集成电路晶圆级先进封测生产线建设项目环评报告表

建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：集成电路晶圆级先进封测生产线建设项目建设单位（盖章）：华天科技（江苏）有限公司编制日期：2023年3月中华人民共和国生态环境部制 1 18 71 98 161 165 166、、称改建扩建技术改造不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目（核准/备浦行审备〔2022〕221号设是：依据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类试行）》表1专规划名称：《南京江北新区桥林新城总体规划（规划环评：《江苏省浦口经济开发区开发建设规划（2021-2035）环境影响报告审查文件名称及文号：《省生态环境厅关于南京浦口经济开发区开发建设规划中水回用：规划远期污水再生利用率达到40%。再生水用于城市杂用，主远期至2035年，主导产业为集成电路京浦口经济开发区开发建设规划（2021本项目位置本项目位置本项目位置本项目位置③《南京浦口经济开发区开发建设规划（2021-2035）环境影响报告书》审类别准入内容相符性分析禁止引入类项目1.禁止引入与国家、地方现行产业政策相冲突的项2.禁止引入不符合《长江经济带发展负面清单指南》《江苏省长江经济带发展负面清单实施细则》《南本项目与国家及地方产业政策相符，本项目不使用高VOCs含量的涂料、油墨、胶限制引入类项目空间布局约束污染物排放管控环境风险京市建设项目环境准入暂行规定的通知》等要求的项目。胶粘剂等项目。黏剂等本项目不属于限制类项目，本项目废气经治理后能满足《挥发性有机物（VOCs）污苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南》等要求。本项目已进行镀工序不能剥离论证。本项目未占用基本农田根据监测数据，石碛河水质未达到Ⅲ类水标准。本项目污染物排放总量：大气污染物排放/年、氮氧化物1.1119吨/年、颗粒物0.75吨/年、异丙醇0.228吨/年、VOCs3.06吨/年，水污染物排放量：化学需氧量46.3769吨/总磷0.4642吨/年、总铜0.15吨/年。满足规划近期及远期总量控制要求。详见表1-4。本项目周边无环境敏感目标，且具有完善的风险防控措施，满1.限制引入《产业结构调整指导目录（2019年本）》《江苏省工业和信息产业结构调整限制淘汰目录和能耗限额》中的限制类项目。2.限制引入污染治理措施达不到《挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策》《江苏省重点行业挥发性有机物污染控制南》等要求的项目。3.限制新（扩）建电镀项目，确属工艺需要、不能剥离电镀工序的项目，需组织专家进行技术论证。1.区内永久基本农田区域实行严格保护，确保其面积不减少、土壤环境质量不下降，除法律规定的重点建设项目选址确实无法避让外，其他任何项目不得占用。2．在琼花湖河道两岸设置一定宽度的绿化景观带：在兰桥雅居居民安置小区西北向与工业区相邻区域设置以道路、防护林为主要形式的空间防护带，防护带宽度原则上不小于50米，非生产型企业空间防护距离可以适当缩小，但不应小于30米。3.区内规划的水域和防护绿地，禁止一切与环境保护功能无关的建设活动。1.环境质量：大气环境质量达到《环境空气质量标准》二级标准、《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D其他污染物空气质量浓度参考限值；石碛河和高旺河水环境质量达《地表水环境环境质量》Ⅲ类水标准；土壤达到《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB36600-2018）筛选值中的第一类、第二类用地标准。2.总量控制：大气污染物排放量：近期2025年：二氧化硫137.24吨/年、氮氧化物352.44吨/年、颗粒物238.29吨/年、氨气5.73吨/年、异丙醇9.33吨/吨/年、氮氧化物380.58吨/年、颗粒物250.65吨/吨/年。水污染物排放量：近期2025年：化学需氧量243.69吨/年、氨氮29.6吨/年、总磷2.44吨/年、氟化物5.81吨/年、总铜1.94吨/年。远期2035年：化学需氧量245.06吨/年、氨氮27.89吨/年、总磷2.45吨/年、氟化物5.21吨/年、总铜1.74吨/年。3.其他要求：提高污水处理厂再生水回用率，浦口经济开发区污水处理厂近期20%、远期30%，浦口经济开发区工业污水处理厂远期30%。1.建立区域监测预警系统，实行联防联控。生产、使用、储存危险化学品或其他存在环境风险的企业，应当采取风险防范措施，并根据要求编制环境风险应急预案，防止发生环境污染事故。2.加强布局管控。开发区内部的功能布局应充分考虑风险源对区内及周边环境的影响，储罐区、危废仓库应远离村镇集中区、区内人群聚集的办公楼、周边村庄及河流，且应在规划区的下风向布局，以减少对其项目的影响；区内不同企业风险源之间应尽量远离，防止其中某一风险源发生风险事故引起其他风险源爆发带来的连锁反应，降低风险事故发生的范围。足风险防控要求。资源开发利用1.水资源利用总量为2333万吨/年。2．土地资源可利用总面积上线1976.5公顷，建设用地总面积上线1937.27公顷，工业用地及仓储用地总面积上线1376.17公顷。3．能源利用上线为单位GDP综合能耗0.31吨标煤/万元。本项目新鲜水用量2415190吨/年，用地面积169367平方米，满足资源开发利用要求污染物已批复总量规划总量本项目总量是否满足总量控制近期远期大气污染物二氧化硫92.76137.24156.29是氮氧化物231.54352.44380.58是颗粒物200.07238.29250.650.75是异丙醇7.6479.330.228是VOCs114.13162.263.06是生产废水污染物化学需氧量185.43243.69245.0645.0169是氨氮29.627.892.2508是总磷2.442.450.4502是总铜0.15是生活污水污染物化学需氧量185.43243.69245.06是氨氮29.627.890.068是总磷2.442.450.014是因此，本项目与《江苏省浦口经济开发区开发建设规划（2021-2035）环境—6—本项目不属于《市场准入负面清单（2022年版）》中禁止或许可准入类项对照《江苏省工业和信息产业结构调整指导目录（2012年本2013年修芯片规模封装（CSP）、多芯片封装（MCM）等先进封装与测试”、“20、集成管控类别重点管控要求相符性分析长江流域空间布局约束加强生态空间保护，禁止在国家确定的生态保护红线和永久基本农田范围内，投资建设除国家重大战略资源勘查项目、生态保护修复和地质灾害治理项目、重大基础设施项目、军事国防项目以及农民基本生产生活等必要的民生项目以外的项目。本项目不在国家确定的生态保护红线和永久基本农田范围内。禁止在沿江地区新建或扩建化学工业园区，禁止新建或扩建以大宗进口油气资源为原料的石油加工、石油化工、基础有机无机化工、煤化工项目；禁止在长江干流和主要支流岸线1公里范围内新建危化品码头。本项目不属于石油加工、石油化工、基础有机无机化工、煤化工项目，不新建危化品码头。强化港口布局优化，禁止建设不符合国家港口布局规划和《江苏省沿江沿海港口布局规划（2015-2030年）》《江苏省内河港口布局规划（2017-2035年）》的码头项目，禁止建设未纳入《长江干线过江通道布局规划》的过江干线通道项目。本项目不属于码头项目和过江干线通道项目。禁止新建独立焦化项目。本项目不属于独立焦化项目。污染物排放管控根据《江苏省长江水污染防治条例》实施污染物总量控制制度。本项目实施污染物总量控制制度。