TCSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件

ICSCCSCSEA中国表面工程协会团体标准T/CSEA26—20238YSZ术条件Technicalspecificationof8YSZtargetforElectronBeamPhysicalVaporDeposition（报批稿）在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。2023-2-7发布 2023-3-1实施中国表工程会 发布T/CSEA26T/CSEA26—2023II前 言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件由中国表面工程协会热喷涂分会提出。本文件由中国表面工程协会归口。本文件起草单位：北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学。本标准主要起草人：何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽。T/CSEA26T/CSEA26—2023PAGEPAGE1电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件范围本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8wt.%Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。（GB/T4984GB/T13747.16锆及锆合金化学分析方法第16部分：氯量的测定氯化银浊度法和离子选择性电极法GB/T20123钢铁总碳硫含量的测定高频感应炉燃烧后红外吸收法（常规方法）GB/T21649.1YB/T5320X值法YS/T568.1氧化锆、氧化铪化学分析方法氧化锆和氧化铪合量的测定苦杏仁酸重量法YS/T568.2氧化锆、氧化铪化学分析方法铁量的测定磺基水杨酸分光光度法YS/T568.3氧化锆、氧化铪化学分析方法硅量的测定硅钼蓝分光光度法YS/T568.4氧化锆、氧化铪化学分析方法铝量的测定铬天青S-氯化十四烷基吡啶分光光度法YS/T568.6氧化锆、氧化铪化学分析方法钛量的测定二安替吡啉甲烷分光光度法YS/T568.8氧化锆、氧化铪化学分析方法氧化锆中铝、钙、镁、锰、钠、镍、铁、钛、锌、钼、钒、铪量的测定电感耦合等离子体发射光谱法本文件没有需要界定的术语和定义。化学成分瓷材分杂含量符表的定。 表1 8YSZ陶靶成及含量化学成分/wt.%主成分含量杂质含量HfO2Y2O3Al2O3Fe2O3SiO2TiO2CaOMgOCl-碳残留≥99.65<27-8≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.06≤0.15外观靶材外观应为白色或灰白色，外观应无影响产品质量的缺陷及裂纹。晶体结构靶材晶体结构应以四方相为主。平均晶粒度靶材平均晶粒度不应大于10μm。密度靶材的密度应为（3.5~4.2）g/cm3。同批次靶材的密度允许偏差应为±2.5%。靶材尺寸靶材尺寸应符合需方尺寸和形状要求，直径宜为φ（68.5±0.1）mm，长度不应小于100mm。检验应为质量一致性检验。组批产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一规格、同一批原料连续生产的产品组成。检验质量一致性检验应符合表2的规定。表2 质量致检验检验项目取样数量取样方法检验要求检验方法化学成分3根任取4.15.3.1外观全数-4.25.3.2晶体结构3根任取4.35.3.3平均晶粒度3根任取4.45.3.4密度全数-4.55.3.5表2 质一性验检验项目取样数量取样方法检验要求检验方法密度均匀性全数-4.65.3.6靶材尺寸全数-4.75.3.7SiO2Al2O3ZrO2+HfO2TiO2Fe2O3CaOMgOGB/T4984YS/T568Y2O3YS/T568.8碳残留可按GB/T20123规定的方法进行测定。Cl-测试可按GB/T13747.16规定的方法进行测定。供需双方测试结果不一致时，应采用供需双方协商一致的具有国家相关检测资质的第三方检测机构测定。外观靶材外观可采用目视方法检验，照明度不应低于300Lx。靶材晶体结构测试应按YB/T5320执行。靶材晶粒度测试应按GB/T21649.1200010密度靶材密度检验通过天平称取靶材质量，根据靶材尺寸计算体积，用质量除以体积计算确定。ρavρmaxρn

(ρave-ρmaxρmin)/ρave×100%靶材尺寸应采用游标卡尺等测量工具测量。标志产品每根塑封包装标志应包括下列内容：