陷，不应有锐边、尖角等。6.1.6装配后的多丝母组件应进行跑合，其运动应灵活、平稳，无阻滞现象。6.2精度要求6.2.1多丝母组件的行程偏差和变动量应符合GB/T17587.3-2017中第5.2条款的规定。6.2.2多丝母组件的跳动和位置公差应符合GB/T17587.3-2017中第5.3条款的规定。6.3预加载荷多丝母组件的预加载荷应符合GB/T17587.3-2017中第5.4的规定。7检验方法7.1多丝母组件硬度要求按GB/T230规定进行检验。7.2多丝母组件表面的硬化层深度按GB/T5617规定进行检验。7.3多丝母组件表面光洁度按GB/T6060.3规定进行检验。7.4多丝母组件行程偏差和变动量按GB/T17587.3-2017中第5.2规定进行检验。7.5多丝母组件跳动和位置公差按GB/T17587.3-2017中第5.3规定进行检验。7.6多丝母组件预加载荷按GB/T17587.3-2017中第5.4规定进行检验。7.7其余项目用感官及常规量具检测。8检验规则8.1每件产品应经制造厂检验部门检验合格并签发质量合格证后方能出厂。7T/CASMEXXX—20248.2检验项目为本文件规定的技术要求。9标志、包装、运输和贮存9.1.1在多丝母组件的非工作表面上装配后易识别部位，应印有永久性的清晰标志，标志内容包括商标、产品型号、出厂序号等。9.1.2随行文件应放入包装箱内并用塑料袋封装，随行文件应包括合格证明书、使用说明书、装箱单各一份。9.2包装和运输9.2.1产品的包装应符合GB/T