全面加强和规范长江入河排污口管理，有效管控入河污染物排放，形成权责清晰、监控到位、管理规范的长江大河排污口监管体系，加快改善长江水环境质量。本项目废水接管污水处理厂，不直接排放。环境风险防范沿江环境风险。深化沿江石化、化工、医药纺织、印染、化纤、危化品和石油类仓储、涉重金属和危险废物处置等重点企业环境风险防控。本项目具有完善的风险防控措施。（2）与《南京市“三线一单”生态环境分区管控实施方案》相符性分析管控类别重点管控要求相符性分析江苏省南京浦口经济开发区空间布局约束（1）执行规划和规划环评及其审查意见相关要求。（2）优先引入：智能制造、集成电路、新能源汽车、新一代信息技术、智能交通、智能装备制造、现代物流。（3）禁止引入：非环保类研发项目；不符合全国和省级港口布局规划以及港口总体规划的码头项目；不符合《长江干线过江通道布局规划》的过江通道项目；露天和敞开式喷涂作业（除工艺有特殊要求外）。本项目从事集成电路的封装与测试，属于优先引入项目，符合要污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，采取有效措施减少主要污染物排放总量，确保区域环境质量持续改善。园区污染物排放总量按照规划和规划环评及其审查意见的要求进行管控。本项目实施污染物总量控制制度。环境风险（1）园区建立环境应急体系，完善事故应急救援体系，加强应急物资装备储备，编制突发环境事件应急预案，定期开展演练。（2）生产、使用、储存危险化学品或其他存在环境风险的企事业单位，应当制定风险防范措施，编制完善突发环境事件应急预案，防止发生环境污染事故。（3）加强环境影响跟踪监测，建立健全各环境要素监控体系，完善并落实园区日常环境监测与污染源监控计划。企业已制定风险防范措施，建议企业编制完善突发环境事件应急预案，防止发生环境污染事故。资源利用效率要求（1）引进项目的生产工艺、设备、能耗、污染物排放、资源利用等均须达到同行业先进水平。（2）按照国家和省能耗及水耗限额标准执行。（3）强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型园区建设，提高资源能源利用效率。本项目采用先进的生产工艺和设备，各资源利用效率较高。环境质量底线环境质量底线项目相符性分析生态保护红线本项目选址位于南京浦口经济开发区，距离最近的国家级生态保护红线范围为东南6.8km处的桥林饮用水水源保护区（备用），距离最近的生态空间管控区域范围为西北10km生态保护红线生态管控区域和生态红线保护范围内，对生态环境影响小。《南京浦口经济开发区环境影响评价区域评估报告》显示，根据2019年10月17日～10月23日引用监测数据，各监测点，非甲烷总烃能够满足空《大气污染物综合排放标准详解》的标准限值。《南京新能源汽车产业创气新中心项目环境影响报告表》现状监测报告显示，根据2021年3月24日~环3月26日引用监测数据，锡及其化合物满足质量标准要求。本项目硫酸雾境废气经碱液喷淋吸收塔后通过P1-1排气筒达标排放、异丙醇、非甲烷总烃、锡及其化合物经沸石+RTO后经P1-2排气筒达标排放、颗粒物经滤筒除尘处理后达标排放，对大气环境影响较小地表水《南京浦口经济开发区环境影响评价区域评估报告》显示，开发区区域内石碛河W2、W3断面SS超标，W2、W3、W4断面BOD5超标，W3、W4断面COD超标，W4断面高锰酸盐指数超标，其他内河水质均达到《地表水环境质量》（GB地表水地下水三个地下水监测点位中，D1、D2监测点地下水中锰优于《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）地下水声项目区域声环境质量较好。土项目所在地土壤各监测指标均能满足《土壤环境质量建设用地土壤污染风壤险管控标准》（GB36600-2018）第二类用地的筛选值。资源利用上线本项目用水来自自来水管网，用电由市政电网所供给，项目用地用途为工业用地，符合当地土地规划要求，不会达到资源利用上限。负面清单本项目属于《中共南京市委南京市人民政府关于优化全市区域功能定位和产业布局的意见》（宁委发〔2016〕23号）中优先开发区域，符合《关于印发长江保护修复攻坚战行动计划的通知》（环水体〔2018〕181号）的要求，不属于《市政府关于印发南京市建设项目环境准入暂行规定的通知》（宁政发〔2015〕251）、《南京市制造业新增项目禁止和限制目录（2018）版》（宁委办发〔2018〕57号）中限制类项目；不属于《市场准入负面清单（2022年版）》中禁止准入类项目，同时也不在许可准入清单以内的行业，对照清单，对市场准入负面清单以外的行业、领域、业务等，各类市场主体皆可依法平等进入，符合地区准入要求和其他相关要求。根据桥林新城规划发展的重点产业优先、限制、禁止发展项目清单，本项目属于优先发展的“集成电路的芯片制造、封装测试、卫星导航、大数据产业”，不在限制发展的项目类别内，不在禁止发展的“制革、化工、印染、酿造生产项目；使用非水性料、胶黏剂的项目；纯电镀项目；含重金属、持久性有机物等有毒有害废水达不到零排放的项目；禁止生产方式落后、高耗能、严重浪费资源和污染环境大的项目”。（1）与《南京市建设项目环境准入暂行规定》（宁政发〔2015〕251号）序号文件要求相符性分析1新（扩）建工业生产项目必须进入经各级政府认定的开发园区或工业集中区（为研发配套的组装加工项目除外）。项目选址位于浦口经济开发区内符合2江南绕城公路内不得新（扩、改）建工业生产项目（节能减排、清洁生产、安全除患以及为研发配套的组装加工项目除外）。本项目不涉及符合3城市清洁空气廊道保护区（都市区生态廊道和城市通风走廊）内，严控各类开发区扩园和新增成片新区建设，严控大型构筑物和排放废气的项目建设。本项目不涉及符合本项目不涉及符合本项目不涉及符合4地区和长江二桥至三桥沿岸）不得新（扩）建工业项目（节能减排、清洁生产、安全除患和油品升级改造项目除外）及货运码头。5除南京化工园区外，其他区域不得新（扩、改）建化工生产项目（节能减排、清洁生产、安全除患、油品升级改造和为区域配套的危险废物集中处置、气体分装、无化学反应的工业气体制造项目除外）。南京化工园禁止新（扩）建农药和染料中间体、光气以及排放恶臭气体且不能有效治理的化工项目，禁止新增限制类项目产能以及落后工艺和落后产品。玉带片区从严控制化工生产项目。本项目从事集成电路的封装和测试，不属于化工生产项目。符合6建电镀项目。确属工艺需要、不能剥离电镀工序的项目，需由环保部门会同经济主管部门组织专家技术论证，通过专家论证同意后方可审批建设。本项目从事集成电路的封装和测试，涉及电镀工序不可剥离，已经组织专家进行技术论证，论证材料见附件。符合7石油焦等高污染燃料的设施和装置。本项目不涉及符合8秦淮河、滁河以及固城湖、石臼湖流域禁止新（建酿造、制革等水污染重的项目，禁止新（扩）建工业生产废水排水量大于1000吨/日的项目，禁止新（扩）建排放含汞、砷、镉、铬、铅等重金属以及持久性有机污染物的工业项目（六合红山表面处理中心除外）。本项目选址位于浦口经济开发区，不在上述范围内。符合9太湖流域禁止建设氮、磷为特征因子的工业项目。本项目选址位于浦口经济开发区，不在太湖流域范围。符合序号文件要求相符性分析1第十五条排放挥发性有机物的生产经营者应当履行防治挥发性有机物污染的义务，根据国家和省相关标准以及防治技术指南，采用挥发性有机物污染控制技术，规范操作规程，组织生产经营管理，确保挥发性有机物的排放符合相应的排放标准。本项目产生的有机废气采用沸石+RTO工艺进行处理，满足排放标准后排放。符合2第二十一条产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者密闭设备中进行。生产场所、生产设备应当按照环境保护和安全生产等要求设计、安装和有效运行挥发性有机物回收或者净化设施；固体废物、废水、废气处理系统产生的废气应当收集和处理；含有挥发性有机物的物料应当密闭储存、运输、装卸，禁止敞口和露天放置。