超高真空互联系统技术需求

超高真空互联系统技术需求整体情况介绍1、本次采购设备由圆形传样系统、快速进样品系统、自旋分辨角分辨光电子能谱真空系统、六轴开循环低温样品架和减震型自循环氦液化器五个部分组成一个联通的整体，需要自旋分辨角分辨光电子能谱真空系统、六轴开循环低温样品架和已有设备（自旋分辨角分辨光电子能谱）进行对接使用，实现无缝对接，作为一个整体实现自旋分辨电子能带的测量。2用户已有设备：自旋分辨角分辨光电子能谱，型号为Scienta-Omicron公司生产的DFS30-8000能谱仪和三维FerrumVLEED自旋探测器，对接腔体高度为700mm，外径为306mm，真空低于5x10-11mbar，剩余磁场小于1mG。二、设备参数：1圆形传样系统：1.1圆形传样腔超高真空腔体（内部直径不小于730mm），不锈钢材质，真空可以抽到5x10-10mbar以下，至少包括8个DN100CF法兰口，3个DN150CF法兰口，1个DN200CF法兰口等。1.2传样机械臂及样品抓取装置*1.2.1安装法兰：CF200。*1.2.2旋转自由度：360°连续旋转。*1.2.3旋转精度：不低于0.1°。*1.2.4伸出臂长：最大距离中心可达1200mm，线性伸缩精度可达0.5mm。*1.2.5移动行程：伸出法兰口距离可达820mm。1.3马达控制模块与软件，实现机械臂在腔体内的360°准确定位旋转，机械臂伸缩和升降方向移动。1.4超高真空抽气系统1.4.1离子泵，抽速不低于200L/s。1.4.2吸附剂泵，抽速不低于400L/s，含控制器。1.5超高真空测量系统1.5.1离子规，测量范围：2x10-11mbar-1x10-3mbar，含可烘烤控制线。1.5.2真空规控制器，与已经完成招标的自旋分辨角分辨光电子能谱设备（供货商Scienta-Omicron，型号为DFS30-8000能谱仪加三维FerrumVLEED自旋探测器，对接腔体高度为700mm，外径为306mm）对接，并需集成到真空控制及保护系统中，压力范围：大气压～超高真空(1x10-11mbar)。2快速进样品系统2.1超高真空抽气系统2.1.1超高真空标准的不锈钢腔体，需采用SS316材质，符合超高真空要求，可以连接分子泵，观察视窗等；腔体在充分烘烤后，本底真空好于5x10-8mbar。2.2超高真空抽气系统2.2.1分子泵，抽速不低于80L/s，DN63CF接口。2.2.2涡旋机械泵，抽速不低于12m3/h。2.2.3配有相应的电磁控制安全阀和放气阀。2.3超高真空测量系统2.3.1真空规控制器，与已经完成招标的自旋分辨角分辨光电子能谱设备（供货商Scienta-Omicron，型号为DFS30-8000能谱仪加三维FerrumVLEED自旋探测器，对接腔体高度为700mm，外径为306mm）对接，并需集成到真空控制及保护系统中，压力范围：大气压～超高真空(1x10-11mbar)，测试通道≥6。2.3.2全量程真空规，测量范围：5×10-9mbar–1×103mbar，DN35CF接口，含控制线。2.4样品停放台2.4.1可同时停放12个Flag-Type样品托。2.4.2含CF35法兰的线性驱动装置，75mm行程。2.4.3含CF16法兰的旋转驱动。2.5真空气动闸板阀，超高真空视窗3自旋分辨ARPES真空系统*3.1本真空系统需对接用户已经购买的自旋电子能谱仪（供货商Scienta-Omicron，型号为DFS30-8000能谱仪加三维FerrumVLEED自旋探测器，对接腔体高度为700mm，外径为306mm,真空低于5x10-11mbar，磁场低于1mG），实现无缝对接，供应商投标时必须提供完整和合理的对接方案，包括设计图纸。本次采购的真空系统必须实现与自旋电子能谱仪的无缝对接，使得联合系统的真空低于1x10-10mbar，剩余磁场小于5mG（毫高斯）。3.2超高真空抽气系统3.2.1大抽速分子泵，抽速不低于700L/s。3.2.2单独的分子泵，抽速不低于80Ls/，作为级联分子泵提高主分子泵的压缩比和极限真空。3.2.3无油机械泵，抽速不低于12m3/h。3.2.4吸附剂泵，2000L/s，包含电源控制。3.3超高真空测量系统3.3.1离子规，测量范围：2×10-11mbar–1×10-3mbar，DN35CF接口，含可烘烤控制线。3.3.2真空规，测量范围：5×10-4mbar–大气压，含控制线，装在机械泵与分子泵之间。3.3.3超高真空下运行的质谱仪，能检测真空腔体内剩余气体的质量，测量范围：0-100amu。3.4超高真空腔体，真空低于1x10-10mbar，材质为SS316不锈钢，可连接分子泵，吸附剂泵等，实现与自旋电子能谱仪的无缝对接。3.5附带一个中温蒸发源，最高功率不低于100W，用于金的蒸镀，用于样品费米面和能谱仪的校正。3.6分子泵，大吸附剂泵，圆形传样腔与ARPES真空腔之间有气动闸板阀。4六轴开循环低温样品架*4.1样品台，温度范围满足：6K-350K。*4.2样品架需包含俯仰及面内角等6个自由度，X、Y方向移动范围不低于±12.5mm，Z方向移动范围需满足腔体设计，轴向旋转范围不低于±175°，俯仰角通过马达控制，旋转范围不低于60°（-15°,+45°），面内角通过机械手控制，旋转范围不低于240°(-120°,+120°)。*4.3与已经完成招标的自旋分辨角分辨光电子能谱设备（供货商Scienta-Omicron，型号为DFS30-8000能谱仪加三维FerrumVLEED自旋探测器，对接腔体高度为700mm，外径为306mm）实现无缝对接，供应商投标时必须提供完整和合理的对接方案，包括设计图纸。5减震型自循环氦液化器5.1制冷机及压缩机，制冷功率满足1.8W@4.2K。5.2液氦传输管线，接口尺寸12.7mm。5.3无油机械泵，抽速不低于12m3/h。5.4氦气储存罐、不低于20L。5.5含支架、过滤器、控制柜等。5.6与六轴开循坏低温样品架能顺利对接。三：整体配置清单序号设备部件配置数量1圆形传样系统圆形传样腔超高真空腔体1传样机械臂及样品抓取装置1马达控制模块与软件1超高真空抽气系统离子泵1吸附剂泵1超高真空测量系统离子规1真空规控制器12快速进样品系统超高真空抽气系统腔体1超高真空抽气系统分子泵1涡旋机械泵1电磁控制安全阀1放气阀1超高真空测量系统真空规控制器1全量程真空规1样品停放台1真空气动闸板阀1超高真空视窗13自旋分辨ARPES真空系统真空系统大抽速分子泵1超高真空抽气系统单独的分子泵1无油机械泵1吸附剂泵1超高真空测量系统离子规1真空规1质谱仪1超高真空腔体1中温蒸发源1分子泵14六轴开循环低温样品架样品台1样品架15减震型自循环氦液化器制冷机1压缩机1液氦传输管线1无油机械泵1氦气储存罐1支架1过滤器1控