无法在密闭空间进行的生产经营活动应当采取有效措施，减少挥发性有机物排放量。本项目车间有机废气产生点均设置收集系统，收集后的废气再经沸石+RTO处理达标后有组织排放；危废库产生的有机废气收集与车间有机废气一起处理后排放。符合②与《江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南》（苏环办〔2剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等环保材料，减少VOCs污染物的产生量。2、对式处理。”请与核发技术规范电子工业》（HJ1031-2019）推荐的吸附浓缩），达95%以上。因此本项目符合《江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南》③与《关于进一步加强涉VOCs建设项目环评文件审批有关要求的通知》序号文件要求相符性分析1严格标准审查环评审批部门按照审批权限，严格排放标准审查。有行业标准的严格执行行业标准，无行业标准的应执行国家、江苏省相关排放标准，鼓励参照天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）等标准中最严格的标准。VOCs无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》本项目污染物的排放执行《半导体行业污染物排放《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）。符合234(GB37822-2019)，并执行厂区内VOCs特别排放限值。符合符合符合严格总量审查市生态环境局、各派出局总量管理部门严格排放总量审查（含各行政审批局负责审批的建设项目）。VOCs排放量优先采用国家大气源清单统计数据。涉新增VOCs排放（含有组织、无组织排放）的建设项目，在环评文件审批前应取得排放总量指标，并实施2倍削减替代。对未完成VOCs总量减排任务的区（园区），暂缓其涉新增VOCs，排放的建设项目审批。本次环评在审批前已经完成VOCs的平衡总量指标。全面加强源头替代审查环评文件应对主要原辅料的理化性质、特性等进行详细分析，明确涉VOCs的主要原辅材料的类型、组分、含量等。使用涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等材料的，VOCs含量应满足国家及省VOCs含量限值要求（附表），优先使用水性、粉末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低VOCs含量、低反应活性材料，源头控制VOCs产生。禁止审批生产和使用高VOCs含量的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等建设项目。由于晶圆对清洗工艺要求高，目前半导体行业清洗剂基本以溶剂型为主，暂时未研发出可替代的水性清洗剂。企业在生产过程采用先进工艺和设备，实现设备、从源头减少VOCs泄漏环节，可减少物料损耗，认真落实各项污染防治措施，减少污染物排放。《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2020）中明确：“本标准不适用于航空航天，核工业、军工、半导体（含集成电路）制造用清洗集成电路）制造，故本项目使用的有机清洗剂不执行该标准。全面加强无组织排放控制审查涉VOCs无组织排放的建设项目，环评文件应严格按照《挥发性有机物无组织排放标准》等有关要求，重点加强对含VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等5类排放源的VOCs管控评价，详细描述采取的VOCs废气无组织控制措施，充分论证其可行性和可靠性，不得采用密闭收集、密闭储存等简单、笼统性文字进行描述。生产流程中涉及VOCs的生产环节和服务活动，在符合安全要求前提下，应按要求在密闭空间或者设备中进行。无法密闭的，应采取措施有效减少废气排放，并科学设计废气收集系统。采用全密闭集气罩或密闭空间的，除行业有特殊要求外，应保持微负压状态，并根据规范合理设置通风量。采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的VOCs本项目涉及VOCs无组织排放，主要是工艺废气的未能收集部分及危废库内危险废物的挥发。本次工艺废气产生点均采用微负压方式收集，收集效率可达90以上%。56无组织排放位置，控制风速应不低于0.3米/秒。VOCs废气应遵循“应收尽收、分质收集”原则，收集效率应原则上不低于90%，由于技术可行性等因素确实达不到的应在环评文件中充分论述并确定收集效率要求。加强载有气态、液态VOCs物料的设备与管线组件的管理，动静密封点数量大于等于2000个的建设项目，环评文件中应明确要求按期开展“泄漏检测与修复”（LDAR）工作，严格控制跑冒滴漏和无组织泄漏排放。符合符合全面加强末端治理水平审查涉VOCs有组织排放的建设项目，环评文件应强化含VOCs废气的处理效果评价，有行业要求的按相关规定执行。项目应按照规范和标准建设适宜、合理、高效的VOCs治理设施。单个排口VOCs（以非甲烷总烃计）初始排放速率大于1kg/h的，处理效率原则上应不低于90%，由于技术可行性等因素确实达不到的，应在环评文件中充分论述并确定处理效率要求。非水溶性的VOCs废气禁止采用单一的水或水溶液喷淋吸收处理。除恶臭异味治理外，不得采用低温等离子、光催化、光氧化、生物法等低效处理技术。环评文件中应明确，VOCs治理设施不设置废气旁路，确因安全生产需要设置的，采取铅封、在线监控等措施进行有效监管，并纳入市生态环境局VOCs治理设施旁路清单。不鼓励使用单一活性炭吸附处理工艺。采用活性炭吸附等吸附技术的项目，环评文件应明确要求制定吸附剂定期更换管理制度，明确安装量（以千克计）以及更换周期，并做好台账记录。吸附后产生的危险废物，应按要求密闭存放，并委托有资质单位处置。鼓励实施集中处置。各区（园区）应加强统筹规划，对同类项目相对较为集中的区域（同一个街道或者毗邻街道同类企业超过10家的鼓励建设集中喷涂、溶剂集中回收、活性炭集中再生等VOCs废气集中处置中心，实现集中生产、集中管理、集中治污。本次环评已在措施章节分析了措施可行性论述。根据工程分析，本项目生产过程中产生的有机废气采用沸石转轮+RTO工艺对有机废气进行处理，有机废气净化效率可达90%。本项目危废库有机废气收集后与生产过程中产生的有机废气一起处理后排放，有机废气净化效率≥95%。全面加强台账管理制度审查涉VOCs排放的建设项目，环评文件中应明确要求规范建立管理台账，记录主要产品产量等基本生产信息；含VOCs原辅材料名称及其VOCs含量（使用说明书、物质安全说明书MSDS等采购量、使用量、库存量及废弃量，回收方式及回收量等；VOCs治理设施的设计方案、合同、操作手册、运维记录及其二次污染物的处置记录，生产和治污设施运行的关键参数，废气处理相关耗材环评报告中已明确要求企业做好VOCs管理台账，台账保存期限不少于三年。（吸收剂、吸附剂、催化剂、蓄热体等）购买处置记录；VOCs废气监测报告或在线监测数据记录等，台账保存期限不少于三年。7严格项目建设期间污染防治措施审查在项目建设过程中涉及使用涂料、油漆、胶黏剂、油墨、清洗剂等含VOCs产品的，环评文件中应明确要求企业优先使用符合国家、省和本市要求的低（无）VOCs含量产品。同时，鼓励企业积极响应政府污染预测预警，执行夏季臭氧污染错时作业等要求。由于行业特殊性，半导体行业使用的溶剂型清洗剂暂时不可替代，企业将提高过程控制与末端治理力度，将污染影响降至最低程度。符合项目的建设与《关于进一步加强涉VOCs建设项目环评文件审批有关要求的通④《市政府办公厅关于印发南京市“两减六治三提升”13个专项行动实施方①与《关于进一步加强重金属污染防控的意见》（环固体〔2022〕17号）），评和行业环境准入管控要求。因此，本项目的建设符合环固体〔2022〕17号要②《关于进一步加强涉及重金属污染建设项目环评审批的通知》（苏环办华天科技是我国集成电路封测行业领军企业，产业规模位列国内第二户要求及行业技术标准和规范，为客户提供专业的集成电路封装测试服务。类、基板类、晶圆级等从低端到高端300亿只/年的集成电路封测能力。公施等，建设具有国际领先水平的Bumping、WLCSP），根据《中华人民共和国环境保护法》（2015.1.1）《中华人民共和国环以及其他相关建设项目环境保护管理的规定，要求本项目进行环境影响评价。根据《建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版）》（生态环术人员进行现场踏勘，同时根据项目的工程特征和项目建设区域的环境状序号生产车间工程名称产品名称及规格设计能力年运行时数1生产厂房1Bumping生产线Bumping84万片7920hWLCSP生产线WLCSP24万片Bumping：当半导体集成电路芯片制程发展到40nm及以下时，传统的WireBonding和FlipChip技术难以实现芯片与外部的连接，而Copper品主要应用领域为智能手机、笔记本、计算机、汽车电子、生物医疗、5G（6）封装良品率：≥98.5%寸。WLCSP平台最初用于大量的PMIC器件，但如今它的应用已经延伸至更多应用，如开关、天线调谐器、射频收发器、滤波器、无线充电IC、部分CIS器件和NFC控制器等。产品主要应用领域为模拟混合信号、无线传器芯片、陀螺仪传感芯片、单元控制器等。产品技（5）封装良品率≥99%产品镀种电镀锡银Bumping面积1406m2922m21100m2754m2厚度50μm3μm25μm9μm建筑编号名称层数占地面积建筑面积计容面积备注1生产厂房1319552.1069790.3989251.59本期2甲类仓库1720720720本期3乙类仓库35485本期4动力中心8100.6732479.632564.7本期5大宗气体000本期6110kV变电站22227.653496.94本期7食堂4262413387.2113387.21本期9倒班楼161321.977959.947959.94本期倒班楼52/141829.2820263.3120263.31本期地下室-17592.00本期1本期1本期架空连廊4278本期架空连廊5278本期总计35643.02154771.1168150.69注：110kV变电站另行办理环评，本环评不包含该内容。表2-4本项目主体工程及公辅工程一览表建设名称设计能力备注主体工程生产厂房119693.52m2，3F一层为非洁净的生产支持区及洁净Bumping生产车间；二、三层为非洁净的生产支持区及洁净WLCSP生产车间；生产支持区主要包含空调机房、变配电站、空压站等。生产测试楼丁类二级厂房，占地面积2400m2（100m×24m），8F，建筑高度为31.95m用于办公、测试甲类仓库占地面积720m2，1F位于厂区西侧，本期项目部分原辅料位于甲类仓库乙类仓库位于厂区西侧，本期项目部分原辅料位于乙类仓库危废仓库危废仓库240m2位于甲类仓库；用于存放危废公用给水系统2812208m3/a自来水由市政自来水管网供给排水系统生产废水：1500563m3/a生活污水：45302m3/a厂区实施雨污分流、污污分流。生产废水经厂内污水处理站预处理后，部分回用，剩余接管南京浦口经济开发区工业废水处理厂集中处理；食堂污水经隔油后，与其他生活污水一起经化粪池预处理后接管南京浦口经济开发区污水处理厂集中处理。供电系统12441.60万度/年电源引自浦口经济开发区桥林园区变电站及厂内110kV变电站。循环冷却系统4000m3/h×2、2800m3/h×2总循环水量13600m3/h，补水为自来水。工艺循环冷却水：每栋厂房设置独立的工艺循环冷却水系统，总循环量1000m3/h，系统形式采用密闭式系统，板式换热器换热。常温循环冷却水：12600m3/h，该系统为冷冻机和空压机提供32-38℃的常温循环冷却水系配套1000m3的循环水池。动力中心，丁类二级厂房，建筑高地下一层为生产和消防水泵房、废水站、消防水池、生产水池；地上一层为纯水站，二、三层为动力站，包含变配电室、冷机、气体动力等，动力站屋面放置为工业型冷却塔。压缩空气5台，总设计能力为430Nm³/min采用水冷离心式空压机，提供无油压缩空气。空气经预过滤器过滤，由空压机压缩后进入压缩热吸附式干燥器干燥后，再进过滤器过滤，经压缩空气缓冲罐供给各生产厂房。冷水机组在动力站二、三楼设置低温冷水机（7℃)、中温冷水机（14℃)及中温热回收机，供应各建筑空调及工艺使用。纯水站设计制水能力200m3/h纯水设备主要包括砂滤器、活性炭过滤器、一级RO反渗透机组、二级RO反渗透机组、度为23.3mEDI系统等。纯水管路采用主管循环供回水系统。2台100t/h纯水机，纯水制备得率0.75。本项目纯水用量1569685t/a（198t/h）。真空系统24000m³/h工艺真空系统真空站设置在动力站三层。工艺真空真空度660mmHg。厂房真空站采用喷油螺杆式真空泵，采用n+1配置方式。供热系统4.2MW×2台，热水锅炉主要作为生产厂房初期回收热源不足时补充热源使用，当产能达50%回收热源充足时，热水锅炉即停止仅当作紧急备援使用。大宗气站制氮站3000Nm3/h×1台采用空分制氮。提供氮气，氮气纯度99.999%，制氮站配套液氮缓冲罐和液氮储存罐。天然气职工食堂采用天然气，用量来自市政天然气管道倒班楼1占地面积1321.97m2，6F建筑的二层～六层为主要的倒班楼层，并设置活动室、洗衣房等生活辅助用房。倒班楼5占地面积1829.28m2，2/14F建筑的二层～十四层为主要的倒班楼层，并设置活动室、洗衣房等生活辅助用房。食堂占地面积2624m2，6F/共设置2个门卫室，占地面积分别为15m2、180m2，1F/初期雨水池设置三座初期雨水池及配套收集管网，共计2339m31#初期雨水池位于食堂南侧，容积574m3；2#初期雨水池位于生产测试楼东侧，容积227m3；3#初期雨水池位于生产测试楼东侧，容积1538m3环保废气处理①Bumping生产线电镀铜、电镀镍、电镀锡银、电镀金、铜刻蚀等工序产生的酸性废气通过酸碱废气处理系统（碱液喷淋，碱性洗涤塔2台并联）处理后通过30m高P1-1#排气筒（位于生产厂房1楼顶）排放，共2台风机，风机风量共140000m3/h；含氰废气经碱液喷淋处理后通过30m高P1-2#排气筒（位于生产厂房1楼顶）有组织排放，风机风量为50000m3/h。②WLCSP生产线酸洗工序，Bumping生产线涂布、曝光、软烤、硬烤、等离子去胶、光刻胶去除、焊料成球等工序产生的有机废气经收集后通过管道引至楼顶，利用有机废气处理系统（3套沸石并联+1套RTO）处理后通过30m高P1-3#排气筒（位于生产厂房1楼顶）排放，风机风量为60000m3/h×3；③WLCSP生产线回流焊工序产生锡及其化合物，Bumping生产线回流焊工序产生锡及其化合物和非甲烷总烃，与有机废气一起收集处理后排放（P1-3#排气筒）④WLSCP生产线激光打印工序产生的含尘废气经收集后通过管道引至楼顶，经1套滤筒除尘处理后通过30m高P1-4#排气筒（位于生产厂房1楼顶）排放，风机风量为20000m3/h；⑤锅炉天然气燃烧废气，天然气属于清洁能源，2台锅炉的天然气燃烧废气通过1根27m高排气筒排放（排气筒编号为P1-5#烟气量为5200m3/h；⑥RTO天然气燃烧废气，通过P1-3#排气筒排放；⑦污水处理站废气通过动力车间楼顶P1-6#排气筒排放，高30m，风机风量150000m3/h；⑧食堂油烟经油烟净化设备处理后排放，烟道排口高8m（编号为P1-7#），风量为22000m3/h；废水处理①切割废水进入切割废水处理系统（设计处理能力为6000t/d）处理后部分回用于纯水制备，其余的进入厂区综合废水调节系统（设计处理能力为3600t/d）处理达标后接管浦口经济开发区工业废水处理厂；②研磨废水进入研磨废水处理系统（设计处理能力为840t/d）处理后部分回用于纯水制备，其余的进入厂区综合废水调节系统（设计处理能力为3600t/d）处理达标后接管浦口经济开发区工业废水处理厂；③一般、酸碱、有机废水先进入一般、酸碱、有机废水处理系统（设计处理能力为2222t/d）处理后进入厂区综合废水调节系统（设计处理能力为3600t/d）处理达标后接管浦口经济开发区工业废水处理厂；④纯水站反冲洗水、废气洗涤塔水进入厂区综合废水调节系统（设计处理能力为3600t/d）处理后接管浦口经济开发区工业废水处理厂；⑤含镍废水先进入含镍废水处理系统（设计处理能力为480t/d）处理后车间达标排放接管至浦口经济开发区工业废水处理厂，含锡银废水进入含银废水处理系统（设计处理能力为480t/d）处理后车间达标排放接管至浦口经济开发区工业废水处理厂，含氰废水进入含氰废水处理系统（设计处理能力为240t/d）后与其他含重金属废水（含铜、钛）进入其他重金属废水处理系统，这两股废水处理达标后进入一般、酸碱、有机废水处理系统，再进入综合废水调节系统，最后接管至浦口经济开发区工业废水处理厂。⑤循环冷却系统排水、纯水制备弃水、锅炉排水直接接管浦口经济开发区工业废水处理厂；⑥食堂废水经隔油池预处理后与其他生活污水一起经化粪池预处理，一并接入市政污水管网，接管浦口经济开发区污水处理厂集中处理。固废处置生活垃圾垃圾桶若干，环卫清运固体废物零排放一般工业480m2，位于厂区西南侧甲类仓库危险废物240m2，位于厂区西南侧甲类仓库事故应急消防水池室外消防水箱一座，846m3，位于生产测试楼满足应急需求应急事故池设置两座应急池及配套收集管网，共计1500m3；位于动力站房负一层建设内容根据建设单位提供数据资料，本项目的主要原辅材料和能源消耗见表类别名称规格组分年耗量单位全厂最大仓储量包装储存方式包装方式储存地点来源及运输原辅料WLCSP生产线24万片1/室内/盒装原料仓库国内运输5L/桶3%-6%醋酸0.32t0.045L/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输锡球/铁、锌、锡、银、铜等2400瓶30061.11g/瓶室内/瓶装原料仓库国内运输助焊剂/松香/树脂60%-70%、苄醇30%-40%7.2kg0.9150g/支室内/瓶装学品库国内运输助焊剂清洗液/95%乙二醇醚、5%水0.76t0.0919kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输研磨贴布230mm*100mmPVC，PET，PO，丙烯酸树脂等400卷50230mm*50m/卷室内/卷原料仓库国内运输背面贴布230mm*50m330mm*50mPET，PO，丙烯酸树脂200卷25230mm*50m/卷330mm*50m/卷室内/卷原料仓库国内运输UV膜/蓝膜300mm*100m400mm*100mPVC，PET，PO，丙烯酸树脂233卷29300mm*100m/卷400mm*100m/卷室内/卷原料仓库国内运输二氧化碳/液态二氧化碳t0.0615kg/瓶瓶装乙类化学品库国内运输切割液KetecaDiamaflow388LB94%水，1.9%聚乙二醇、4.1%甲基环氧乙烯，与环氧乙烯的聚合物，单（辛基苯）醚等4000桶5001加仑/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输载带依据芯片尺寸而定聚碳酸酯320万米40AO=1.0BO=1.0室内/纸箱装原料仓库国内运输Bumping万1/室内/盒原料仓国内运生产线片装库输异丙醇≥99.7%40t2000L20L/桶室内/桶装学品仓国内运输光刻胶HD41001-甲基-2-吡咯烷酮50-60%、芳香肟（1-10%）8t1kg/瓶室内/瓶装乙类化学品库国内运输负胶显影液KS5400环戊酮≥98%30t210kg/桶室内/桶装学品库国内运输负胶漂洗液KS7200丙二醇甲醚醋酸酯＞98%550t210kg/桶室内/桶装学品库国内运输钛靶材Ti99.999%Ti99.999%28（0.95t）个1/室内/盒装原料仓库国内运输铜靶材Cu99.999%Cu99.999%50（0.252t)个1/室内/盒装原料仓库国内运输金靶材Cu99.999%Cu99.999%（0.05t）个1/室内/盒装原料仓库国内运输光刻胶JSR151丙烯酸树脂30%～45%、多官能丙烯酸酯15%～25%、光敏剂5%~15%、丙二醇甲醚醋酸酯30%~40%6t0.241加仑/瓶室内/瓶装乙类化学品库国内运输边胶清洗液GCTOK73异甲基醚丙二醇70%，乙酸丙二醇异甲基醚酯30%50t24kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输显影液TMAH2.38%四甲基氢氧化铵2.38%、剩余量为水930t21加仑/瓶室内/瓶装乙类化学品库国内运输电镀铜阳极英寸（2cmCu99.999%、P0.001%610（7.936t)个/室内/盒装原料仓库国内运输电镀镍阳极镍阳极板，Ni99.999%（0.221t)个/室内/盒装原料仓库国内运输电镀锡阳极Sn阳极板，Sn99.999%,56（0.297t)个3/室内/盒装原料仓库国内运输电镀铜药液MICROFABSC40MU硫酸铜20%—30%；硫酸10%—20%；聚二硫二丙烷磺酸钠＜1%；脂肪胺聚氧乙烯醚＜1%15720kg20kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀铜添加剂MicrofabSCR1硫酸1-10%、水90-99%990kg404kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀铜添加剂MicrofabSCR22甲氧基1丙醇0.00001-0.0001%、水99%kg204kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀铜补充液MicrofabSCcoppersulfate硫酸铜20-30%、硫酸0-1%、水69%-80%15720kg50020kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀铜补充液浓硫酸浓硫酸（95％-98%)510kg400.5kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀镍药液MICROFABNi100氨基磺酸镍20%—30%；硫酸镍1%；硼酸5%—10%；十二烷基磺酸钠＜1%；盐酸＜1%；其余为水10200kg72020kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀锡银IshiharaUTBTS-140base甲基磺酸锡10%、甲基磺酸银0.05%、甲基磺酸10%、有机化合物6%、水79%7100kg40020kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀锡银：锡离子添加剂IshiharaUTBTS-TIN15水50%12600kg15kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀锡银：银离子添加剂IshiharaUTBTS-Ag-S面活性剂25%、水72%kg5020kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀锡银：银离子稳定剂IshiharaUTBTS-SLG表面活性剂35%、水65%kg20kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输基磺酸添加剂IshiharaUTBTS-Acid甲基磺酸70%、水30%2090kg10kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀锡银：平整机添加剂IshiharaUTBTS-140AD甲醇10％、表面活性剂10%、有机化合物5%、水75%650kg2010kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀锡银：除泡剂IshiharaUTBAntifoamer甲醇（70g/l）、剩余量为水kg11kg/桶室内/桶装学品库国内运输铜蚀刻液KS_6205剩余量为水76t0.910kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输钛蚀刻液组成液KS_6506-A氢氧化钾1%-10%、剩余量为水t0.34511.5kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输钛蚀刻液组成液KS_6506-B双氧水28%-34%、剩余量为水90t0.2528.4kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输去胶液CZ825酮类99%，1%四甲基氢氧化铵t20kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输99%t0.41加仑/瓶室内/瓶装乙类化学品库国内运输电镀金补充液Pur-A-Gold402MakeUp无机酸1-10%；二氰金酸钾800L20L/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀金补充液Pur-A-Gold402MakeUp二氰金酸钾60-70%；氰化钾800L20L/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀金药液Pur-A-GoldAcidAdjustingsalt有机酸80-100%kg5005kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输电镀金药液Pur-A-GoldBaseAdjustingsalt80-100%：有机盐kg5005kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输金蚀刻液UE-350碘4%～10%；碘化钾10%～25%；水63%～85%t0.510kg/桶室内/桶装乙类化学品库国内运输/氮气/氮气2.59*107NM340L/瓶室内/瓶装大宗气站国内运输/氩气/氩气4.75*104NM340L/瓶室内/瓶装库国内运输注：本项目各原辅料使用量为企业根据华天其他厂区同类产品长期实际生产情况计算得出，可满足本项目产能需求。表2-6主要原辅材料理化性质及毒理物料名称分子式CAS号危规号理化性质燃烧爆炸性毒理性质C2H4O281601无色透明液体，有刺激性酸臭；分子量60.05；熔点16.7℃;沸点118.1℃;相对密度(水=1)1.05；相对蒸气密度(空气=1)2.07；饱和蒸汽压爆炸极限4.0-17.0；溶于水、醚、甘油，不溶于二硫化碳。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与铬酸、过氧化钠、硝酸或其他氧化剂接触，有爆炸危险。LD50：3530mg/kg（大鼠经LC50：13791mg/m3，1小时（小鼠吸入）锡7440-31-5/灰绿色粉末。分子量118.69；熔点231.9℃;相对密度(水=1)7.31；不溶于水，溶于稀盐酸、硫酸、硝酸。//松香//淡黄色透明及不透明颗粒或块状，有特殊树脂的气味。遇火种、高温、氧化剂都有引起燃烧的危险。燃烧时放出有毒烟雾和蒸汽。/乙二醇醚C4H10O3110-80-5/无色液体，几乎无气味；分子量90.12；熔点-70℃;沸点135.1℃;相对密度(水=1)0.94；闪点43℃LD50：3460mg/kg（大鼠经氢氧化钠NaOH1310-73-282001熔点(℃)：318.4，沸点(℃)：1390，饱和可致人体灼伤。LD50：无资料LC50：无资料溶解性：易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙酮。异丙醇C3H8O67-63-032064性状：无色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味。分子量：60.10。熔点(℃)：-88.5，沸点(℃)：80.3，饱和蒸汽压：4.40(20℃)，相对密度（水=10.79，相对密度（空气=12.07，溶解性：溶于水、醇、醚、苯、氯仿等多数有机溶剂。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触猛烈反应。在火场中，受热的容器有爆炸危险。闪点(℃)：12引燃温度(℃)：399爆炸极限：2.0-12.7%LD50：5045mg/kg（大鼠经醇C4H10O2——无色透明液体，密度：0.922g/mL；相对蒸汽密-97；沸点(ºC，常压118；折射率（20ºC1.4034；黏度（mPa·s,25ºC）：1.75；闪点(ºC，开口）：39；蒸发热（KJ/mol）：40.6；比热容（KJ/(kg·K),25ºC，定压）：2.56；蒸气压1.4017——对皮肤刺激不明显，但中毒剂量可通过皮肤吸收。动物中毒后主要表现为抑制和不完全麻醉。大鼠暴露于40.18g/m3的蒸气浓度中5~6小时，有半数死亡。丙二醇单甲醚醋酸酯C6H12O3108-65-6——性状：无色吸湿液体，有特殊气味；分子量：132.16熔点(℃)：-87沸点(℃)：146相对密度（水=1）：0.96溶解性：溶于水闪点(℃)：42爆炸极限：在空气中，20°C时1.5%～7.0%（体积）——氢氧化钾KOH1310-58-382002性状：白色晶体，易潮解。分子量：56.11熔点(℃)：360.4沸点(℃)：1320饱和蒸汽压：0.13(719℃)相对密度（水=1）：2.04溶解性：溶于水、乙醇，微溶于醚。可致人体灼伤。环氧树脂——32197外观与形状：从无臭、无味、黄色透明液体到固体。熔点145～155℃,溶于丙酮、乙二醇、易燃，引燃温度49℃（粉云）。遇明火、高热能燃烧。受高热分解放出有毒的气体。粉体与空气可形成爆炸性混合物，当达到一定浓度时遇火星会发生爆炸。LD50：11400mg/kg（大鼠经醇C5H12O2——无色透明体液体。熔点：-85℃,沸点：161℃,相对密度：0.971（20/20℃),溶于大部分有机溶剂，不溶于水。——无水碳酸钠Na2CO3——性状：白色粉末或细颗粒（无水纯品），味涩。分子量：105.99熔点(℃)：851相对密度（水=1）：2.53溶解性：易溶于水，不溶于乙醇、乙醚等——LD50：4090mg/kg（大鼠经），LC50：2300mg/m3，2小时（大鼠吸入）钛Ti7440-32-641504钛为银白色，粉末为深灰色或黑色并发亮，或溶于氢氟酸、硝酸、浓硫酸。金属钛粉尘具有爆炸性，遇热、明火或发生化学反应会燃烧爆炸。其粉体化学活性很高，在空气中能自也能在二氧化碳或氮气中燃烧。高温时易与卤素、氧、硫、氮化合。——铜Cu——熔点1083℃;相对密度(水=1)8.92其粉体遇高温、明火能燃烧——硫酸铜CuSO4·5H2O61519蓝色三斜晶系结晶。熔点：200℃(无水物)，相对密度(水=1)：2.28。溶于水，溶于稀乙醇，不溶于无水乙醇、液氨。未有特殊的燃烧爆炸特性。受高热分解产生有毒的硫化物烟气。鼠经口33mg/kg（小鼠腹腔）硫酸H2SO481007纯品为无色透明油状液体，无臭。分子量98.08，0.13kPa(145.8℃)，相对密度(水=1)1.83。与水混纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。遇水大量放热，可发生沸溅。具有强腐蚀中等毒性。LD5080mg/kg（大鼠经口LC50510mg/m3，22小时（小鼠吸入）过硫酸钠Na2S2O851504性状：白色晶状粉末，无臭。分子量：238.13相对密度（水=1）：2.4溶解性：溶于水。嗅阈值恶臭物质）与有机物、还原剂、易燃物如硫、磷等接触或混合时有引起燃烧爆炸的危险。急剧加热时可发生爆硫酸钯PdSO4·2H2O——红棕色结晶粉末，溶于冷水中，在热水中分解；沸点330℃.常温常压下稳定——氯化钠NaCl——性状：无色无味固体分子量：58.44熔点(℃)：801沸点(℃)：1461相对密度（水=1）：2.17相对密度（空气=1）溶解性：溶于水如果是强氧化性物质、爆炸性物质需注明。LD50（鼠经口3000mg/kg次亚磷酸钠NaH2PO2·H2O——无色单斜晶系结晶或有珍珠光泽的晶体或白色结晶性粉末。相对密度1.388，无臭，味咸。易溶于水、乙醇、甘油；微溶于氨、氨水；不溶于乙醚。遇强热时会爆炸，与氯酸钾或其他氧化剂相混合会爆炸。在常压下，加热蒸发次磷酸钠溶液会发生爆炸，故蒸发应在减压下进行。——硫酸镍NiSO4.6H2O性状：无色无味固体分子量：58.44熔点(℃)：801沸点(℃)：840饱和蒸汽压：0.13kPa(145.8℃)相对密度（水=1）：2.07相对密度（空气=1）：3.4————柠檬酸钾C6H5K3O7.H2O——性状：白色无味固体分子量：324.42熔点(℃)：230（分解）相对密度（水=1）：1.98——LD50相对密度（空气=1）嗅阈值恶臭物质）银Ag——灰白色金属，属立方晶系，富延展性；沸点：1950℃;熔点：960.5℃;相对密度：10.5；不溶于水、盐酸和碱溶液。溶于硝酸、热硫酸、氰化钾、熔融的氢氧化钠；————双氧水H2O251001无色透明液体，有微弱气味，熔点-2℃,沸点爆炸性强氧化剂。过氧化氢本身不燃，但能与可燃物反应放出大量热量和氧气而引起着火爆炸。过氧化氢在pH值为3.5～4.5时最稳定，在碱性溶液中极易分解，在遇强光，特别是短波射线照射时也能发生分解。当加热到100℃以上时，开始急剧分解。——四甲基氢氧化铵C4H13NO——性状：白色针状结晶分子量：91.15沸点(℃)：110°C饱和蒸汽压：17.5mmHg相对密度（水=1）：0.866——硅——密度：2328.3kg/m³;熔点：1687K（1414℃);沸点：3173K（2900℃);————烷酮C5H9NO——透明液体，类似苯胺气味；沸点(℃)：202；熔点(℃)：-24；自燃温度(℃)：346；闪点 (℃)：95；爆炸极限：1.3-9.5%；密度：1.03；能与水、醇、醚、酯、酮、卤代烃、芳烃互溶。——LD50：5130mg/kg（小鼠经口）；8mg/kg（兔经皮）；3914mg/kg（小鼠经口）CH4O32058外观与性状：无色澄清液体，有刺激性气味。熔点(℃)：-97.8；沸点(℃)：64.8，相对密度(水=1)：0.79；相对蒸气密度(空气=1)：1.11；饱和易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触发生化学反应LD50：5628mg/kg（大鼠经LC50：83776mg/m3，4小时蒸汽压(kPa)：13.33(21.2℃)；燃烧热(kJ/mol)：727.0；闪点(℃)：11；引燃温度(℃)：385；爆炸上限%(V/V)：44.0；爆炸下限%(V/V)：5.5；溶于水，可混溶于醇、醚等多数有机溶剂。或引起燃烧。在火场中，受热的容器有爆炸危险。其蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃。（大鼠吸入）环戊酮C5H8O33590外观与性状：水白色液体，有醚样的气味。熔点(℃)：-58.2；沸点(℃)：130.6相对密度(水=1)：0.95；相对蒸气密度(空气=1)：2.3；闪点(℃)：26易燃，遇明火、高热或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险。LD50：1950mg/kg（小鼠静丙二醇单甲醚乙酸酯C6H12O3——无色透明液体；熔点(℃)：-87；沸点(℃)：爆炸极限：1.3-13.1——大鼠经口LD50：8532mg/kg；小鼠经腹腔LD50：750mg/kg；兔子经皮肤接触LD50：5mg/kg丙烯酸树脂————无色或有色流体，有特殊芳香味；熔点(℃):-47.9；沸点(℃)：139；相对密度(水=1)：0.86；相对蒸气密度(空气=1)：3.66；可与丙烯酸漆稀释剂等混溶。爆炸极限：1.1-7.0%LD50：5000mg/kg（大鼠经丙二醇单甲醚乙酸酯C6H12O3——无色透明液体；熔点(℃)：-87；沸点(℃)：爆炸极限：1.3-13.1——大鼠经口LD50：8532mg/kg；小鼠经腹腔LD50兔子经皮肤接触LD50：>5mg/kg镍Ni42004银白色坚硬金属；熔点(℃)：1453；沸点(℃)：2732，相对密度(水=1)：8.9；饱和蒸汽压(kPa)： 0.13(1810℃)；不溶于浓硝酸，溶于稀硝酸。其粉体化学活性较高，暴露在空气中会发生氧化反应，甚至自燃。遇强酸反应，放出氢气。粉尘可燃，能与空气形成爆炸性混合物。——氨基磺酸镍Ni(NH2SO3)2——绿色结晶粉末；沸点(℃)：≥100；相对密度(水=1)：1.4-1.6；易溶于水，液氨，乙醇，微溶于丙酮不燃，无特殊燃爆特性LD50：3160mg/kg（大鼠经硼酸H3BO3——熔点(℃)：185；沸点(℃)：300；相对密度：1.44；溶于水，乙醇、乙醚等。————氨基磺酸H3NO3S81506性状：白色结晶体，无臭无味。分子量：97.09熔点(℃)：205沸点(℃)：209相对密度（水=1）：2.13相对密度（空气=1）：3.3溶解性：溶于水、液氨，不溶于乙醇、乙醚，微溶于甲醇。本品不燃，具腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。LD50：3160mg/kg（大鼠经二甲基乙酰胺C4H9NO——性状无色透明液体。分子量：87.12熔点(℃)：-20沸点(℃)：164闪点(℃)：66相对密度：0.937溶解性：能与水、醇、醚、酯、苯、三氯甲烷和芳香化合物等有机溶剂任意混合。爆炸下限（%,V/V,160ºC2.0；爆炸上限（%,V/V,160ºC）：11.5大鼠经口LD50为5680mg/kg。大鼠吸入LC50为2475ppm-1h甲基磺酸CH4O3S81626性状：无色液体或固体。分子量：96.1熔点(℃)：20沸点(℃)：167饱和蒸汽压：0.13相对密度（水=1）：1.48相对密度（空气=1）：3.3闪点(℃)：>110——磷酸H3PO481501性状：纯磷酸为无色结晶，无臭，具有酸味。分子量：98.00熔点(℃)：42.4沸点(℃)：260饱和蒸汽压：0.67相对密度（水=1）：1.87——LD50：1530mg/kg（大鼠经口）；2740mg/kg（兔经皮）相对密度（空气=1）：3.38苄醇（苯甲醇）C7H8O——外观与性状：无色液体，有芳香味。熔点(℃)：-15.3相对密度（水=1）：1.04(25℃)沸点(℃)：205.7相对蒸气密度（空气=1）：3.72相对密度（水=1）：1.0419分子量：108.13饱和蒸汽压（kPa）：0.13(58℃)溶解性：微溶于水，易溶于醇、醚、芳烃。闪点(℃)：100引燃温度(℃)：436LD50：1230mg/kg（大鼠经）；甲基吡咯烷酮C5H9NO——透明液体有胺样气味；分子量：99.15熔点(℃)：-24沸点(℃)：202饱和蒸汽压：68°F（20℃)相对密度（水=1）：1.03相对密度（空气=1）：3.4爆炸极限：1.3-9.5%LD50：3914mg/kg（大鼠经）；LD50：5130mg/kg（小鼠经）；目标，必须移除表面的污染物并避免在制程前让污染物重新残余在晶圆表），挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2020）规定的水基、半水基清洗类型名称规模型号设备数量（台/套）备注生产WLCSP生产线自动贴BG膜机Lintec35103/AOI（检验仪）中科飞测1/研磨机Disco3/全自动硅厚测量AOM中科飞测1/自动撕膜机Lintec30102/AOI（检验仪）/1/背胶前清洗机/1/自动贴背胶膜机Lintec36002/AOI（检验仪）中科飞测1/背胶膜自动烤箱/3/Sorter（导片机）导片1/打标机EO1/打标后AOI中科飞测1/自动贴Dicing膜机Lintec25102/AOI（检验仪）中科飞测1/全自动隧道烤箱/1/激光切割机7161disco/激光开槽后检验ATM中科飞测1/切割机6362切割机67/AOI（检验仪）中科飞测3/UV机/2/全自动编带机ASM/MIE5/Bumping生产线晶圆清洗机芯源6/导片机新创达5/烤箱真萍3/溅射机北方华创9/2D检验机中科飞测2/涂布机芯源/2D检验机中科飞测3/检测机/仪中科飞测1/曝光机SMEE/显影机芯源/全功能或CD检验机中科飞测4/2D检验机中科飞测4/烤箱真萍7/全功能或CD检验机中科飞测4/导片机新创达6/等离子清洗机北方华创/2D检验机中科飞测3/LAM/检测机/仪中科飞测1/去胶机新阳硅密5/全功能或CD检验机中科飞测4/2D检验机中科飞测2/蚀刻机（刻铜）芯源6/蚀刻机（刻钛）芯源/全功能或CD检验机中科飞测4/2D检验机中科飞测3/植球机上海微松5/补球机上海微松2/回流焊sikama2/晶圆清洗机芯源晶圆清洗机芯源2/测试机+探针台opus5/QT71005/检测机/仪中科飞测1/回流焊semigear3/全自动金属测厚仪新创达1/X射线仪Dage3/晶圆清洗机芯源2/推拉力机XYZ3/检测机/仪camtek/导片机新创达3/注：根据《中华人民共和国放射性污染防治法》《放射环境管理办法》等文件要求，如涉及放射性设备需委托有资质的单位进行放射性污染环境影响评价，论证其环境可行性和污染防治对策。名称条数设备名称规模型号单条生产线数量（个）镀铜、镍、锡银生产线3预湿槽400mm×600mm×100mm1电镀铜槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2电镀镍槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2电镀锡银槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2镀金生产线1预湿槽400mm×600mm×100mm1电镀金槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2（2）项目位于浦口经济开发区桥林园区东至丁香路、南至紫桐路、西的物料进行平衡分析。经筛选，本次评价拟对铜、镍、锡、银、CN-及非甲入方序号物料名称用量元素含量纯量产品/中间产品废气废水（液）1铜靶材50个（0.252t）0.999990.2525.267/0.155.1862铜板610（7.936t）0.999997.9363补充剂9.4320.2562.415合计10.60310.603入方序号物料名称用量元素含量纯量产品/中间产品废气废水1硫酸镍0.1020.22140.0230.204/0.03230.54872氨基磺酸镍3.060.17680.5413镍阳极（0.221t）0.99990.221合计0.7850.785表2-11锡物料平衡（单位：t/a）入方序物料名用量元素含量纯量废气元素含量纯量废气废水产品1锡球0.1470.99990.14720.710.3830.27220.710.3830.2720.3850.0240.00560.3014酸锡56个（0.297t56个（0.297t）0.99990.297合计0.7160.716入方序号物料名称用量元素含量纯量产品/中间产品废气废水12电镀锡银（甲基磺酸银）0.003550.5320.001890.01517/0.000040.00136银离子添加剂（甲基磺酸银）0.02760.5320.01468合计0.016570.01657入方序号物料名称用量元素含量纯量产品/中间产品废气废水固废（液）1二氰金酸钾2.8770.683//0.3672二氰金酸钾0.04110.6830.028合计本项目CN源于电镀金补充液（二氰金酸钾、氰化钾），去向主要包入方序号物料名称用量元素比例纯量产品/中间产品废气废水分解1二氰金酸钾2.9180.18060.527/0.0230.00290.0681.10712氰化钾0.4000.674合计去向主要包括废气及废液；有机废气经RTO处理后有组织排放，废液作为入方序号物料名称用量元素比例纯量有组织排放无组织排放1冰乙酸0.320.40.01283.1060.32829.779631.96482助焊剂0.00720.420.0033助焊剂清洗液0.760.950.7224切割液0.060.965异丙醇400.99739.886光刻胶80.655.27显影液300.9829.48漂洗液5500.98539边框清9洗液9洗液合计665.1778665.1778本项目劳动定员880人，配套员工倒班楼（含淋浴）及食堂，年运行），），），本项目循环冷却系统总循环水量为13600m3/h（10771.2），），纯水制备弃水直接接管市政污水管网进入南京浦口经济开发区工业废工艺流程和产排污环节垃圾和噪声污染，其他污染物（如工人生活共同用作填土材料。填土施工时，将软弱土层挖至天夯实是利用起重机械吊起特制的重锤来冲击基土表面，使地基受到压切、接长、弯曲等物理过程，然后进行钢筋的绑扎，搅拌机料斗中依次加入砂、水泥、石子和水，装料量为搅拌机几何容积的1/2～1/3。拌制完后，根据浇注量、运输距离选用运输工具球状的焊锡（锡球）焊至需要连接的地方，使用无铅焊锡，焊接温度约为观检查时只需要触碰绷膜环便可，防止工作人员直接触碰晶圆造成材料污将背面贴膜后的晶圆采用烤箱进行烘烤，烘烤温度为150℃,热源为电。此过程会产生烘烤废气G1-4。利用激光的高能量，将产品型号及客户要求印字内容打印在塑封体表将贴膜后的晶圆采用烤箱进行烘烤，烘烤温度为150℃,热源为电。此过程会产生烘烤废气G1-6。表2-16WLCSP生产线主要污染工序及污染物一览表类别污染物编号产生工序性质污染物废水W1-1酸洗后水洗水洗废水pH、COD、SSW1-2清洗后水洗水洗废水COD、SSW1-3晶圆研磨研磨废水COD、SSW1-4激光切割切割废水COD、SSW1-5刀片切割切割废水COD、SS废气G1-1酸洗有机废气挥发性有机物G1-2植球、回流焊焊接烟尘锡及其化合物G1-3焊接有机废气非甲烷总烃G1-4烘烤烘烤废气热排气G1-5激光打印打印粉尘颗粒物G1-6烘烤烘烤废气热排气噪声N设备运行机械噪声噪声固废S1-1酸洗酸洗废液含废酸（冰乙酸）S1-2植球、回流焊废助焊剂树脂S1-3清洗清洗废液含助焊剂清洗液S1-4正面贴膜废贴膜废弃胶膜底材S1-5正面揭膜废贴膜废弃研磨贴布S1-6背面贴膜废贴膜废弃胶膜底材S1-7贴膜废贴膜废弃胶膜底材S1-8编带废载盖带废载盖带S1-9外观检查不合格品不合格品本项目Bumping生产工艺主要是在晶圆的焊盘上形成凸点。其主要工艺为晶圆表面钝化、溅镀钛/铜、电镀铜、镍以及锡银、溅镀钛钨/金、电镀表2-17晶圆清洗产污环节及污染类别污染物编号产生工序性质污染物废水W2-1-1水洗水洗废水COD、SS废气烘烤烘烤废气热排气），高防护材料在后续过程